一种全自动晶片刷洗机制造技术

本发明专利技术公开了一种全自动晶片刷洗机，一种全自动晶片刷洗机，所述中央传片机械手组件设置在工作台的中央，所述第一进料载台组件和第二进料载台组件对称设置在中央传片机械手组件的一侧，所述第一出料载台组件和第二出料载台组件对称设置在中央传片机械手组件的另一侧，所述第二进料载台组件和第二出料载台组件呈对称分布，所述第一刷洗组件、第二刷洗组件、第一进料载台组件、第二进料载台组件、第一出料载台组件和第二出料载台组件分别通过螺栓固定在工作台上，所述第一刷洗组件和第二刷洗组件分别通过螺栓固定在工作台上，用二流体将(水和气)混合冲击将晶片表面的颗粒，提高晶片表面的洁净度；采用一站式刷洗，减少晶片的二次污染。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动晶片刷洗机
本专利技术属于晶片刷洗
，具体涉及一种全自动晶片刷洗机。
技术介绍
现有的晶片刷洗机主要由韩国，日本等进口设备应用在半导体行业(蓝宝石)的清洗，国内有仿制韩国的刷洗机，进口设备和仿制的都是用直线式传输模式，分多个工位刷洗。动作流程是：取片-转移到刷洗1-再转移到刷洗2-刷洗3-刷洗4最后旋干。在这个过程中只是用DI纯水刷洗，无法达到清洁的效果，并且在传输过程中容易造成二次污染。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种全自动晶片刷洗机，用二流体将水和气混合冲击将晶片表面的颗粒，提高晶片表面的洁净度；采用一站式刷洗，减少晶片的二次污染，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种全自动晶片刷洗机，包括工作台、中央传片机械手组件、第一刷洗组件、第二刷洗组件、第一进料载台组件、第二进料载台组件、第一出料载台组件和第二出料载台组件，所述中央传片机械手组件设置在工作台的中央，所述第一进料载台组件和第二进料载台组件对称设置在中央传片机械手组件的一侧，所述第一出料载台组件和第二出料载台组件对称设置在中央传片机械手组件的另一侧，所述第一进料载台组件和第一出料载台组件呈对称分布，所述第二进料载台组件和第二出料载台组件呈对称分布，所述第一刷洗组件、第二刷洗组件、第一进料载台组件、第二进料载台组件、第一出料载台组件和第二出料载台组件分别通过螺栓固定在工作台上，所述第一刷洗组件和第二刷洗组件分别设置在中央传片机械手组件的另外两侧，所述第一刷洗组件和第二刷洗组件分别通过螺栓固定在工作台上。优选的，所述中央传片机械手组件包括旋转电机、气缸、固定座、滑轨、滑块、第一臂和第二臂，所述旋转电机通过螺栓固定在固定座的底部，所述旋转电机的输出轴穿过固定座与滑轨通过键连接，所述气缸通过螺栓固定在滑轨的一端，所述气缸的活塞杆与滑块的一侧连接，所述滑块与滑轨滑动连接，所述第一臂通过螺栓固定在滑块的上部，所述第一臂与第二臂卡接并通过螺栓固定。优选的，所述第一刷洗组件包括真空吸盘、毛刷刷头、滑块、毛刷压力调节杆、伺服电机、刷洗喷水管、水气二流喷嘴、刷洗槽、刷片旋转电机、方形槽、丝杆和滑槽，所述方形槽设置在真空吸盘上方，两组所述滑槽对称设置在方形槽的两侧，所述丝杆通过轴承固定在方形槽内，所述滑块与真空吸盘滑动连接，所述毛刷压力调节杆安装在滑块上部，所述毛刷刷头安装在滑块的底部，所述伺服电机的输出轴与丝杆通过键连接，所述丝杆与滑块传动连接，所述刷洗槽设置在真空吸盘的外侧，所述刷洗喷水管设置在刷洗槽的一侧，所述水气二流喷嘴设置在刷洗槽的另一侧，所述水气二流喷嘴与刷洗喷水管连接，所述刷片旋转电机通过螺栓固定在滑块内部，所述刷片旋转电机的输出轴与毛刷刷头通过键连接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：现有设备的动作流程是：取片-转移到刷洗1-再转移到刷洗2-刷洗3-刷洗4最后旋干。现有的设备问题有两点：1用DI纯水刷洗，无法达到清洁的效果。2在传输过程中因为机械磨损和空气中的0.3微米以上的颗粒容易造成二次污染。本专利技术的好处是：1、用二流体将(水和气)混合冲击将晶片表面的颗粒，提高晶片表面的洁净度；2、采用一站式刷洗，减少晶片的二次污染。附图说明图1为本专利技术的上视图；图2为本专利技术的中央传片机械手组件示意图；图3为本专利技术的第一刷洗组件示意图；图4为本专利技术的刷片旋转电机接线图；图5为本专利技术的总供电接线图；图6为本专利技术的电缸接线图；图7为本专利技术的刷头平移伺服接线图。图8为本专利技术的伺服以及照明灯供电、控制接线图；图9为本专利技术的PLC电源、人机电源、电源控制电路图；图10为本专利技术的气缸电气控制电路图；图11为本专利技术的伺服电机控制电路图。图中：1、工作台；2、中央传片机械手组件；201、旋转电机；202、气缸；203、固定座；204、滑轨；205、滑块；206、第一臂；207、第二臂；3、第一刷洗组件；301、真空吸盘；302、毛刷刷头；303、滑块；304、毛刷压力调节杆；305、伺服电机；306、刷洗喷水管；307、水气二流喷嘴；308、刷洗槽；4、第二刷洗组件；5、第一进料载台组件；6、第二进料载台组件；7、第一出料载台组件；8、第二出料载台组件。