驱动光学转镜转动的方法及用于驱动光学转镜转动的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种驱动光学转镜转动的方法及用于驱动光学转镜转动的装置，该驱动光学转镜转动的方法包括：获取光学转镜的特性参数，依据光学转镜的特性参数，确定与光学转镜相匹配的整形器；依据光学转镜的目标转角确定驱动电压，通过与整形器相适配的数组因子加权驱动电压，得到目标驱动电压；依据目标驱动电压，驱动光学转镜转动。本发明专利技术采用缓和的加电曲线进行加电，驱动光学转镜转动，消除光学转镜在转动过程中的震荡，从而保护光学转镜免受冲击。

【技术实现步骤摘要】
驱动光学转镜转动的方法及用于驱动光学转镜转动的装置
本专利技术属于光学转镜驱动
，更具体地，涉及一种驱动光学转镜转动的方法及用于驱动光学转镜转动的装置。
技术介绍
目前，在光学系统中，一般采用直接加电压的方式驱动MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，简写MEMS)光学转镜，MEMS光学转镜接收到驱动电压的瞬间，经常会有剧烈的振铃和比较长的响应时间。当MEMS光学转镜在这种方式下工作时，容易产生机械损伤，甚至会出现卡住和发热的情况，对MEMS光学转镜的可靠性和寿命等性能会产生不利影响。如图1所示，在脉冲电压(曲线11)施加到MEMS光学转镜后，光学转镜会出现震荡(曲线12为光学转镜的震荡曲线)，MEMS光学转镜会出现振铃。而且震荡的幅度过大时，会出现转角过冲的情况，容易产生机械损伤，同时，MEMS光学转镜内部有关转向结构部件会有触碰和/或贴合内部电极的情况发生，造成电流过大，容易烧坏转镜。鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本
亟待解决的问题。
技术实现思路
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本专利技术提供了一种驱动光学转镜转动的方法以及用于驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种驱动光学转镜转动的方法，其特征在于，所述驱动光学转镜转动的方法包括：获取光学转镜的特性参数，依据所述光学转镜的特性参数，确定与所述光学转镜相匹配的整形器；依据所述光学转镜的目标转角确定驱动电压，通过与所述整形器相适配的数组因子加权所述驱动电压，得到目标驱动电压；依据所述目标驱动电压，驱动所述光学转镜转动。

【技术特征摘要】
1.一种驱动光学转镜转动的方法，其特征在于，所述驱动光学转镜转动的方法包括：获取光学转镜的特性参数，依据所述光学转镜的特性参数，确定与所述光学转镜相匹配的整形器；依据所述光学转镜的目标转角确定驱动电压，通过与所述整形器相适配的数组因子加权所述驱动电压，得到目标驱动电压；依据所述目标驱动电压，驱动所述光学转镜转动。2.根据权利要求1所述的驱动光学转镜转动的方法，其特征在于，所述获取光学转镜的特性参数，依据所述光学转镜的特性参数，确定与所述光学转镜相匹配的整形器包括：依据所述光学转镜的转角范围，对所述光学转镜进行测试，确定所述光学转镜在指定脉冲电压下的震荡频率；和/或，根据所述光学转镜的测试数据，获取所述光学转镜的在指定脉冲电压下的震荡频率；依据所述光学转镜的震荡频率范围，确定整形器对应的整形频率区间，从而得到与所述光学转镜相匹配的整形器。3.根据权利要求1所述的驱动光学转镜转动的方法，其特征在于，所述获取光学转镜的特性参数，依据所述光学转镜的特性参数，确定与所述光学转镜相匹配的整形器包括：对所述光学转镜进行测试，获取所述光学转镜在指定脉冲电压下的震荡周期以及非周期震荡出现的频率，确定所述光学转镜的震荡特性；依据所述光学转镜的震荡特性，确定整形器对应的整形频率区间，从而得到与所述光学转镜相匹配的整形器。4.根据权利要求2或3所述的驱动光学转镜转动的方法，其特征在于，所述整形器对应的整形频率区间与所述光学转镜震荡的频率区间相同，或者，所述整形器对应的截止频率为所述光学转镜震荡频率的1/N倍，其中，N为正整数，N的具体值由所述光学转镜的特性以及所述整形器的类型而定。5.根据权利要求1所述的驱动光学转镜转动的方法，其特征在于，所述驱动光学转镜转动的...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘东，郭路，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42