一种声波探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种声波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有半导体层，所述半导体层的上方设置有绝缘层，所述绝缘层的上方设置有柔性载体层，所述柔性载体层的上方设置有石墨烯层,该声波探测器，通过声波传递到石墨烯层，产生形变，引起石墨烯层的介电常数发生变化，通过检测石墨烯层所加载的电压的变化，进行声波的检测；同时该声波探测器的半导体层可以与调控电压进行电连接，以便作为栅极，调控石墨烯层的介电常数；也可以通过入射光直接入射石墨烯层，使得石墨烯层的介电常数变化，对石墨烯层的介电常数进行调控。

【技术实现步骤摘要】
一种声波探测器
本专利技术涉及声波探测
，具体涉及一种声波探测器。
技术介绍
声波探测器在当今变得非常重要，其或者作为语音传输装置的一部分或者能作为在用于分析气体、例如环境空气的气体分析仪中的光声探测器的一部分来使用。常用的声波探测器构造为电容式探测器，其具有两个彼此有间距的限定电容器的膜片。膜片的其中一个是固定的并且另一个可通过待检测的声波发生位移。可移动的膜片的位移决定了电容器的电容变化，该电容变化可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，由该电信号可推断出待检测的声波的特性，例如声压。尽管电容声波探测器的特征在于灵敏度高，但其具有主要由其复杂结构导致的许多缺点。常用的电容声波探测器在其复杂结构方面的缺点可通过压电声波探测器来消除。这种探测器使用由压电材料制造的薄膜，该薄膜可通过待检测的声波发生形变。压电膜的形变在压电膜中感应出电压，该电压可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，由该电信号可推断出待检测的声波的特性。现有的声波探测器存在控制方式单一，无法根据声波的特性进行调节，只能被动的接收声波所带来的压电材料的形变引起的电信号变化，适应性较差，不利于检测较宽频率范围本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声波探测器,包括衬底层(1),其特征在于:所述衬底层(1)的上方设置有半导体层(2)，所述半导体层(2)的上方设置有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)的上方设置有柔性载体层(4)，所述柔性载体层(4)的上方设置有石墨烯层(5)。

【技术特征摘要】
1.一种声波探测器,包括衬底层(1),其特征在于:所述衬底层(1)的上方设置有半导体层(2)，所述半导体层(2)的上方设置有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)的上方设置有柔性载体层(4)，所述柔性载体层(4)的上方设置有石墨烯层(5)。2.如权利要求1所述的一种声波探测器，其特征在于:所述衬底层(1)为二氧化硅。3.如权利要求1所述的一种声波探测器，其特征在于:所述半导体层(2)为硅或砷化镓。4.如权利要求1或3所述的一种声波探测器，其特征在于:所述半导体层(2)的厚度为2μm～100μm。5.如权利要求1所述的一种声波探测器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：金华伏安光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33