制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置，属于金属靶材的制备技术领域。所述水冷模具包括中心部分和外围部分，中心部分包括第一水冷盘，外围部分包括第二水冷盘，第二水冷盘设有第一通孔，所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘的外径，第一水冷盘放置在第一通孔中，第一水冷盘外径和第一通孔内径之间的空间为储液区；所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路。本实用新型专利技术适用于旋转靶的制备，可简化旋转靶制备的流程，提高生产效率，提高产品质量。

Water-cooled Die and Equipment for Preparing Rotary Refractory Rare Metal Targets

The utility model relates to a water-cooled die and device for preparing rotating refractory rare metal targets, belonging to the technical field of preparing metal targets. The water cooling die comprises a central part and a peripheral part, the central part includes a first water cooling plate, the peripheral part includes a second water cooling plate, and the second water cooling plate is provided with a first through hole whose diameter is larger than the outer diameter of the first water cooling plate. The first water cooling plate is placed in the first through hole, and the space between the outer diameter of the first water cooling plate and the inner diameter of the first through hole is a liquid storage area. Cooling water passage is provided in both part and central part. The utility model is suitable for the preparation of rotating targets, which can simplify the preparation process of rotating targets, improve production efficiency and improve product quality.

【技术实现步骤摘要】
制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置
本技术涉及一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置，属于金属靶材的制备

技术介绍
在本
中,难熔稀有金属指熔点高于1650℃的稀有金属，包括铌、钽、钛、钼中的一种或多种。目前，旋转难熔稀有金属靶的主要通过粉末冶金的方式来制备，该方式工艺路线繁琐，成本较高，制备出的产品致密性较差，同时，在整个生产过程中，初级原料为高纯难熔稀有金属粉，经过后续多道生产工艺，生产过程中会对产品产生多次污染，导致最终得到的产品纯度低于初始原料的纯度。
技术实现思路
针对现有技术存在的上述缺陷，本技术提出了一种新的制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置。本技术是采用以下的技术方案实现的：一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，包括中心部分和外围部分，中心部分包括第一水冷盘，外围部分包括第二水冷盘，第二水冷盘设有第一通孔，所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘的外径，第一水冷盘放置在第一通孔中，第一水冷盘外径和第一通孔内径之间的空间为储液区；所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路。本技术所述的水冷模具放置在水冷拉锭机构上方使用，水冷拉锭机构、第一水冷盘和第二水冷盘围合成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，包括中心部分和外围部分，中心部分包括第一水冷盘(1)，外围部分包括第二水冷盘(2)，第二水冷盘(2)设有第一通孔，所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘(1)的外径，第一水冷盘(1)放置在第一通孔中，第一水冷盘(1)外径和第一通孔内径之间的空间为储液区(3)；所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路(4)。

【技术特征摘要】
1.一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，包括中心部分和外围部分，中心部分包括第一水冷盘(1)，外围部分包括第二水冷盘(2)，第二水冷盘(2)设有第一通孔，所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘(1)的外径，第一水冷盘(1)放置在第一通孔中，第一水冷盘(1)外径和第一通孔内径之间的空间为储液区(3)；所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路(4)。2.根据权利要求1所述的制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，所述中心部分还包括固定于第一水冷盘(1)下方的管状件(7)，所述冷却水通路(4)开设于管状件(7)内部并通入第一水冷盘(1)内部。3.根据权利要求1所述的制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，所述第一水冷盘(1)为圆形水冷盘，第二水冷盘(2)为环状水冷盘，所述第一水冷盘(1)和第二水冷盘(2)呈同心圆设置。4.根据权利要求2所述的制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，所述管状件(7)沿轴向开设有进水孔(5)，进水孔(5)的周围设有环形出水孔(6)，进水孔(5)和环形出水孔(6)通过第一水冷盘(1)内部的冷却水通路(4)连通。5.根据权利要求1所述的制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，所述第一水冷盘(1)的上棱边和第二水冷盘(2)第一通孔的上棱边设有倒角(20)。6.根据权利要求1所述的制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，所述第一水冷盘(1)的厚度和第二水冷盘(2)的厚度为80...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，郭校亮，陈良杰，刘勋海，
申请(专利权)人：青岛蓝光晶科新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37