一种靶材与背板的焊接结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种靶材与背板的焊接结构,包括背板、以及设置在所述背板上的靶材；所述背板和所述靶材之间设有增强所述背板和所述靶材之间焊接结合稳定性的卡槽结构。通过在背板和靶材之间设置增强该背板和该靶材之间焊接结合稳定性的卡槽结构；使得该靶材与背板之间可以相互卡合，从而提高了该靶材与背板的结合度，进而避免靶材变形并与该背板脱离。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材与背板的焊接结构
本技术涉及焊接领域，更具体地说，涉及一种靶材与背板的焊接结构。
技术介绍
现有的符合溅射性能的靶材一般需要与具有一定强度背板结合；该背板可以对该靶材起到支撑作用。目前，支撑该靶材的背板一般呈平板状，该靶材的焊接面也呈平面状，该背板和靶材采用焊接法结合，在溅射过程中，因受到各种粒子轰击，该种靶材容易变形，与背板脱离，使得溅射无法达到溅射均匀的效果。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种能够解决靶材与背板结合度差，靶材与背板易脱离，靶材易变形的焊接结构。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材与背板的焊接结构，包括背板、以及设置在所述背板上的靶材；所述背板和所述靶材之间设有增强所述背板和所述靶材之间焊接结合稳定性的卡槽结构。优选地，所述背板包括可焊接所述靶材的第一焊接面；所述靶材包括与所述第一焊接面焊接的第二焊接面；所述卡槽结构设置在所述第一焊接面和所述第二焊接面上。优选地，所述卡槽结构包括设置在所述第一焊接面上的卡槽以及设置在所述第二焊接面上的与所述卡槽相适配的凸台；所述凸台卡合进所述卡槽中。优选地，所述凸台的形状和尺寸大小与所述卡槽的形状和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材与背板的焊接结构，其特征在于，包括背板(11)、以及设置在所述背板(11)上的靶材(12)；所述背板(11)和所述靶材(12)之间设有增强所述背板(11)和所述靶材(12)之间焊接结合稳定性的卡槽结构(13)；所述背板(11)包括可焊接所述靶材(12)的第一焊接面(111)；所述靶材(12)包括与所述第一焊接面(111)焊接的第二焊接面(121)；所述卡槽结构(13)包括设置在所述第一焊接面(111)上的卡槽(131)以及设置在所述第二焊接面(121)上的与所述卡槽(131)相适配的凸台(132)；所述凸台(132)卡合进所述卡槽(131)中；所述第一焊接面(111)位于该卡槽(1...

【技术特征摘要】
1.一种靶材与背板的焊接结构，其特征在于，包括背板(11)、以及设置在所述背板(11)上的靶材(12)；所述背板(11)和所述靶材(12)之间设有增强所述背板(11)和所述靶材(12)之间焊接结合稳定性的卡槽结构(13)；所述背板(11)包括可焊接所述靶材(12)的第一焊接面(111)；所述靶材(12)包括与所述第一焊接面(111)焊接的第二焊接面(121)；所述卡槽结构(13)包括设置在所述第一焊接面(111)上的卡槽(131)以及设置在所述第二焊接面(121)上的与所述卡槽(131)相适配的凸台(132)；所述凸台(132)卡合进所述卡槽(131)中；所述第一焊接面(111)位于该卡槽(131)中，并向所述卡槽(131)的边缘延伸，所述第二焊接面(121)位于该凸台(132)的凸出端，并向所述凸台(132)的边缘延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄勇彪，林文宝，刘海燕，李宝英，
申请(专利权)人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44