一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法技术

本发明专利技术提供一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其为通过气溶胶沉积法来制备湿敏薄膜的方法，所述所述气溶胶沉积法通过将脆性材料微粒喷射到基底上来形成薄膜，通过将所述脆性材料凝聚成的作为集合体的调制粒子收容在收容装置中，从所述收容装置向气溶胶化装置供给所述调制粒子，在所述气溶胶化装置中将所述供给的所述调制粒子破碎而形成气溶胶，通过喷嘴向玻璃基板上喷射所述气溶胶从而形成湿敏薄膜。本文提出并分析了表面亲水性，开孔容积和开孔比这些与厚度相关的湿敏效应的关键因素，物理模型表明气溶胶制备的膜具有扩大的湿度检测范围，提高了水蒸气吸附和解吸能力并提高了对湿度的敏感性。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法
本专利技术涉及气溶胶沉积
，尤其涉及一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法。
技术介绍
气溶胶沉积(AD)是一种新开发的陶瓷膜制备技术，它通过将高速(150-500m/s)陶瓷颗粒注射到基底上来形成薄膜。这种简单的技术可以在室温(23℃)下进行，能源成本低，所需的原料可以长期储存，适合工业大规模生产。研究人员已经探索了这种技术的几种可能的应用，包括高K值材料，表面防护涂料，生物成分涂料，压电器件及光学器件。由于气溶胶膜的生长基于粒子碎裂和粒子间的相互结合，在沉积过程中会产生宏观的缺陷和内部孔隙。这种方法有一些局限性，例如颗粒间粘结较弱并存在表面针孔，这会引起漏电流和不稳定的介电性能，并损害薄膜的电性能。然而，这些局限性在湿度传感领域却是优势，其介孔内部结构和高粗糙度表面可以提高吸湿和解吸能力。无机陶瓷相比于聚合物吸湿材料有着一定的优势，其具有优异的机械，化学和热稳定性。此外，陶瓷表面的水合敏感性比的其他湿度感测材料更好，因为它有利于水分子的电离和质子化，这使得陶瓷表面成为制造超灵敏湿敏膜的非常好的选择。多孔陶瓷或者由ABO3结构构成的纳米材料由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其为通过气溶胶沉积法来制备湿敏薄膜的方法，所述气溶胶沉积法通过将脆性材料微粒喷射到基底上来形成薄膜，其特征在于，通过将所述脆性材料凝聚成的作为集合体的调制粒子收容在收容装置中，从所述收容装置向气溶胶化装置供给所述调制粒子，在所述气溶胶化装置中将所述供给的所述调制粒子破碎而形成气溶胶，通过喷嘴向玻璃基板上喷射所述气溶胶从而形成湿敏薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其为通过气溶胶沉积法来制备湿敏薄膜的方法，所述气溶胶沉积法通过将脆性材料微粒喷射到基底上来形成薄膜，其特征在于，通过将所述脆性材料凝聚成的作为集合体的调制粒子收容在收容装置中，从所述收容装置向气溶胶化装置供给所述调制粒子，在所述气溶胶化装置中将所述供给的所述调制粒子破碎而形成气溶胶，通过喷嘴向玻璃基板上喷射所述气溶胶从而形成湿敏薄膜。2.根据权利要求1所述的应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其特征在于，所述调制粒子为钛酸钡颗粒。3.根据权利要求1所述的应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其特征在于，所述调制粒子通过在所述气溶胶化机构中受到机械冲击而被破碎。4.根据权利要求1所述的应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其特征在于，所述气溶胶化装置内气体流量在1-7托的内部压...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琮，梁峻阁，强天，邹伟民，孟雨亭，
申请(专利权)人：江苏传艺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32