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-7，本专利技术提供一种技术方案：一种全自动晶片刷洗机，包括工作台1、中央传片机械手组件2、第一刷洗组件3、第二刷洗组件4、第一进料载台组件5、第二进料载台组件6、第一出料载台组件7和第二出料载台组件8，所述中央传片机械手组件2设置在工作台1的中央，所述第一进料载台组件5和第二进料载台组件6对称设置在中央传片机械手组件2的一侧，所述第一出料载台组件7和第二出料载台组件8对称设置在中央传片机械手组件2的另一侧，所述第一进料载台组件5和第一出料载台组件7呈对称分布，所述第二进料载台组件6和第二出料载台组件8呈对称分布，所述第一刷洗组件3、第二刷洗组件4、第一进料载台组件5、第二进料载台组件6、第一出料载台组件7和第二出料载台组件8分别通过螺栓固定在工作台1上，所述第一刷洗组件3和第二刷洗组件4分别设置在中央传片机械手组件2的另外两侧，所述第一刷洗组件3和第二刷洗组件4分别通过螺栓固定在工作台1上。具体的，所述中央传片机械手组件2包括旋转电机201、气缸202、固定座203、滑轨204、滑块205、第一臂206和第二臂207，所述旋转电机201通过螺栓固定在固定座203的底部，所述旋转电机201的输出轴穿过固定座203与滑轨204通过键连接，所述气缸202通过螺栓固定在滑轨204的一端，所述气缸202的活塞杆与滑块205的一侧连接，所述滑块205与滑轨204滑动连接，所述第一臂206通过螺栓固定在滑块205的上部，所述第一臂206与第二臂207卡接并通过螺栓固定。具体的，所述第一刷洗组件3包括真空吸盘301、毛刷刷头302、滑块303、毛刷压力调节杆304、伺服电机305、刷洗喷水管306、水气二流喷嘴307、刷洗槽308、刷片旋转电机309、方形槽310、丝杆311和滑槽312，所述方形槽310设置在真空吸盘301上方，两组所述滑槽312对称设置在方形槽310的两侧，所述丝杆311通过轴承固定在方形槽310内，所述滑块303与真空吸盘301滑动连接，所述毛刷压力调节杆304安装在滑块303上部，所述毛刷刷头302安装在滑块303的底部，所述伺服电机305的输出轴与丝杆311通过键连接，所述丝杆311与滑块303传动连接，所述刷洗槽308设置在真空吸盘301的外侧，所述刷洗喷水管306设置在刷洗槽308的一侧，所述水气二流喷嘴307设置在刷洗槽308的另一侧，所述水气二流喷嘴307与刷洗喷水管306连接，所述刷片旋转电机309通过螺栓固定在滑块303内部，所述刷片旋转电机309的输出轴与毛刷刷头302通过键连接。如图2-3所示，旋转电机201可以带动固定座203自由旋转，从而带动滑轨204自本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动晶片刷洗机，包括工作台(1)、中央传片机械手组件(2)、第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)，其特征在于：所述中央传片机械手组件(2)设置在工作台(1)的中央，所述第一进料载台组件(5)和第二进料载台组件(6)对称设置在中央传片机械手组件(2)的一侧，所述第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)对称设置在中央传片机械手组件(2)的另一侧，所述第一进料载台组件(5)和第一出料载台组件(7)呈对称分布，所述第二进料载台组件(6)和第二出料载台组件(8)呈对称分布，所述第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)分别通过螺栓固定在工作台(1)上，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别设置在中央传片机械手组件(2)的另外两侧，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别通过螺栓固定在工作台(1)上。

【技术特征摘要】
1.一种全自动晶片刷洗机，包括工作台(1)、中央传片机械手组件(2)、第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)，其特征在于：所述中央传片机械手组件(2)设置在工作台(1)的中央，所述第一进料载台组件(5)和第二进料载台组件(6)对称设置在中央传片机械手组件(2)的一侧，所述第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)对称设置在中央传片机械手组件(2)的另一侧，所述第一进料载台组件(5)和第一出料载台组件(7)呈对称分布，所述第二进料载台组件(6)和第二出料载台组件(8)呈对称分布，所述第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)分别通过螺栓固定在工作台(1)上，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别设置在中央传片机械手组件(2)的另外两侧，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别通过螺栓固定在工作台(1)上。2.根据权利要求1所述的一种全自动晶片刷洗机，其特征在于：所述中央传片机械手组件(2)包括旋转电机(201)、气缸(202)、固定座(203)、滑轨(204)、滑块(205)、第一臂(206)和第二臂(207)，所述旋转电机(201)通过螺栓固定在固定座(203)的底部，所述旋转电机(201)的输出轴穿过固定座(203)与滑轨(204)通过键连接，所述气缸(202)通过螺栓固定在滑轨(...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢德元，
申请(专利权)人：苏州恒力翔自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32