【技术实现步骤摘要】
一种纯气体微压差动活塞压力计
本专利技术涉及精密仪器
，尤其是涉及一种纯气体微压差动活塞压力计。
技术介绍
现有的气体活塞，由于本身自重，最小测量范围下限在5kPa（极限最小1kPa），无法测量1kPa以下的压力点。现有的双活塞压力真空计，工作介质为油：1.会造成被检污染；2.活塞灵敏度不高（一般在20mg至50mg）；3.测压精确度较差。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中存在的不足，本专利技术提供了一种纯气体微压差动活塞压力计，不仅能够避免测压时造成污染，同时能够对微压进行精确测量。为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供以下技术方案：一种纯气体微压差动活塞压力计，该压力计包括简单活塞组件、差动活塞组件、内压气路系统和外压气路系统，所述内压气路系统包括内压调压器和内压放气阀，所述外压气路系统包括外压调压器和外压放气阀，所述简单活塞组件包括简单活塞筒体和简单活塞，所述差动活塞组件包括差动活塞筒体和差动活塞，所述简单活塞筒体为圆柱形，所述差动活塞筒体的内部形状为上大下小的同心圆柱形中空结构，所述差动活塞是与差动活塞筒体的形状及规格相匹配的上大下小的同心圆柱形结...
【技术保护点】
1.一种纯气体微压差动活塞压力计，其特征在于，该压力计包括简单活塞组件（1）、差动活塞组件（2）、内压气路系统（301）和外压气路系统（401），所述内压气路系统（301）包括内压调压器（3）和内压放气阀（4），所述外压气路系统（401）包括外压调压器（5）和外压放气阀（6），所述简单活塞组件（1）包括简单活塞筒体（7）和简单活塞（8），所述差动活塞组件（2）包括差动活塞筒体（9）和差动活塞（10），所述简单活塞筒体（7）为圆柱形，所述差动活塞筒体（9）的内部形状为上大下小的同心圆柱形中空结构，所述差动活塞（10）是与差动活塞筒体（9）的形状及规格相匹配的上大下小的同心圆柱...
【技术特征摘要】
1.一种纯气体微压差动活塞压力计，其特征在于，该压力计包括简单活塞组件（1）、差动活塞组件（2）、内压气路系统（301）和外压气路系统（401），所述内压气路系统（301）包括内压调压器（3）和内压放气阀（4），所述外压气路系统（401）包括外压调压器（5）和外压放气阀（6），所述简单活塞组件（1）包括简单活塞筒体（7）和简单活塞（8），所述差动活塞组件（2）包括差动活塞筒体（9）和差动活塞（10），所述简单活塞筒体（7）为圆柱形，所述差动活塞筒体（9）的内部形状为上大下小的同心圆柱形中空结构，所述差动活塞（10）是与差动活塞筒体（9）的形状及规格相匹配的上大下小的同心圆柱形结构，在简单活塞（8）和差动活塞（10）的顶部均设有托盘（11），所述简单活塞筒体（7）底部与内压放气阀（4）之间、简单活塞筒体（7）底部与差动活塞筒体（9）上部结构的底部之间、内压调压器（3）与简单活塞筒体（7）的底部之间均通过内压气路管道（12）相连通，所述外压调压器（4）与差动活塞筒体（9）下部结构的底部之间、差动活塞筒体（9）下部结构的底部与外压放气阀（6）之间均通过外压气路管道（13）相连通，在差动活塞筒体（9）下部结构连接有输出端（14）。2.根据权利要求1所述的一种纯气体微压差动活塞压力计，其特征在于，在所述简单活塞筒体（7）底部与内压放气阀（4）之间、差动活塞筒体（9）下部结构的底部与外压放气阀（6）之间均设有过滤器（15）。3.根据权利要求1所述的一种纯气体微压差动活塞压力计，其特征在于，所述简单活塞筒体（7）的内壁和简单活塞（8）之间的间隙、差动活塞筒体（9）的内壁和差动活塞（10）之间的间隙均不超过0.005mm。4.根据权利要求1或4所述的一种纯气体微压差动活塞压力计，其特征在于，所述简单活塞筒体（7）包括简单活塞筒座（101）、简单活塞筒（102）、简单活塞轴承座（103）、简单活塞筒压帽（104）和简单活塞轴承转动圈（105），在简单活塞筒座（101）的底侧设有若干个与内压气路系统（301）相连接的气孔，在简单...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓益江，胡安伦，
申请(专利权)人：上海敏榆实业有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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