【技术实现步骤摘要】
带周期分布子系统的蜂巢状盘形MEMS振动陀螺
本专利技术涉及微机电陀螺仪，具体涉及一种带周期分布子系统的蜂巢状盘形MEMS振动陀螺。
技术介绍
陀螺仪是测量载体相对惯性空间旋转运动的传感器，是运动测量、惯性导航、制导控制等领域的核心器件，在航空航天、智能机器人、制导弹药等高端工业装备和精确打击武器中具有非常重要的应用价值。传统的陀螺仪包括机械转子陀螺、静电陀螺、半球谐振陀螺、激光陀螺、光纤陀螺、动力调谐陀螺等，它们精度普遍较高，但同时具有体积大、功耗高、价格高等缺点，难以满足上述应用需求。基于微机电系统技术的MEMS陀螺仪具有体积小、功耗低、寿命长、可批量生产、价格便宜等诸多特点，在大批量和小体积的工业和武器装备应用中具有先天优势。但与传统陀螺仪相比，目前MEMS陀螺仪的精度还不够高，应用主要局限于智能手机、微型无人机、汽车稳定控制系统等低端领域。卫星导航抗干扰抗欺骗、室内导航、微小型水下无人平台、单兵定位、地下随钻定向系统等新兴领域对高性能、小体积、低功耗、低成本MEMS陀螺仪提出了迫切需求。嵌套环式MEMS振动陀螺是全世界首个达到导航级精度的硅微陀螺，性能与激...
【技术保护点】
1.一种带周期分布子系统的蜂巢状盘形MEMS振动陀螺，包括蜂巢式框架结构的谐振子，其特征在于：所述谐振子中设有周期分布子系统，所述周期分布子系统包括呈圆周状分布于蜂巢式框架结构中各个内部六边形中的多个子单元，所述子单元包括悬臂梁和质量块，且所述质量块通过悬臂梁和内部六边形相连且使得子单元沿内部六边形的轴心对称布置。
【技术特征摘要】
1.一种带周期分布子系统的蜂巢状盘形MEMS振动陀螺，包括蜂巢式框架结构的谐振子，其特征在于：所述谐振子中设有周期分布子系统，所述周期分布子系统包括呈圆周状分布于蜂巢式框架结构中各个内部六边形中的多个子单元，所述子单元包括悬臂梁和质量块，且所述质量块通过悬臂梁和内部六边形相连且使得子单元沿内部六边形的轴心对称布置。2.根据权利要求1所述的带周期分布子系统的蜂巢状盘形MEMS振动陀螺，其特征在于：所述子单元包括通过悬臂梁和内部六边形顶边或底边相连的至少一个质量块。3.根据权利要求1所述的带周期分布子系统的蜂巢状盘形MEMS振动陀螺，其特征在于：所述子单元包括分别通过悬臂梁和内部六...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖定邦，吴学忠，李青松，张勇猛，许一，周鑫，高凯，路阔，王鹏，胡倩，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：湖南,43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。