移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法。于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pa)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pa)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

【技术实现步骤摘要】
移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法本案是申请日为2011年9月12日，申请号为201180044021.8，专利技术名称为“移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术系关于移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法，更详言的，系关于具备能与物体一起沿与水平面平行的既定二维平面内的既定范围的移动体的移动体装置、具备该移动体装置的曝光装置、使用该曝光装置的元件制造方法、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及在从下方支承前述物体的物体支承装置上交换物体的物体交换方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影制程中，系使用一边使掩膜或标线片(以下总称为「掩膜」)与玻璃板或晶圆等物体(以下总称为「基板」)沿既定扫描(Scan)方向同步移动、一边将形成于掩膜的图案经由投影光学系统转印至基板上的步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机等)(参照例如专利文献1)。此种曝光装置，曝光对象的基板被既定的基板交换装置搬入基板载台上，且在曝光处理结束后，被基板交换装置从基板载台上搬出。接着，藉由基板交换装置将其他基板搬入基板载台上。曝光装置，系藉由反复进行上述基板的搬入、搬出，而对复数个基板连续进行曝光处理。是以，在连续使复数个基板曝光时，最好是能迅速地进行基板往基板载台上的搬入及基板从基板载台上的搬出。[专利文献][专利文献1]美国专利技术专利申请公开第2010/0018950号专利
技术实现思路
根据本专利技术的第1态样，提供一种第1移动体装置，其具备：移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有可在包含0度的至少两阶段变更其一面相对前述二维平面的倾斜角度的第1构件，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第1支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第1角度的第1状态的前述第1构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第1角度的第1移动面；第2支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第2角度的第2状态的前述第1构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第2角度的第2移动面；以及搬送系统，包含使前述物体沿前述第1移动面移动的第1搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第1及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第1及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。此处，第1角度与第2角度亦可系相异或亦可相同。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第1及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第1及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第2态样，提供一种第2移动体装置，其具备：移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有其一面与前述二维平面平行的第1构件，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第1支承装置及第2支承装置，至少一方能在与前述二维平面交叉的方向相对前述第1构件移动，分别具有与前述二维平面平行的一面且能支承前述物体；以及搬送系统，包含：使前述物体沿包含前述第1构件的前述一面与前述第1支承装置的前述一面的第1移动面移动的第1搬送系统、与使前述物体沿包含前述第1构件的前述一面与前述第2支承装置的前述一面的第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第1及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第1及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第1及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第1及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第3态样，提供一种第3移动体装置，其具备：移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第1支承装置，与前述物体支承装置的至少一部分一起形成第1移动面；第2支承装置，与前述物体支承装置的至少一部分一起形成第2移动面；以及搬送系统，包含：使前述物体沿前述第1移动面移动的第1搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第1及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且与前述物体的搬出至少一部分并行地藉由前述第1及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上；在前述物体的搬出动作时及前述其他物体的搬入动作时的至少一方，前述移动体与前述物体支承装置的至少一部分系相对移动。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第1及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第1及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第4态样，提供一种第4移动体装置，其具备：移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有与前述物体下面对向的一面，使用前述一面从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第1支承装置，具有与前述物体支承装置的前述一面一起形成与前述二维平面平行的第1移动面的一面，能从下方支承前述物体；第2支承装置，具有与前述物体支承装置的前述一面一起形成与前述二维平面平行的第2移动面的一面，能从下方支承前述物体；以及搬送系统，包含：使前述物体沿前述第1移动面移动的第1搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第1及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第1及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第1及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第1及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。根据本专利技术的第5态样，提供一种第1曝光装置，具备：上述第1至第4移动体装置的任一者，其进一步具备调整装置，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移动体装置，具备：物体支承装置，将物体从下方悬浮支承；移动体，可在保持被悬浮支承的前述物体的状态下，相对于前述物体支承装置相对移动；第1支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第1保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第1保持面形成第1移动面；第2支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第2保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第2保持面形成第2移动面；以及搬送系统，具备：第1搬送系统，以将在前述物体支承装置上被悬浮支承的前述物体，沿着前述第1移动面往前述第1保持面搬出的方式，使前述物体往第1方向移动；以及第2搬送系统，在以保持前述物体的前述移动体，保持与前述物体不同的其他物体的方式，前述物体的一部分位于前述物体支承装置上的状态下，将被前述第2保持面悬浮支承的前述其他物体，以沿着前述第2移动面往前述物体支承装置搬入的方式往第2方向移动，前述移动体与前述物体支承装置，以前述移动体保持前述其他物体的方式，在上下方向上一者相对于另一者相对移动。

【技术特征摘要】
2010.09.13 US 61/382,141;2010.09.13 US 61/382,130;1.一种移动体装置，具备：物体支承装置，将物体从下方悬浮支承；移动体，可在保持被悬浮支承的前述物体的状态下，相对于前述物体支承装置相对移动；第1支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第1保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第1保持面形成第1移动面；第2支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第2保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第2保持面形成第2移动面；以及搬送系统，具备：第1搬送系统，以将在前述物体支承装置上被悬浮支承的前述物体，沿着前述第1移动面往前述第1保持面搬出的方式，使前述物体往第1方向移动；以及第2搬送系统，在以保持前述物体的前述移动体，保持与前述物体不同的其他物体的方式，前述物体的一部分位于前述物体支承装置上的状态下，将被前述第2保持面悬浮支承的前述其他物体，以沿着前述第2移动面往前述物体支承装置搬入的方式往第2方向移动，前述移动体与前述物体支承装置，以前述移动体保持前述其他物体的方式，在上下方向上一者相对于另一者相对移动。2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，前述第1方向与前述第2方向为彼此平行的方向。3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，前述移动体，以从前述移动体搬出前述物体的方式，往与前述物体移动的前述第1方向不同的前述第2方向移动。4.如权利要求1至3项中任一所述的移动体装置，其中，前述移动体，以将前述其他物体往前述移动体搬入的方式，往与前述其他物体移动的前述第2方向不同的前述第1方向移动。5.如权利要求1至4项中任一所述的移动体装置，其中，前述移动体与前述物体支承装置，以解除借由前述移动体对前述物体的保持的方式，在上下方向上一者相对于另一者相对移动。6.如权利要求1至5项中任一所述的移动体装置，其中，前述第1移动面与前述第2移动面为彼此平行的面。7.如权利要求6所述的移动体装置，其中，前述移动体，可在保持前述物体或前述其他物体的状态下，相对于由前述第1移动面与前述第2移动面与前述物体支承装置所形成的导引面相对移动。8.一种物体处理装置，具备：如权利要求1至7项中任一所述的移动体装置；以及处理装置，对前述移动体保持的前述物体或前述其他物体进行既定的处理。9.如权利要求8所述的物体处理装置，其中，前述处理装置为使用能量束对前述物体形成既定的图案的装置。10.一种曝光装置，具备：如权利要求1至7项中任一所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP