物理量测量装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

物理量测量装置、电子设备以及移动体。物理量测量装置包含：传感器元件，在该传感器元件的驱动电极与第一检测电极之间以及驱动电极与第二检测电极之间形成耦合电容；以及电路装置，其具有驱动电路、检测电路和故障诊断电路，其中，该驱动电路向驱动电极供给驱动信号，该检测电路根据来自第一、第二检测电极的第一、第二检测信号，检测与物理量对应的物理量信息，电路装置具有设置在输入第一、第二检测信号的第一、第二端子与检测电路之间的第一、第二开关，故障诊断电路根据使第一、第二开关的连接状态发生变化时的检测电路的检测结果来进行故障诊断。

Physical measurement devices, electronic devices and mobile devices

Physical measurement devices, electronic devices and mobile devices. The physical measurement device includes: a sensor element, which forms a coupling capacitance between the driving electrode and the first detection electrode of the sensor element and between the driving electrode and the second detection electrode; and a circuit device, which has a driving circuit, a detection circuit and a fault diagnosis circuit, in which the driving circuit supplies a driving signal to the driving electrode according to the detection circuit from the first detection electrode. 1. The first and second detection signals of the second detection electrode detect the physical quantity information corresponding to the physical quantity. The circuit device has the first and second switches set between the first and second terminals of the input first and second detection signals and the detection circuit. The fault diagnosis circuit is based on the detection results of the detection circuit when the connection state of the first and second switches changes. Line fault diagnosis.

【技术实现步骤摘要】
物理量测量装置、电子设备以及移动体
本专利技术涉及物理量测量装置、电子设备以及移动体等。
技术介绍
以往，公知有根据来自传感器元件的检测信号来检测物理量的物理量测量装置。以陀螺仪传感器为例，物理量测量装置将角速度等作为物理量来检测。陀螺仪传感器例如被组装到数码相机、智能手机等电子设备或者汽车、飞机等移动体中，使用检测出的角速度等物理量来进行抖动校正、姿势控制、GPS自主导航等。作为这样的物理量测量装置的故障诊断方法，例如公知有专利文献1、2、3、4所公开的现有技术。在专利文献1中，通过由检测单元检测因传感器元件的检测板(检测元件)与驱动板(驱动元件)的机械耦合而产生的机械耦合信号，实现了故障诊断。在专利文献2中也同样，通过监视因振子本身的激励而产生的自振成分(泄漏振动)，实现了故障诊断。在专利文献3中，通过提取自振成分并由温度特性校正单元来进行温度校正，实现了高精度的故障诊断。专利文献4的角度传感器具有ΣΔ调制器，该ΣΔ调制器具有第一、第二D/A转换电路、第一、第二积分电路以及比较电路。另外，使用供给电位彼此相反的电源电压的第一、第二电压源和第一、第二开关来检测第一、第二检测电极的任本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量测量装置，其特征在于，该物理量测量装置包含：传感器元件，其具有驱动电极、第一检测电极和第二检测电极，在所述驱动电极与所述第一检测电极之间以及所述驱动电极与所述第二检测电极之间形成耦合电容；以及电路装置，其具有驱动电路、检测电路和故障诊断电路，其中，该驱动电路向所述驱动电极供给驱动信号，该检测电路根据来自所述第一检测电极的第一检测信号和来自所述第二检测电极的第二检测信号，检测与物理量对应的物理量信息，所述电路装置具有：第一开关，其设置在输入所述第一检测信号的第一端子与所述检测电路之间；以及第二开关，其设置在输入所述第二检测信号的第二端子与所述检测电路之间，所述故障诊断电路根据使所述...

【技术特征摘要】
2017.10.31 JP 2017-2108161.一种物理量测量装置，其特征在于，该物理量测量装置包含：传感器元件，其具有驱动电极、第一检测电极和第二检测电极，在所述驱动电极与所述第一检测电极之间以及所述驱动电极与所述第二检测电极之间形成耦合电容；以及电路装置，其具有驱动电路、检测电路和故障诊断电路，其中，该驱动电路向所述驱动电极供给驱动信号，该检测电路根据来自所述第一检测电极的第一检测信号和来自所述第二检测电极的第二检测信号，检测与物理量对应的物理量信息，所述电路装置具有：第一开关，其设置在输入所述第一检测信号的第一端子与所述检测电路之间；以及第二开关，其设置在输入所述第二检测信号的第二端子与所述检测电路之间，所述故障诊断电路根据使所述第一开关、所述第二开关的连接状态发生变化时的所述检测电路的检测结果来进行故障诊断。2.根据权利要求1所述的物理量测量装置，其特征在于，所述连接状态包含所述第一开关断开且所述第二开关接通的第一连接状态、和所述第一开关接通且所述第二开关断开的第二连接状态，所述故障诊断电路根据第一故障诊断值和第二故障诊断值来进行故障诊断，其中，该第一故障诊断值是所述第一开关、所述第二开关为所述第一连接状态时的所述检测电路的检测结果值，该第二故障诊断值是所述第一开关、所述第二开关为所述第二连接状态时的所述检测电路的检测结果值。3.根据权利要求2所述的物理量测量装置，其特征在于，所述连接状态包含所述第一开关和所述第二开关均接通的第三连接状态，所述故障诊断电路根据所述第一故障诊断值、所述第二故障诊断值以及第三故障诊断值来进行故障诊断，其中，该第三故障诊断值是所述第一开关、所述第二开关为所述第三连接状态时的所述检测电路的检测结果值。4.根据权利要求3所述的物理量测量装置，其特征在于，所述故障诊断电路通过所述第一故障诊断值、所述第二故障诊断值、所述第三故障诊断值的比较判定处理来进行故障诊断。5.根据权利要求1所述的物理量测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：村岛宪行，樋口哲平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP