【技术实现步骤摘要】
一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法
本专利技术属于透镜阵列制备
,特别涉及一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法。
技术介绍
由于成本低且制备简单,聚合物微透镜阵列已广泛用于微光学系统、人造复眼和其他光伏器件。在过去的几年中,已经提出了各种方法来制造微透镜,例如热压印,光刻,热熔,化学蚀刻,上述方法不仅形貌难以控制,而且工艺复杂,加工效率低,极大限制了微透镜阵列的推广应用。虽然超快激光加工具有超高的空间分辨率,广泛应用于精细加工
,但是利用传统激光“点对点”方法加工微透镜阵列方法加工效率很低,而且需要进行翻模,酸洗等后处理工艺。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提供一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法,不仅提高了大面积微透镜阵列效率,而且加工完成后可以直接成像,无需后处理,大大简化了微透镜阵列的制备流程。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案为:一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法,包括以下步骤:1)将15g聚甲基丙烯酸甲酯PMMA溶解在75g甲苯中,添加甲基红至饱和,转速为120转/分钟磁力搅拌装置搅拌12小时后,混合40分钟,用200nm滤纸过滤,得到PMMA混合溶液,然后将PMMA混合溶液涂在玻璃片上,室温下,在封闭空间中静置6小时,获得具有光滑表面和均匀厚度约为50μm的PMMA膜;2)搭建光路,光路包括皮秒激光器1,皮秒激光器1输出光经过第一反射镜2使光路转90°,反射光依次经过半波片3、分光棱镜4、光束整形器5、光圈6、快门7、第二反射镜8、聚焦物镜9、微 ...
【技术保护点】
1.一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将15g聚甲基丙烯酸甲酯PMMA溶解在75g甲苯中,添加甲基红至饱和,转速为120转/分钟磁力搅拌装置搅拌12小时后,混合40分钟,用200nm滤纸过滤,得到PMMA混合溶液,然后将PMMA混合溶液涂在玻璃片上,室温下,在封闭空间中静置6小时,获得具有光滑表面和均匀厚度约为50μm的PMMA膜;2)搭建光路,光路包括皮秒激光器(1),皮秒激光器(1)输出光经过第一反射镜(2)使光路转90°,反射光依次经过半波片(3)、分光棱镜(4)、光束整形器(5)、光圈(6)、快门(7)、第二反射镜(8)、聚焦物镜(9)、微透镜阵列(10)垂直照射在移动载物台(12)的加工样片(11)工位上,皮秒激光器(1)、快门(7)、移动载物台(12)和电脑(13)连接,利用半波片(3)和分光棱镜(4)调节激光功率,同时电脑(13)通过快门(7)控制光路的通断,采用微透镜阵列(10)用于皮秒激光器(1)输出激光的聚焦;3)利用电脑(13)调节皮秒激光器(1)输出激光,激光波长为532nm,重频为30kHz,脉宽为10ps,激光功 ...
【技术特征摘要】
1.一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将15g聚甲基丙烯酸甲酯PMMA溶解在75g甲苯中,添加甲基红至饱和,转速为120转/分钟磁力搅拌装置搅拌12小时后,混合40分钟,用200nm滤纸过滤,得到PMMA混合溶液,然后将PMMA混合溶液涂在玻璃片上,室温下,在封闭空间中静置6小时,获得具有光滑表面和均匀厚度约为50μm的PMMA膜;2)搭建光路,光路包括皮秒激光器(1),皮秒激光器(1)输出光经过第一反射镜(2)使光路转90°,反射光依次经过半波片(3)、分光棱镜(4)、光束整形器(5)、光圈(6)、快门(7)、第二反射镜(8)、聚焦物镜(9)、微透镜阵列(10)垂直照射在移动载物台(12)的加工样片(11)工位上,皮秒激光器(1)、...
【专利技术属性】
技术研发人员:王文君,梅雪松,李江,潘爱飞,孙学峰,崔健磊,
申请(专利权)人:西安交通大学,
类型:发明
国别省市:陕西,61
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