用于清洁运输车辆的装置制造方法及图纸

一种用于清洁运输车辆的装置，所述运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至所述驱动模块的下部。所述装置包括室和第一清洁模块。所述室被配置成提供用于清洁所述运输车辆的空间。所述第一清洁模块包括上刷单元和上吸单元。所述上刷单元被设置在所述室中且与所述驱动模块相接触。所述上刷单元被配置成分离在所述驱动模块上的颗粒物。所述上吸单元被设置在所述室中且被配置成吸取由所述上刷单元分离的所述颗粒物以去除所述颗粒物。

Equipment for cleaning transport vehicles

A device for cleaning a transport vehicle includes a drive module configured to move along the drive track and a lifting module connected to the lower part of the drive module. The device comprises a chamber and a first cleaning module. The chamber is configured to provide space for cleaning the transport vehicle. The first cleaning module comprises an upper brushing unit and an upper suction unit. The upper brush unit is arranged in the chamber and is in contact with the driving module. The brushing unit is configured to separate particulate matter on the driving module. The upper suction unit is arranged in the room and is configured to absorb the particulate matter separated by the upper brush unit to remove the particulate matter.

【技术实现步骤摘要】
用于清洁运输车辆的装置
本专利技术涉及一种用于清洁运输车辆的装置。更特别地，本专利技术涉及一种用于清洁被配置成在半导体制造工艺中运输材料的空中吊运装置(OHT)的运输车辆的装置。
技术介绍
在半导体装置的制造工艺中，材料，诸如半导体晶片、印刷电路板和半导体封装件可以通过无人运输系统，诸如有轨导引车辆(RGV)、空中吊运装置(OHT)等进行运输。特别地，OHT包括运输车辆，其被配置成可沿被安装在洁净室的天花板上的驱动轨道移动以运输材料。运输车辆可以包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至驱动模块的下部且被配置成举起材料。驱动模块可以包括被设置在驱动轨道上的驱动轮。当运输车辆沿驱动轨道移动时，可能由于在驱动轮和驱动轨道之间的摩擦而产生颗粒物，且运输车辆可能被颗粒物污染。颗粒物可能在运输车辆的移动期间扩散，且因此可能污染洁净室的内部。
技术实现思路
本专利技术的示例实施例提供了一种用于去除在空中吊运装置(OHT)的运输车辆的表面上累积的颗粒物的清洁装置。根据本专利技术的一个示例实施例，一种运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至驱动模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于清洁运输车辆的装置，所述运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至所述驱动模块的下部，所述装置包括：室，其被配置成提供用于清洁所述运输车辆的空间；以及第一清洁模块，其包括：上刷单元，所述上刷单元被设置在所述室中且与所述驱动模块相接触，所述上刷单元被配置成分离在所述驱动模块上的颗粒物；以及上吸单元，所述上吸单元被设置在所述室中且被配置成吸取由所述上刷单元分离的所述颗粒物以去除所述颗粒物。

【技术特征摘要】
2017.10.30 KR 10-2017-01423061.一种用于清洁运输车辆的装置，所述运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至所述驱动模块的下部，所述装置包括：室，其被配置成提供用于清洁所述运输车辆的空间；以及第一清洁模块，其包括：上刷单元，所述上刷单元被设置在所述室中且与所述驱动模块相接触，所述上刷单元被配置成分离在所述驱动模块上的颗粒物；以及上吸单元，所述上吸单元被设置在所述室中且被配置成吸取由所述上刷单元分离的所述颗粒物以去除所述颗粒物。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一清洁模块还包括：水平驱动单元，其被配置成在水平方向上移动所述上刷单元；以及垂直驱动单元，其被配置成在所述上刷单元通过所述水平驱动单元在所述水平方向上移动时，基于所述驱动模块的形状来控制所述上刷单元的高度。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述垂直驱动单元包括：连杆部分，其具有跷跷板形状；凸轮板，其被设置在所述连杆部分的一个端部上且包括多个凹部以及多个突出物以控制所述连杆部分的另一端部的高度；以及马达，其被配置成旋转所述凸轮板，以及其中所述上刷单元被连接至所述连杆部分的另一端部，且所述马达旋转所述凸轮板，以使得保持所述上刷单元与所述驱动模块相接触，且通过所述水平驱动单元在所述水平方向上移动所述上刷单元。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述垂直驱动单元还包括安装构件，其被配置成支撑所述连杆部分，以使得所述连杆部分的两个端部可在垂直方向上移动且被配置成将所述连杆部分安装至所述水平驱动单元。5.根据权利要求3所述的装置，其中所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳在英，李圣铉，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR