磁传感器及电流传感器制造技术

作为具有即使在被长时间保存在高温环境下的情况下也难以发生灵敏度下降的现象的磁阻效应元件的磁传感器，本发明专利技术提供一种磁传感器(1)，该磁传感器(1)具备磁阻效应元件(GMR11)，该磁阻效应元件(GMR11)在特定方向上具有灵敏度轴，其中，磁阻效应元件(GMR11)在自由磁性层(23)的与非磁性材料层(21b)相向一侧的相反侧具有第一反铁磁性层(24)，自由磁性层(23)具有失配减小层(23b)和铁磁性层(23a)，该失配减小层(23b)以与第一反铁磁性层(24)相接的方式设置来减小自由磁性层23相对于第一反铁磁性层(24)的晶格失配，该铁磁性层(23a)设置在失配减小层(23)的与第一反铁磁性层(24)相向一侧的相反侧并且由强磁性材料构成，铁磁性层(23a)具有NiFeM层(231a)(M由从Ta、Cr、Nb、Rh、Zr、Mo、Al、Au、Pd、Pt及Si中选出的一种或两种以上元素组成)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁传感器及电流传感器
本专利技术涉及一种磁传感器以及具有该磁传感器的电流传感器。
技术介绍
在电动汽车或混合动力汽车中的马达驱动技术等领域中，由于要处理较大的电流，因此寻求一种能够通过非接触的方式测定大电流的电流传感器。作为这种电流传感器，已知一种利用了磁传感器的电流传感器，该磁传感器用于检测来自被测定电流的感应磁场。作为磁传感器用的磁检测元件，例如，举出GMR(GiantMagnetoResistive：巨磁阻)元件等磁阻效应元件。GMR元件将固定磁性层与自由磁性层隔着非磁性材料层层叠而成的层叠结构作为基本结构。固定磁性层通过由反铁磁性层与铁磁性层的层叠结构产生的交换耦合偏置、或者由两个铁磁性层隔着非磁性中间层层叠而成的防自钉扎(Self-Pin)结构所产生的RKKY(Ruderman-Kittel-Kasuya-Yosida)相互作用(间接交换相互作用)，将磁化方向固定在一个方向。自由磁性层的磁化方向能够根据外部磁场变化。在用具有GMR元件的磁传感器制成的电流传感器中，通过向GMR元件施加来自被测定电流的感应磁场，自由磁性层的磁化方向发生变化。由于GMR元件的电阻值根据该自由磁性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁传感器，所述磁传感器具备磁阻效应元件，所述磁阻效应元件在特定方向上具有灵敏度轴，其中，所述磁阻效应元件在基板上具有将固定磁性层与自由磁性层隔着非磁性材料层层叠而成的层叠结构，所述磁阻效应元件在所述自由磁性层的与所述非磁性材料层相向一侧的相反侧具有第一反铁磁性层，所述第一反铁磁性层能够在与所述自由磁性层之间产生交换耦合偏置从而使所述自由磁性层的磁化方向在能够进行磁化变动的状态下与规定方向一致，所述自由磁性层具有失配减小层和铁磁性层，所述失配减小层以与所述第一反铁磁性层相接的方式设置来减小所述自由磁性层相对于所述第一反铁磁性层的晶格失配，所述铁磁性层设置在所述失配减小层的与所述第一反铁磁...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.23 JP 2016-1626421.一种磁传感器，所述磁传感器具备磁阻效应元件，所述磁阻效应元件在特定方向上具有灵敏度轴，其中，所述磁阻效应元件在基板上具有将固定磁性层与自由磁性层隔着非磁性材料层层叠而成的层叠结构，所述磁阻效应元件在所述自由磁性层的与所述非磁性材料层相向一侧的相反侧具有第一反铁磁性层，所述第一反铁磁性层能够在与所述自由磁性层之间产生交换耦合偏置从而使所述自由磁性层的磁化方向在能够进行磁化变动的状态下与规定方向一致，所述自由磁性层具有失配减小层和铁磁性层，所述失配减小层以与所述第一反铁磁性层相接的方式设置来减小所述自由磁性层相对于所述第一反铁磁性层的晶格失配，所述铁磁性层设置在所述失配减小层的与所述第一反铁磁性层相向一侧的相反侧并且由强磁性材料构成，所述铁磁性层具有NiFeM层(M由从Ta、Cr、Nb、Rh、Zr、Mo、Al、Au、Pd、Pt及Si中选出的一种或两种以上元素组成)。2.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，所述失配减小层和所述铁磁性层具有面心立方(fcc)结构，所述失配减小层的fcc(111)面中的晶格面间隔大于所述铁磁性层的fcc(111)面中的晶格面间隔。3.根据权利要求1或2所述的磁传感器，其中，所述失配减小层含有铁族元素中的一种或两种以上以及铂族元素中的一种或两种以上。4.一种磁传感器，所述磁传感器具备磁阻效应元件，所述磁阻效应元件在特定方向上具有灵敏度轴，其中，所述磁阻效应元件在基板上具有将固定磁性层与自由磁性层隔着非磁性材料层层叠而成的层叠结构，所述磁阻效应元件在所述自由磁性层的与所述非磁性材料层相向一侧的相反侧具有第一反铁磁性层，...

【专利技术属性】
技术研发人员：井出洋介，
申请(专利权)人：阿尔卑斯阿尔派株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP