有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法，所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个左右设置并分别与所述的外侧板保持绝缘地固定连接的电极板，以及与所述的电极板电连接的直流电源，其中，所述的电极板和外侧板围合成与所述的中心孔对应的激光通道。本发明专利技术装置通过金属极板接电，在通光孔内部形成电场，偏转收集带电粒子，由此减少粒子对腔镜镜面的损害与污染，保证光传输质量。

\u6709\u6548\u53bb\u5e26\u7535\u7c92\u5b50\u6c61\u67d3\u7684\u8154\u955c\u4fdd\u62a4\u88c5\u7f6e\u3001\u6fc0\u5149\u5668\u53ca\u63a7\u5236\u65b9\u6cd5

The invention discloses a cavity mirror protection device, a laser and a control method for effectively removing charged particle pollution. The cavity mirror protection device includes two end-face baffles with parallel coaxial settings and central holes respectively, two upper and lower opposite side plates which are fixed and connected with the inner side of the end-face baffle, and two left and right sides. The electrode plate and the DC power supply electrically connected with the outer plate are respectively disposed and fixed in an insulating manner. The laser channel corresponding to the central hole is synthesized by the electrode plate and the outer plate circumference. The device is connected by a metal plate, forms an electric field inside the through hole, deflects and collects charged particles, thereby reducing the damage and pollution of particles to the mirror surface of the cavity mirror, and guaranteeing the quality of optical transmission.

【技术实现步骤摘要】
有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法
本专利技术属于激光设备
，具体涉及一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法。
技术介绍
现有实验工况下，主真空室产生的带电粒子由于溅射或漏电势的作用，会通过连接通道运动到光腔室，污染反射镜镜面，导致镜片面型变差、反射率下降，光束质量恶化，对整体试验运行影响极大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，实现镜面保护功能，延长镜片寿命，保障试验的长时间、高质量运行。。同时，本专利技术还公开了一种激光器及其控制方法。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个左右设置并分别与所述的外侧板保持绝缘地固定连接的电极板，以及与所述的电极板电连接的直流电源，其中，所述的电极板和外侧板围合成与所述的中心孔对应的激光通道。在上述技术方案中，所述的外侧板包括中间板，两个分别于所述的中间板两侧相对其垂直向内翻折并延伸的侧挡板以及对应相对所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，其特征在于：包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个左右设置并分别与所述的外侧板保持绝缘地固定连接的电极板，以及与所述的电极板电连接的直流电源，其中，所述的电极板和外侧板围合成与所述的中心孔对应的激光通道。

【技术特征摘要】
1.一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，其特征在于：包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个左右设置并分别与所述的外侧板保持绝缘地固定连接的电极板，以及与所述的电极板电连接的直流电源，其中，所述的电极板和外侧板围合成与所述的中心孔对应的激光通道。2.根据权利要求1所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，其特征在于：所述的外侧板包括中间板，两个分别于所述的中间板两侧相对其垂直向内翻折并延伸的侧挡板以及对应相对所述的侧挡板垂直向外翻折并延伸的侧翼板，两外侧板的侧翼板保持间距。3.根据权利要求2所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，其特征在于：所述的外侧边两端对应形成有翻边以与所述的断面挡板通过螺栓固定连接；所述的电极板通过绝缘陶瓷座与所述的外侧板的侧翼板固定连接。4.根据权利要求3所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，其特征在于：端面挡板、电极板与外侧板均由不锈钢钢板制成，所述的绝缘陶瓷座为99％氧化铝陶瓷制成。5.根据权利要求1所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，其特征在于：其中一个电极板接所述的直流电源的正极，另一电极板接地。6.根据权利要求1所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：高鹏，刘海勇，岳鹏，张巍舰，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：天津,12