【技术实现步骤摘要】
AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统
本专利技术涉及AMC
,尤其涉及AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统。
技术介绍
AMC是气体性分子污染物(AirborneMolecularContamination)的缩写,主要被SEMI定义有四大子项目:MA(酸蒸气)、MB(硷蒸气)、MC(凝结物质)及MD(掺杂物质),来源可能是无尘室外的汽车排气、大气臭氧、工厂排放等,或是洁净室内的化学溶剂挥发、蚀刻酸气、塑料制品溢散等,由于来源非常广泛,污染物项目族繁多元,因此如何有效控制逐渐成为相关业者相当困扰的一大难题。现有的AMC气体以及环境污染气体进行检测分析时,往往是通过对某个地方的气体进行取样分析,然后进行检测,最后得出AMC气体以及环境污染气体的含量等情况,但无法一直持续对AMC气体以及环境污染气体进行分析监控处理,为此,我们提出了一种AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统,包括主系统和副系统,所述主系统包括主采集管、电磁阀、主中继泵、主气体缓衡装置、气体分析仪器、变通泵、主电脑、主现场电脑、主可程式规划器、主讯号输出器,所述副系统包括副采集管、副讯号输出器、副气体缓衡装置、气体量测仪器、泵电源继电器装置、自动采集控制电脑、副现场电脑、副中继泵以及副可程式规划器,所述主采集管的输出端连接有电磁阀、变通泵以及主讯号输出器,所述主讯 ...
【技术保护点】
1.AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统,包括主系统和副系统,其特征在于,所述主系统包括主采集管(1)、电磁阀(2)、主中继泵(4)、主气体缓衡装置(5)、气体分析仪器(6)、变通泵(7)、主电脑(8)、主现场电脑(9)、主可程式规划器(10)、主讯号输出器(3),所述副系统包括副采集管(11)、副讯号输出器(12)、副气体缓衡装置(14)、气体量测仪器(16)、泵电源继电器装置(15)、自动采集控制电脑(17)、副现场电脑(19)、副中继泵(13)以及副可程式规划器(18),所述主采集管(1)的输出端连接有电磁阀(2)、变通泵(7)以及主讯号输出器(3),所述主讯号输出器(3)的输出端连接有主中继泵(4),所述主中继泵(4)的输出端连接有主气体缓衡装置(5),所述主气体缓衡装置(5)的输出端连接有多个气体分析仪器(6),多个所述气体分析仪器(6)的输出端共同连接有主电脑(8),所述主现场电脑(9)的输出端连接有主可程式规划器(10),所述主可程式规划器(10)的输出端与主采集管(1)的输入端连接,所述主电脑(8)的输出端连接有报警器。
【技术特征摘要】
1.AMC气体与环境污染气体连续采样分析监控系统,包括主系统和副系统,其特征在于,所述主系统包括主采集管(1)、电磁阀(2)、主中继泵(4)、主气体缓衡装置(5)、气体分析仪器(6)、变通泵(7)、主电脑(8)、主现场电脑(9)、主可程式规划器(10)、主讯号输出器(3),所述副系统包括副采集管(11)、副讯号输出器(12)、副气体缓衡装置(14)、气体量测仪器(16)、泵电源继电器装置(15)、自动采集控制电脑(17)、副现场电脑(19)、副中继泵(13)以及副可程式规划器(18),所述主采集管(1)的输出端连接有电磁阀(2)、变通泵(7)以及主讯号输出器(3),所述主讯号输出器(3)的输出端连接有主中继泵(4),所述主中继泵(4)的输出端连接有主气体缓衡装置(5),所述主气体缓衡装置(5)的输出端连接有多个气体分析仪器(6),多个所述气体分析仪器(6)的输出端共同连接有主电脑(8),所述主现场电脑(9)的输出端连接有主可程式规划器(10),所述主可程式规划器(10)的输出端与主采集管(1)的输入端连接,所述主...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚旻祈,龚柏睿,
申请(专利权)人:上海艺旻科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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