一种用于AMC气体检测的装置制造方法及图纸

技术编号:39313635 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-12 15:58
本发明专利技术公开了一种用于AMC气体检测的装置,涉及气体检测技术领域,其包括操作台,所述操作台顶端固定连接有检测机构。本发明专利技术通过设置检测机构,反复推拉移动块在检测箱内壁滑动,检测箱内多次进入和排出需检测的AMC气体样本,使得检测头在检测箱内检测的样本气体纯度更高,并且过滤箱可对检测箱排出的AMC气体进行过滤,减少空气污染;检测头对检测箱的气体检测完成后,转动机构带动检测头移动至清洁机构上方,并带动检测头移动至两组清洁滚刷之间,清洁滚刷对检测过AMC气体的检测头进行擦拭清洁,使得每次进行检测后的检测头都能进行清洁,以免下次检测时会因为检测头被污染而产生误差,同时提高了气体检测设备的使用寿命和使用效果。使用效果。使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于AMC气体检测的装置


[0001]本专利技术涉及气体检测
,具体为一种用于AMC气体检测的装置。

技术介绍

[0002]AMC是气体性分子污染物(AirborneMolecularContamination)的缩写,主要被SEMI定义有四大子项目:MA(酸蒸气)、MB(硷蒸气)、MC(凝结物质)及MD(掺杂物质),来源可能是无尘室外的汽车排气、大气臭氧、工厂排放等,或是洁净室内的化学溶剂挥发、蚀刻酸气、塑料制品逸散等,由于来源非常广泛,污染物项目族繁多元,因此如何有效控制逐渐成为相关业者相当困扰的一大难题。
[0003]气体检测装置在对AMC气体以及环境污染气体进行检测分析时,往往是通过对某个地方的气体进行取样分析,然后通过检测设备对样本进行检测。
[0004]现有的AMC气体检测设备在检测样本时,不方便安装且封性不够好样本中容易混入检测时的空气,影像检测的最终结果,同时现有的气体检测头不便于除尘,气体检测设备长时间工作后,检测头的传感器上会存在大量的灰尘以及腐蚀颗粒,从而影响了传感器精度,增大了测量误差,大大的降低了气体检测设备的使用寿命和使用效果。

技术实现思路

[0005]基于此,本专利技术的目的是提供一种用于AMC气体检测的装置,以解决上述背景中提出的技术问题。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种用于AMC气体检测的装置,包括操作台,所述操作台顶端固定连接有检测机构,所述检测机构内壁固定套接有开合机构,所述开合机构顶端固定连接有转动机构,所述检测机构底端固定连接有移动机构,所述操作台顶端固定连接有清洁机构;
[0007]所述检测机构包括检测箱、移动块、进气管、第一单向阀、出气管、第二单向阀、过滤箱和连接组件,所述操作台顶端固定连接有检测箱,所述检测箱内壁滑动连接有移动块,所述检测箱内壁固定连接有进气管,所述进气管内壁固定套接有第一单向阀,所述检测箱内壁固定连接有出气管,所述出气管内壁固定套接有第二单向阀,所述出气管外壁固定套接有过滤箱,所述进气管上开设有连接组件,所述检测箱内壁固定套接有开合机构。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述连接组件包括环形槽、限位圈、螺纹杆和推块,所述进气管上开设有环形槽,所述环形槽槽内固定套接有限位圈,所述环形槽槽内滑动连接有推块,所述推块一侧转动连接有螺纹杆,所述进气管内壁套接螺纹杆部分设置有与螺纹杆外壁螺纹相匹配的螺纹,所述螺纹杆和推块均设置有三组,三组所述螺纹杆和推块以限位圈的轴心为轴心圆周阵列设置。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述清洁机构包括底座、大液压泵、连接管、小液压泵、挡板、弹簧和清洁组件,所述操作台顶端固定连接有底座,所述底座顶端固定连接有大液压泵,所述大液压泵的伸缩端的顶端固定连接有挡板,所述挡板底端固定连接有弹
簧,所述弹簧的一端固定连接大液压泵,所述大液压泵的内壁固定套接有连接管并贯穿至大液压泵内部,所述连接管外壁固定套接有小液压泵并贯穿至小液压泵内部,所述小液压泵的伸缩端固定连接有清洁组件。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述清洁组件包括移动轴、清洁滚刷、移动齿轮、第一齿条、限位槽和限位块,所述小液压泵的伸缩端固定连接有限位块,所述限位块的内壁转动套接有移动轴,所述移动轴的外壁固定套接有清洁滚刷,所述移动轴的外壁固定套接有移动齿轮,所述移动齿轮啮合有第一齿条,所述第一齿条固定连接在底座上,所述底座上开设有限位槽,所述限位槽槽内滑动连接限位块。
[0011]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述开合机构包括固定板、转动环、弧形齿条、滑槽、卡轴、通孔、开合组件和移动柱,所述检测箱内壁固定套接有固定板,所述固定板上开设有通孔,所述固定板转动连接有转动环,所述固定板和通孔均设置有两组,两组所述固定板和通孔对称设置在转动环的两侧,所述转动环上开设有弧形齿条,所述转动环的顶端固定连接有卡轴,所述固定板上开设有滑槽,所述滑槽槽内滑动连接卡轴,所述卡轴外壁滑动套接移动柱,所述移动柱的底端固定连接有检测头,所述弧形齿条啮合有开合组件,所述移动柱顶端转动连接有转动机构。
[0012]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述开合组件包括固定柱、第一齿轮、齿条块、限位条、滑动条、密封槽和密封条,所述弧形齿条啮合有第一齿轮,所述第一齿轮内壁转动套接有固定柱,所述固定柱的一端固定连接有固定板,所述第一齿轮啮合有齿条块,所述齿条块一侧固定连接有滑动条,所述滑动条滑动贴合有限位条,所述限位条固定连接固定板,所述齿条块上开设有密封槽,所述齿条块一侧固定连接有密封条,所述弧形齿条、滑槽、卡轴和开合组件均设置有四组,四组所述弧形齿条、滑槽、卡轴和开合组件以通孔为轴心圆周阵列设置。
[0013]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述转动机构包括连接板、转动柱、蜗轮、蜗杆、连接杆、伸缩杆、U形槽、限位轴和支撑板,所述移动柱顶端固定连接有连接板,所述连接板的底端固定连接有转动柱,所述转动柱的外壁固定套接有蜗轮,所述蜗轮啮合有蜗杆,所述蜗杆的底端固定连接有连接杆,所述连接杆的一侧固定连接有伸缩杆的伸缩端,所述转动柱外壁转动套接有支撑板,所述转动柱外壁开设有U形槽,所述U形槽槽内滑动连接有限位轴,所述限位轴的一端固定连接支撑板。
[0014]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述支撑板的底端固定连接有操作台,所述伸缩杆的一端固定连接操作台,所述操作台上开设有让位槽,所述让位槽内滑动连接有连接杆,所述连接杆的内壁套接有卡块,所述卡块的外壁套接有移动机构。
[0015]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述移动机构包括第二齿条、第二齿轮、转轴、转盘、万向轴和转动杆,所述卡块的外壁套接有第二齿条,所述第二齿条啮合有第二齿轮,所述第二齿轮的内壁固定套接有转轴,所述转轴的外壁固定套接有转盘,所述转盘的顶端固定连接有万向轴,所述万向轴转动连接有转动杆,所述万向轴设置有两组,两组所述万向轴分别连接转动杆的两端,所述万向轴的顶端固定连接移动块,所述转轴的外壁转动套接有定位板,所述定位板的两端固定连接操作台。
[0016]综上所述,本专利技术主要具有以下有益效果:
[0017]本专利技术通过设置检测机构,反复推拉移动块在检测箱内壁滑动,检测箱内多次进
入和排出需检测的AMC气体样本,使得检测头在检测箱内检测的样本气体纯度更高,并且过滤箱可对检测箱排出的AMC气体进行过滤,减少空气污染;
[0018]检测头对检测箱的气体检测完成后,转动机构带动检测头移动至清洁机构上方,并带动检测头移动至两组清洁滚刷之间,清洁滚刷对检测过AMC气体的检测头进行擦拭清洁,使得每次进行检测后的检测头都能进行清洁,以免下次检测时会因为检测头被污染而产生误差,同时提高了气体检测设备的使用寿命和使用效果。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的整体结构示意图;
[0020]图2为本专利技术的转动机构结构示意图;
[0021]图3为本专利技术的移动机构结构示意图;
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于AMC气体检测的装置,包括操作台(100),其特征在于:所述操作台(100)顶端固定连接有检测机构(200),所述检测机构(200)内壁固定套接有开合机构(300),所述开合机构(300)顶端固定连接有转动机构(400),所述检测机构(200)底端固定连接有移动机构(600),所述操作台(100)顶端固定连接有清洁机构(500);所述检测机构(200)包括检测箱(210)、移动块(220)、进气管(230)、第一单向阀(240)、出气管(250)、第二单向阀(260)、过滤箱(270)和连接组件(280),所述操作台(100)顶端固定连接有检测箱(210),所述检测箱(210)内壁滑动连接有移动块(220),所述检测箱(210)内壁固定连接有进气管(230),所述进气管(230)内壁固定套接有第一单向阀(240),所述检测箱(210)内壁固定连接有出气管(250),所述出气管(250)内壁固定套接有第二单向阀(260),所述出气管(250)外壁固定套接有过滤箱(270),所述进气管(230)上开设有连接组件(280),所述检测箱(210)内壁固定套接有开合机构(300)。2.根据权利要求1所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述连接组件(280)包括环形槽(281)、限位圈(282)、螺纹杆(283)和推块(284),所述进气管(230)上开设有环形槽(281),所述环形槽(281)槽内固定套接有限位圈(282),所述环形槽(281)槽内滑动连接有推块(284),所述推块(284)一侧转动连接有螺纹杆(283),所述进气管(230)内壁套接螺纹杆(283)部分设置有与螺纹杆(283)外壁螺纹相匹配的螺纹,所述螺纹杆(283)和推块(284)均设置有三组,三组所述螺纹杆(283)和推块(284)以限位圈(282)的轴心为轴心圆周阵列设置。3.根据权利要求1所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述清洁机构(500)包括底座(510)、大液压泵(520)、连接管(530)、小液压泵(540)、挡板(550)、弹簧(560)和清洁组件(570),所述操作台(100)顶端固定连接有底座(510),所述底座(510)顶端固定连接有大液压泵(520),所述大液压泵(520)的伸缩端的顶端固定连接有挡板(550),所述挡板(550)底端固定连接有弹簧(560),所述弹簧(560)的一端固定连接大液压泵(520),所述大液压泵(520)的内壁固定套接有连接管(530)并贯穿至大液压泵(520)内部,所述连接管(530)外壁固定套接有小液压泵(540)并贯穿至小液压泵(540)内部,所述小液压泵(540)的伸缩端固定连接有清洁组件(570)。4.根据权利要求3所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述清洁组件(570)包括移动轴(571)、清洁滚刷(572)、移动齿轮(573)、第一齿条(574)、限位槽(575)和限位块(576),所述小液压泵(540)的伸缩端固定连接有限位块(576),所述限位块(576)的内壁转动套接有移动轴(571),所述移动轴(571)的外壁固定套接有清洁滚刷(572),所述移动轴(571)的外壁固定套接有移动齿轮(573),所述移动齿轮(573)啮合有第一齿条(574),所述第一齿条(574)固定连接在底座(510)上,所述底座(510)上开设有限位槽(575),所述限位槽(575)槽内滑动连接限位块(576)。5.根据权利要求1所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述开合机构(300)包括固定板(310)、转动环(320)、弧形齿条(330)、滑槽(340)、卡轴(350)、通孔(360)、开合组件(370)和移动柱(380),所述检测箱(210)内壁固定套接有固定板(310),所述固定板(310)上开设有通孔(360),所述固定板(310)转动连接有转动环(320...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚旻祈龚柏睿
申请(专利权)人:上海艺旻科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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