【技术实现步骤摘要】
表面改性氧化钨纳米材料的制备方法及其产品和应用
本专利技术属于材料化学
,涉及一种表面改性氧化钨纳米材料的制备方法及其产品和应用氧。钨异质结结构纳米材料的制备方法,该材料利用原子层沉积在WO3纳米颗粒表面沉积SnO层,形成WO3/SnO异质结,大幅提升了其对甲醛的气敏性能。
技术介绍
在半导体气敏材料研究领域,氧化钨(WO3)因其易于调控,选择性强、稳定性好、灵敏度高等优点,长期成为研究热点。WO3纳米气敏材料的气敏机理可以用耗尽层模型进行解释。WO3表面的氧空穴可以成为导带的电子授体,从而使该材料成为n型半导体。在实际应用中,通过形成异质结可以提高其气敏性能。当两种不同的半导体材料接触以后,由于费米能级不同,界面处的费米能级会产生相对移动直至平衡,电荷转移通常会在界面处形成电荷耗尽层、势垒,而这种独特的特性会提高传感器的气敏响应。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本专利技术目的在于提供一种表面改性氧化钨纳米材料的制备方法。本专利技术的再一目的在于:提供一种上述方法制备的表面改性氧化钨纳米材料产品。本专利技术的又一目的在于:提供一种上述产品的应用。本专利技术目的通过下述方案实现:一种表面改性氧化钨纳米材料的制备方法,其特征在于利用原子层沉积技术在纳米WO3颗粒表面沉积SnO纳米层,形成异质结结构。所述的利用原子层沉积技术在纳米WO3颗粒表面沉积SnO纳米层,所用的前驱源分别为N,N'-二甲基乙二胺亚锡和水,沉积温度为150℃,沉积厚度为2-10nm。本专利技术提供一种表面改性氧化钨纳米材料,根据上述所述方法制备得到。本专利技术提供一种表面改性氧化钨纳米 ...
【技术保护点】
1.一种表面改性氧化钨纳米材料的制备方法,其特征在于利用原子层沉积技术在纳米WO3颗粒表面沉积SnO纳米层,形成异质结结构。
【技术特征摘要】
1.一种表面改性氧化钨纳米材料的制备方法,其特征在于利用原子层沉积技术在纳米WO3颗粒表面沉积SnO纳米层,形成异质结结构。2.根据权利要求1所述的表面改性氧化钨纳米材料的制备方法,其特征在于,所述的利用原子层沉积技术在纳米WO3颗粒表面沉积SnO纳...
【专利技术属性】
技术研发人员:何丹农,尹桂林,葛美英,卢静,
申请(专利权)人:上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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