一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法，包括依次连接的供氧装置、燃烧检测装置和气体吸收装置；所述燃烧检测装置包括燃烧炉与红外分析仪；所述燃烧炉中使用的助熔剂为铜铁助熔剂；所述气体吸收装置中的吸收液为含氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。本发明专利技术的检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法提供了一种检测硅粉中碳含量的检测方法。本检测方法能快速分析硅粉中的碳，降低人工及外送样品成本。本检测方法简单方便，检测结果准确可靠。本发明专利技术的设备维护保养费用低廉，药剂也易采购。

A Detection Device for Carbon Content in Silicon Powder and Its Detection Method

【技术实现步骤摘要】
一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法
本专利技术涉及硅粉检测领域，具体为一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法。
技术介绍
现在分析硅粉中杂质主要包括铁铝钙硼磷等，随着多晶硅产品的等级要求越来越高，在进入反应器的硅粉碳的含量直接影响中间产品三氯氢硅的质量，甚至影响到最终产品多晶硅中的碳含量影响。现在的工艺中没有能有效的监测硅粉中的碳含量相应的检测标准。需要开发一种适合硅粉等半导体原材料中的碳含量的分析方法。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有技术中存在的缺陷，提供一种检测方便快速、干扰少、经济实用的检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法。本专利技术首先提供一种检测硅粉中碳含量的检测装置，包括依次连接的供氧装置、燃烧检测装置和气体吸收装置；所述燃烧检测装置包括燃烧炉与红外分析仪；所述燃烧炉中使用的助熔剂为铜铁助熔剂；所述气体吸收装置中的吸收液为含氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。本专利技术还提供如下优化方案：优选的，所述铜铁助熔剂碳杂质的含量低于0.01％。优选的，所述吸收液为含5％的氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。优选的，所述燃烧炉为管式燃烧炉。优选的，所述燃烧炉与气体吸收装置用F本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测硅粉中碳含量的检测装置，其特征在于：包括依次连接的供氧装置、燃烧检测装置和气体吸收装置；所述燃烧检测装置包括燃烧炉与红外分析仪；所述燃烧炉中使用的助熔剂为铜铁助熔剂；所述气体吸收装置中的吸收液为含氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。

【技术特征摘要】
1.一种检测硅粉中碳含量的检测装置，其特征在于：包括依次连接的供氧装置、燃烧检测装置和气体吸收装置；所述燃烧检测装置包括燃烧炉与红外分析仪；所述燃烧炉中使用的助熔剂为铜铁助熔剂；所述气体吸收装置中的吸收液为含氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。2.根据权利要求1所述的检测硅粉中碳含量的检测装置，其特征在于：所述铜铁助熔剂碳杂质的含量低于0.01％。3.根据权利要求1所述的检测硅粉中碳含量的检测装置，其特征在于：所述吸收液为含5％的氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。4.根据权利要求1所述的检测硅粉中碳含量的检测装置，其特征在于：所述燃烧炉为管式燃烧炉。5.根据权利要求1所述的检测硅粉中碳含量的检测装置，其特征在于：所述燃烧炉与气体吸收装置用FEP管连接。6.根据权利要求5所述的检测硅粉中碳含量的检测装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙文柱，甘居富，游书华，彭中，王亚萍，
申请(专利权)人：内蒙古通威高纯晶硅有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古,15