放电灯及其制造方法、放电灯用电极及其制造方法技术

本发明专利技术提供放电灯及其制造方法、放电灯用电极及其制造方法。一种在放电灯中接合强度优异并且被固相接合而成的电极。在由以钨为主要成分的前端侧部件(40)和通过纯度99wt％以上的钼(Mo)构成的后端侧部件(50)进行固相接合而成的阴极(20)中，在从后端侧部件(50)的接合面(S)附近到电极支承棒孔中间点(C)附近的范围内，形成比前端侧部件(40)的晶粒(R1)的粒径大的、粗大化的晶粒(R2)。

Discharge lamp and its manufacturing method, electrode for discharge lamp and its manufacturing method

The invention provides a discharge lamp, a manufacturing method thereof, an electrode for the discharge lamp and a manufacturing method thereof. An electrode which has excellent bonding strength in discharge lamp and is bonded by solid phase. In the cathode (20) formed by solid phase bonding of the front side component (40) with tungsten as the main component and the rear side component (50) with molybdenum (Mo) of 99 wt% purity, larger and coarser grain size (R2) than the front side component (40) is formed in the range from the joint surface (S) of the back side component (50) to the middle point (C) of the rod hole of the electrode support.

【技术实现步骤摘要】
放电灯及其制造方法、放电灯用电极及其制造方法
本专利技术涉及可应用于曝光装置等的放电灯，尤其涉及由多个部件接合而成的电极的结构。
技术介绍
在放电灯中，伴随着高输出化，设置有由金属种类、结晶特性等不同的部件接合而成的电极。例如，将具有钍和稀土类氧化物等发射体的金属部件作为电极前端部，将纯钨等高熔点金属部件作为主体部，将2个金属部件互相接合(例如参照专利文献1)。作为接合方法，例如进行SPS等的固相接合。另外，也可以是，在其之间经由中间部件进行接合。专利文献1：日本特许第4484958号公报在金属等电极材料的晶粒边界处容易滞留杂质气体或杂质。如果利用残留有杂质气体等状态下的电极组装放电灯，随着灯点亮而引起的电极温度的高温化，杂质气体等向放电管内被排出，并且向接合面(接合界面)的间隙移动。如果杂质气体持续滞留在接合面附近，电极接合面会发生劣化(氧化)，从而导致强度下降。因此，针对接合而成的电极，需要使接合面的强度不会因杂质气体等而下降。
技术实现思路
本专利技术的放电灯具有：放电管；以及一对电极，它们配置在放电管内，其中，至少一个电极是由包含前端侧部件和后端侧部件在内的多个部件构成的，该前端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放电灯，其特征在于，具有：放电管，以及一对电极，它们配置在所述放电管内，至少一个电极由包括前端侧部件和后端侧部件在内的多个部件构成，所述前端侧部件具有电极前端，所述后端侧部件被电极支承棒支承，在所述后端侧部件中，所述后端侧部件的至少一部分的晶粒粗大化，形成直径比所述前端侧部件的晶粒大的粗大晶粒。

【技术特征摘要】
2017.09.28 JP 2017-1889971.一种放电灯，其特征在于，具有：放电管，以及一对电极，它们配置在所述放电管内，至少一个电极由包括前端侧部件和后端侧部件在内的多个部件构成，所述前端侧部件具有电极前端，所述后端侧部件被电极支承棒支承，在所述后端侧部件中，所述后端侧部件的至少一部分的晶粒粗大化，形成直径比所述前端侧部件的晶粒大的粗大晶粒。2.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，所述至少一个电极由所述前端侧部件和所述后端侧部件构成，或者通过在所述前端侧部件与所述后端侧部件之间设置中间部件而构成，各部件之间被固相接合。3.根据权利要求1或2所述的放电灯，其特征在于，所述后端侧部件是由与所述前端侧部件的材料相比，使晶粒粗大化所需的温度较低的材料构成的。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的放电灯，其特征在于，所述后端侧部件是由纯度99wt％以上的钼构成的。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的放电灯，其特征在于，所述粗大晶粒存在于所述后端侧部件的接合面附近。6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的放电灯，其特征在于，所述粗大晶粒构成所述接合面的至少一部分。7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的放电灯，其特征在于，所述粗大晶粒至少占据从所述后端侧部件的接合面起到电极支承棒孔的沿着电极轴方向的中间点附近为止的范围。8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的放电灯，其特征在于，在至少支承一个电极的所述电极支承棒上设置有吸附部件。9.根据权利要求1～8中的任意一项所述的放电灯，其特征在于，所述粗大晶粒的粒径为1000μm以上。10.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：林武弘，内山满博，佐藤博也，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP