一种废靶材加工回收方法技术

本发明专利技术提供一种废靶材加工回收方法，包括以下步骤：1）将回收的废靶材进行筛选，去除废靶材中的杂质；2）通过剪切机将筛选后的废靶材进行剪切，并将剪切后的废靶材段进行清洗、干燥；3）将干燥后的废靶材段通过破碎机进行破碎；4）通过皮带输送机将破碎废靶材送至表面剥离机内进行表面处理得到靶材精料。本发明专利技术能够将回收后的靶材充分利用，提高废靶材加工回收利用率。

A Method of Processing and Recycling Waste Targets

The invention provides a method for processing and recovering waste target materials, including the following steps: 1) screening the recycled waste target materials to remove impurities in the waste target materials; 2) shearing the screened waste target materials through a shearing machine, cleaning and drying the cut waste target segments; 3) crushing the dried waste target segments through a crusher; 4) crushing the dried waste target segments through a belt conveyor; The waste target is sent to the surface stripper for surface treatment to obtain the target concentrate. The invention can make full use of the recycled target material and improve the utilization rate of the waste target material in processing and recycling.

【技术实现步骤摘要】
一种废靶材加工回收方法
本专利技术涉及靶材回收领域，具体涉及一种废靶材加工回收方法。
技术介绍
磁控溅射是常见的最适应于工业化生产的镀膜方法，其优点是：沉积的膜层均匀致密、针孔少、纯度高、薄膜附着力强，沉积速度快、成膜速率高，基片的升温低、对膜层的损伤小，可实现大面积镀膜。目前，普遍使用长形或方形的氧化锌铝陶瓷靶（简称AZO陶瓷靶，具体为AZO陶瓷平面靶）进行磁控溅射镀膜，在对AZO陶瓷平面靶进行磁控溅射过程中，AZO陶瓷靶的利用率普遍较低（一般不超过30%），而绝大多数的（占70~80%）AZO陶瓷靶成为废靶材，由于废靶材的回收利用技术十分缺乏，目前都当作固体废弃物丢弃。提高废靶材循环利用在靶材制造工业可持续发展战略中有着非常重要的地位，通过对废旧靶材的加工加工回收能够降低资源和能源消耗，减轻环境压力，然而现有技术大部分回收厂针对废靶材的回收方法不当，如分类、提取等方法不当，造成回收后的废靶材不能得到充分的利用，造成不必要的损失。并且，这些废靶材本身难以降解，直接丢弃对环境也会造成严重污染。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种废靶材加工回收方法，该方法能够将回收后的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废靶材加工回收方法，包括以下步骤：1）将回收的废靶材进行筛选，去除废靶材中的杂质；2）通过剪切机将筛选后的废靶材进行剪切，并将剪切后的废靶材段进行清洗、干燥；3）将干燥后的废靶材段通过破碎机进行破碎；4）通过皮带输送机将破碎废靶材送至表面剥离机内进行表面处理得到靶材精料。

【技术特征摘要】
1.一种废靶材加工回收方法，包括以下步骤：1）将回收的废靶材进行筛选，去除废靶材中的杂质；2）通过剪切机将筛选后的废靶材进行剪切，并将剪切后的废靶材段进行清洗、干燥；3）将干燥后的废靶材段通过破碎机进行破碎；4）通过皮带输送机将破碎废靶材送至表面剥离机内进行表面处理得到靶材精料。2.根据权利要求1所述的一种废靶材加工回收方法，其特征在于：在步骤2）中，剪切后的废靶材段通过除尘设备进行粉尘收集再进行清...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓本育，
申请(专利权)人：罗源县中房镇人民政府，
类型：发明
国别省市：福建,35