离子发生器制造技术

一种离子发生器，能以压缩空气的少的消费量将离子效率良好地朝向除电对象输送。具有放电针(4)；对该放电针(4)进行保持的放电针保持架(31)；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构(32)，该输送空气喷射机构(32)被配设在与上述放电针保持架(31)邻接的位置，具有驱动喷嘴(45)和扩散器(46)，该驱动喷嘴(45)具有驱动空气喷出口(48)，该扩散器(46)经外气吸入间隙(51)配设在该驱动喷嘴(45)的前方，在该扩散器(46)的内部以做成与上述驱动空气喷出口(48)同轴的方式形成了输送空气流通孔(52)，并且在该输送空气流通孔(52)的前端形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口(53)。

Ion Generator

An ion generator is capable of conveying ion efficiencies to the object of power removal with less consumption of compressed air. A discharge needle holder (31) having a discharge needle (4), a discharge needle holder (31) holding the discharge needle (4), and a conveying air injection mechanism (32) for injecting air for ion conveying toward a deactivated object are provided with a driving nozzle (45) and a diffuser (46) in a position adjacent to the discharge needle holder (31), and the driving nozzle (45) has a driving air ejector (48). The diffuser (46) is arranged in front of the driving nozzle (45) through an external air inhalation gap (51). In the diffuser (46), a conveying air flow hole (52) is formed coaxially with the driving air ejector (48), and a conveying air ejector (53) is formed at the front end of the conveying air flow hole (52) for spraying the conveying air.

【技术实现步骤摘要】
离子发生器
本专利技术涉及用于因静电而带电的除电对象的除电的离子发生器。
技术介绍
在从因静电而带电的除电对象除去静电(进行除电)的情况下，使用离子发生器。此离子发生器具备通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针，是通过使从此放电针产生的离子随着从喷嘴喷射的空气流吹到除电对象上来对静电进行中和的装置。交流(AC)方式的离子发生器具有一个放电针，以通过向此一个放电针施加交流高电压交替地产生正及负的离子的方式构成，直流(DC)方式的离子发生器具有两个放电针，以如下的方式构成，即通过向两个放电针之中的一方的放电针施加正的直流高电压产生正的离子，通过向另一方的放电针施加负的直流高电压产生负的离子。在以往的离子发生器中，为了将在上述放电针中产生的离子由空气流效率良好地输送到除电对象，例如，如在专利文件1～3中公开的那样，实施了用于产生适合于离子的输送的流量及流速的空气流的各种办法。在专利文件1中，通过在喷嘴上设置收容了放电电极的离子生成室和包围此离子生成室的4个空气通过孔，从该空气通过孔朝向喷嘴的前方放出空气，能将从上述离子生成室向喷嘴的前方放出的离子载置在来自上述空气通过孔的空气流上而飞向宽的范围。但是，在此第一公知例中，因为通过4个空气通过孔喷射压缩空气，所以为了使该压缩空气的流量及流速增大来提高除电能力，需要提高上述压缩空气的供给压力，或增大上述空气通过孔的孔径，其结果，存在压缩空气的消费量变多的问题。另外，在专利文件2中，以包围收容了放电电极的收容孔的方式形成了4个喷出口，从该喷出口向空气增幅室内喷射压缩空气，将此压缩空气与从上述放电电极产生的离子一起通过通向上述空气增幅室的放出孔喷射，此时，从在上述空气增幅室形成的空气导入孔吸引取入外气，通过与此外气一起喷射，能增大从上述放出孔喷射的空气的流量，上述空气增幅室的收容孔开口。但是，在此第二公知例中，也因为从多个喷出口喷射压缩空气，所以压缩空气的消费量变多。另外，因为在接近放电电极的针尖的位置从上述喷出口以一部分的压缩空气沿针尖流过的方式喷射压缩空气，所以存在如下的危险，即，以高速流过该针尖的附近的空气的流量增大，此高速的空气流对离子的产生造成不良影响。进而，在专利文件3中，在由收容了放电电极的封闭空间构成的离子生成室的前端，形成了直径被缩小的空气放出口，在此空气放出口上连接了细长的喷射软管，通过使空气从空气送出管向此喷射软管内以高速喷出，使该喷射软管的内部成为负压而将上述离子生成室内的离子空气向该喷射软管的内部拉入，将拉入的离子空气从上述喷射软管的前端向外部射出。此时，在上述离子生成室内，外气从空气流入口流入。但是，在此第三公知例的情况下，因为不仅从放电电极产生的离子容易接触附着在离子生成室的壁面、喷射软管的内面等上，而且产生的离子的全部以集束在小直径的上述喷射软管内的状态被拉入，所以存在正、负的离子容易接触而被中和，因离子的减少而带来除电效率的下降的危险。在先技术文件专利文件专利文件1：日本特开2004－228069号公报专利文件2：日本特开2012－54088号公报专利文件3：日本特开2004－95271号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术是为了解决上述以往的问题而做出的专利技术，其技术的课题在于，能以压缩空气的少的消费量使离子效率良好地朝向除电对象输送。为了解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的离子发生器具有通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针；对该放电针进行保持的放电针保持架；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构，其特征在于，上述放电针保持架具有放电针收容室；通向该放电针收容室的基端部的辅助空气流入口；及在该放电针收容室的前端部以与外部空间直接连通的方式开口的辅助空气流出口，上述放电针以使针尖从上述辅助空气流出口与外部空间面对的姿势被收容在上述放电针收容室的内部，在该放电针的外周和上述放电针收容室及辅助空气流出口的内周之间，形成了从上述辅助空气流入口到上述辅助空气流出口的辅助空气流通间隙，上述输送空气喷射机构具有驱动喷嘴和扩散器，并配设在与上述放电针保持架邻接的位置，该驱动喷嘴具有基端的驱动空气导入口及前端的驱动空气喷出口，该扩散器经外气吸入间隙配设在该驱动喷嘴的前方，在上述扩散器的内部，以做成与上述驱动空气喷出口同轴的方式形成了直径比上述驱动空气喷出口大的输送空气流通孔，在该输送空气流通孔的前端，形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口。在本专利技术中，上述输送空气喷射机构的驱动喷嘴及扩散器，在与通过上述放电针的中心的放电针轴线不同的位置，沿与该放电针轴线平行的喷嘴轴线配设。另外，上述外气吸入间隙在与上述喷嘴轴线正交的全部的方向与上述外部空间直接连通，上述输送空气喷射口向上述外部空间直接开口。在本专利技术中，上述放电针是通过施加交流高电压交替地产生正及负的离子的交流用的放电针，相对于一个放电针配设了一个或者两个输送空气喷射机构，或者，上述放电针是通过施加直流高电压产生正或者负的离子的直流用的放电针，相对于正、负一对放电针配设了一个输送空气喷射机构。在本专利技术中最好是，具有分别形成而相互结合的第一构件及第二构件，在上述第一构件上设置了上述放电针保持架和驱动喷嘴，并且保持上述放电针，在上述第二构件上设置了上述扩散器。另外，由上述第一构件及第二构件和放电针形成了放电针盒，该放电针盒装卸自由地安装在离子发生器的主体上。在此情况下，上述主体通过将多个主体块串联且可增减地连结形成，上述放电针盒安装在各主体块上。[专利技术的效果]根据本专利技术，通过设置了具有驱动喷嘴和扩散器的输送空气喷射机构，能由该输送空气喷射机构的喷射效应将离子输送用的空气以增量的状态朝向除电对象以高速进行喷射，其结果，能由少量的空气消费量效率良好地朝向除电对象输送离子。附图说明图1是本专利技术的离子发生器的侧视图。图2是在宽度方向的中央位置在长度方向切断了离子发生器主体的剖视图。图3是图2的主要部分放大图。图4是沿图3的IV－IV线的剖视图。图5(a)～(c)是表示扩散器中的输送空气流通孔的孔形状的变形例的主要部分的剖视图。图6是从斜上方观看放电针盒的立体图。图7是从斜下方观看放电针盒的立体图。图8是图6的放电针盒的分解立体图。图9是表示风速的解析结果的线图。图10是表示本专利技术的离子发生器的另一个实施方式的主要部分的剖视图。具体实施方式为了实施专利技术的方式在图1及图2中，表示本专利技术的离子发生器1的一实施方式。此离子发生器1是用于在半导体晶片、液晶玻璃等各种工件W的处理工序中因静电而带电的该工件W的除电的设备，具有离子发生器主体2和操作盘3，该离子发生器主体2具备通过施加交流高电压产生电晕放电而产生离子的放电针4，该操作盘3对离子发生器整体进行操作。上述操作盘3具有内置交流高电压电路的第一操作盘3a和具备了各种操作按钮6、灯7、显示部8等的第二操作盘3b，该第二操作盘3b被安装在上述第一操作盘3a的侧面上，该操作盘3由从上述第一操作盘3a延伸出来的软线9与上述离子发生器主体2电气性地连接。上述离子发生器主体2是沿主体轴线L做成了细长的形状的棒状的主体，具有主体10。该主体10是通过将多个主体块11a～11e沿上述主体轴线L串联且可增减地连结而形成的，在该主体10的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子发生器，其具有通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针；对该放电针进行保持的放电针保持架；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构，其特征在于，上述放电针保持架具有放电针收容室；通向该放电针收容室的基端部的辅助空气流入口；及在该放电针收容室的前端部以与外部空间直接连通的方式开口的辅助空气流出口，上述放电针以使针尖从上述辅助空气流出口与外部空间面对的姿势被收容在上述放电针收容室的内部，在该放电针的外周和上述放电针收容室及辅助空气流出口的内周之间，形成了从上述辅助空气流入口到上述辅助空气流出口的辅助空气流通间隙，上述输送空气喷射机构具有驱动喷嘴和扩散器，并配设在与上述放电针保持架邻接的位置，该驱动喷嘴具有基端的驱动空气导入口及前端的驱动空气喷出口，该扩散器经外气吸入间隙配设在该驱动喷嘴的前方，在上述扩散器的内部，以做成与上述驱动空气喷出口同轴的方式形成了直径比上述驱动空气喷出口大的输送空气流通孔，在该输送空气流通孔的前端，形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口。

【技术特征摘要】
2017.10.19 JP 2017-2027681.一种离子发生器，其具有通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针；对该放电针进行保持的放电针保持架；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构，其特征在于，上述放电针保持架具有放电针收容室；通向该放电针收容室的基端部的辅助空气流入口；及在该放电针收容室的前端部以与外部空间直接连通的方式开口的辅助空气流出口，上述放电针以使针尖从上述辅助空气流出口与外部空间面对的姿势被收容在上述放电针收容室的内部，在该放电针的外周和上述放电针收容室及辅助空气流出口的内周之间，形成了从上述辅助空气流入口到上述辅助空气流出口的辅助空气流通间隙，上述输送空气喷射机构具有驱动喷嘴和扩散器，并配设在与上述放电针保持架邻接的位置，该驱动喷嘴具有基端的驱动空气导入口及前端的驱动空气喷出口，该扩散器经外气吸入间隙配设在该驱动喷嘴的前方，在上述扩散器的内部，以做成与上述驱动空气喷出口同轴的方式形成了直径比上述驱动空气喷出口大的输送空气流通孔，在该输送空气流通孔的前端，形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口。2.如权利要求1记载的离子发生器，其特征在于，上述输送空气喷射机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：安冈孝，今野优，土屋元，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP