【技术实现步骤摘要】
一种用于AMC气体检测的装置
[0001]本专利技术涉及气体检测
,具体为一种用于AMC气体检测的装置。
技术介绍
[0002]AMC是气体性分子污染物(AirborneMolecularContamination)的缩写,主要被SEMI定义有四大子项目:MA(酸蒸气)、MB(硷蒸气)、MC(凝结物质)及MD(掺杂物质),来源可能是无尘室外的汽车排气、大气臭氧、工厂排放等,或是洁净室内的化学溶剂挥发、蚀刻酸气、塑料制品逸散等,由于来源非常广泛,污染物项目族繁多元,因此如何有效控制逐渐成为相关业者相当困扰的一大难题。
[0003]气体检测装置在对AMC气体以及环境污染气体进行检测分析时,往往是通过对某个地方的气体进行取样分析,然后通过检测设备对样本进行检测。
[0004]现有的AMC气体检测设备在检测样本时,不方便安装且封性不够好样本中容易混入检测时的空气,影像检测的最终结果,同时现有的气体检测头不便于除尘,气体检测设备长时间工作后,检测头的传感器上会存在大量的灰尘以及腐蚀颗粒,从而影响了传感器精度,增大了测量误差,大大的降低了气体检测设备的使用寿命和使用效果。
技术实现思路
[0005]基于此,本专利技术的目的是提供一种用于AMC气体检测的装置,以解决上述背景中提出的技术问题。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种用于AMC气体检测的装置,包括操作台,所述操作台顶端固定连接有检测机构,所述检测机构内壁固定套接有开合机构,所述开合机构顶端固定连接有转 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于AMC气体检测的装置,包括操作台(100),其特征在于:所述操作台(100)顶端固定连接有检测机构(200),所述检测机构(200)内壁固定套接有开合机构(300),所述开合机构(300)顶端固定连接有转动机构(400),所述检测机构(200)底端固定连接有移动机构(600),所述操作台(100)顶端固定连接有清洁机构(500);所述检测机构(200)包括检测箱(210)、移动块(220)、进气管(230)、第一单向阀(240)、出气管(250)、第二单向阀(260)、过滤箱(270)和连接组件(280),所述操作台(100)顶端固定连接有检测箱(210),所述检测箱(210)内壁滑动连接有移动块(220),所述检测箱(210)内壁固定连接有进气管(230),所述进气管(230)内壁固定套接有第一单向阀(240),所述检测箱(210)内壁固定连接有出气管(250),所述出气管(250)内壁固定套接有第二单向阀(260),所述出气管(250)外壁固定套接有过滤箱(270),所述进气管(230)上开设有连接组件(280),所述检测箱(210)内壁固定套接有开合机构(300)。2.根据权利要求1所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述连接组件(280)包括环形槽(281)、限位圈(282)、螺纹杆(283)和推块(284),所述进气管(230)上开设有环形槽(281),所述环形槽(281)槽内固定套接有限位圈(282),所述环形槽(281)槽内滑动连接有推块(284),所述推块(284)一侧转动连接有螺纹杆(283),所述进气管(230)内壁套接螺纹杆(283)部分设置有与螺纹杆(283)外壁螺纹相匹配的螺纹,所述螺纹杆(283)和推块(284)均设置有三组,三组所述螺纹杆(283)和推块(284)以限位圈(282)的轴心为轴心圆周阵列设置。3.根据权利要求1所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述清洁机构(500)包括底座(510)、大液压泵(520)、连接管(530)、小液压泵(540)、挡板(550)、弹簧(560)和清洁组件(570),所述操作台(100)顶端固定连接有底座(510),所述底座(510)顶端固定连接有大液压泵(520),所述大液压泵(520)的伸缩端的顶端固定连接有挡板(550),所述挡板(550)底端固定连接有弹簧(560),所述弹簧(560)的一端固定连接大液压泵(520),所述大液压泵(520)的内壁固定套接有连接管(530)并贯穿至大液压泵(520)内部,所述连接管(530)外壁固定套接有小液压泵(540)并贯穿至小液压泵(540)内部,所述小液压泵(540)的伸缩端固定连接有清洁组件(570)。4.根据权利要求3所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述清洁组件(570)包括移动轴(571)、清洁滚刷(572)、移动齿轮(573)、第一齿条(574)、限位槽(575)和限位块(576),所述小液压泵(540)的伸缩端固定连接有限位块(576),所述限位块(576)的内壁转动套接有移动轴(571),所述移动轴(571)的外壁固定套接有清洁滚刷(572),所述移动轴(571)的外壁固定套接有移动齿轮(573),所述移动齿轮(573)啮合有第一齿条(574),所述第一齿条(574)固定连接在底座(510)上,所述底座(510)上开设有限位槽(575),所述限位槽(575)槽内滑动连接限位块(576)。5.根据权利要求1所述的一种用于AMC气体检测的装置,其特征在于:所述开合机构(300)包括固定板(310)、转动环(320)、弧形齿条(330)、滑槽(340)、卡轴(350)、通孔(360)、开合组件(370)和移动柱(380),所述检测箱(210)内壁固定套接有固定板(310),所述固定板(310)上开设有通孔(360),所述固定板(310)转动连接有转动环(320...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚旻祈,龚柏睿,
申请(专利权)人:上海艺旻科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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