一种太赫兹辐射源及其制造方法技术

本发明专利技术实施例公开一种太赫兹辐射源及其制造方法。其中，所述太赫兹辐射源包括天线、真空通道层和光阴极，所述天线包括衬底、馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。本发明专利技术实施例提供的太赫兹辐射源及其制造方法，提高了太赫兹辐射源的功率。

A Terahertz Radiator and Its Manufacturing Method

【技术实现步骤摘要】
一种太赫兹辐射源及其制造方法
本专利技术实施例涉及光电子
，具体涉及一种太赫兹辐射源及其制造方法。
技术介绍
太赫兹(THz)电磁波的频率范围为0.1～10THz，波长范围为0.03～3mm，它是一种介于微波、毫米波与红外线之间的电磁波。太赫兹辐射在物理、化学、天文学、分子光谱、生命科学和医药科学等基础领域，以及医学成像、环境监测、材料检测、食品检测、射电天文、移动通讯、卫星通信和军用雷达等应用研究领域有重大的科学研究价值和广阔的应用前景。集成了天线的可调连续波太赫兹源目前主要有两类，分别是基于光导天线的光混频器和基于高速单行载流子光探测器(UTC-PD)。两种技术方案均使用了光学拍频技术作为调谐光源，主要的区别在于两个天线臂之间的感光器件。光导天线光混频器是在半导体光导材料上制作天线，常用的光导材料有低温生长的砷化镓、磷化铟等，常用的天线类型有蝶形天线(Bowtie)和对数螺旋天线。而基于高速单行载流子光探测器连续波太赫兹源主要是在UTC-PD的二极分别加载天线臂，主要的天线类型为Bowtie。由于上述这两种器件的太赫兹信号均是在固态半导体器件中产生，而太赫兹载流子在向两个天本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太赫兹辐射源，其特征在于，包括天线、真空通道层和光阴极，其中：所述天线包括衬底、馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。

【技术特征摘要】
1.一种太赫兹辐射源，其特征在于，包括天线、真空通道层和光阴极，其中：所述天线包括衬底、馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。2.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述天线臂有两个，对称设置在所述馈电带的两侧，所述天线臂呈梯形。3.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述天线臂为蝶形，设置在所述馈电带的一侧。4.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述天线为平面对数螺旋天线。5.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮存军，戴军，张幸运，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京,11