能检测腐蚀性气体的化学过滤器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体包括设有通道结构的框架、对流经通道结构的气流进行过滤的过滤单元、与流经通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片以及检测腐蚀试片电性能参数的检测单元。本实用新型专利技术根据检测单元检测腐蚀试片的电性能参数变化，进而确定腐蚀试片所接触的气流是否含有腐蚀性气体，如含有腐蚀性气体，可及时停止化学过滤器所对应FFU及其下方的机台的工作，防止更大量的腐蚀性气体进入洁净空间中及位于被污染FFU下方机台上产品被污染，由于FFU基本布满洁净空间的上方且不同腐蚀试片接触不同通道结构的气流，因此，能够实现检测的全面性和准确性。

Chemical filters capable of detecting corrosive gases

The utility model discloses a chemical filter capable of detecting corrosive gases, including a filter body, which comprises a frame with a channel structure, a filter unit for filtering the airflow flowing through the channel structure, a corrosion specimen contacted with the corrosive gases flowing through the channel structure and a detection unit for detecting the electrical performance parameters of the corrosive specimen. The utility model detects the changes of electrical performance parameters of corrosion specimens according to the detection unit, and then determines whether the gas flow contacted by the corrosion specimens contains corrosive gases, such as corrosive gases, which can stop the work of the corresponding FFU of the chemical filter and the bench below it in time, and prevent more corrosive gases from entering the clean space and products on the bench under the contaminated FFU. Polluted, because FFU is basically full of clean space above and different corrosion specimens contact different channel structures of airflow, therefore, it can achieve the comprehensiveness and accuracy of detection.

【技术实现步骤摘要】
能检测腐蚀性气体的化学过滤器
本技术涉及送风过滤领域，具体涉及一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器。
技术介绍
化学过滤器能够有效去除洁净室和相关受控环境中的腐蚀性气体。过滤材料采用特殊浸渍处理的颗粒活性炭和高氧化性能的微球吸附剂，针对性强，吸附后不易解析，不产生二次污染。化学过滤器一般配合FFU使用，用于制作洁净工作台，洁净棚，洁净传递柜、洁净存衣柜等洁净空间，化学过滤器安装于FFU的出风口处，以对通过FFU送入洁净空间的空气进行腐蚀性气体过滤。现有技术中，通常采用点监测的方法实时监测洁净空间中的腐蚀性气体，即对洁净空间中布置多个采样点，然后将采集到的气体通过管路送至分析设备，分析设备对气体进行分析以测定气体中是否含有腐蚀性气体，如含有，则及时停止采样点所在位置的机台的工作，防止产品被污染。然而，在洁净空间中布置多个采样点并且通过管路采样然后进行气体分析存在以下缺陷：首先，受限于管路的长度，对于大面积的厂房无法做到采样点的全面覆盖，无法做到全面监测；其次，由于每台分析设备连接多个不同的采样点，分析设备中会残留有前道分析的气流，无法保证后道分析气体的纯度，监测不准确；再次，由于每台分析设备可以连接的管路是有限的，所以连接的采样点也是有限的，需要配备多台分析设备，分析设备仪器昂贵，成本高。综上所述，采用点监测的方法，很难做到监测的全面性和准确性且成本高昂。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，能够实现腐蚀性气体检测的全面性和准确性且节省成本。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，包括过滤器本体，所述过滤器本体包括设有通道结构的框架和对流经所述通道结构的气流进行过滤的过滤单元，其中，所述化学过滤器还包括与流经所述通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片和检测所述腐蚀试片电性能参数的检测单元。上文中，所述腐蚀试片是一种具有一定电阻值的导体或半导体，其与腐蚀性气体接触后会发生腐蚀，导致其本身的电阻值会发生改变。本申请的核心正是利用了这一点，通过腐蚀试片本身的电阻值的变化，配合检测单元来检测腐蚀性气体是否存在。至于腐蚀试片的形状，其可以是片形、条形、棒形或其他本领域常用的形状，本申请不作限制。上述技术方案中，所述腐蚀试片为待测电阻，所述检测单元为测电阻电路。上述技术方案中，所述腐蚀试片和所述检测单元组成惠斯通电桥测电阻电路，所述腐蚀试片作为所述惠斯通电桥测电阻电路的待测电阻。上述技术方案中，所述腐蚀试片和所述检测单元组成伏安法测电阻电路，所述腐蚀试片作为所述伏安法测电阻电路的待测电阻。上述技术方案中，所述腐蚀试片设于所述过滤器本体的气流输入侧。上述技术方案中，所述化学过滤器模块化设置。上述技术方案中，所述腐蚀试片为铁片、铜片、银片或半导体。上述半导体例如为硅、锗、砷化镓等。上述技术方案中，所述化学过滤器为V形活性炭空气过滤器、平板式活性炭空气过滤器、箱形活性炭空气过滤器、筒形活性炭空气过滤器、折叠式活性炭空气过滤器、袋式活性炭空气过滤器或密褶式活性炭空气过滤器。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：（1）本技术公开的能检测腐蚀性气体的化学过滤器，通过设置腐蚀试片和检测单元，腐蚀试片与流经通道结构的腐蚀性气体接触，检测单元检测腐蚀试片的电性能参数，根据腐蚀试片电性能参数的变化，进而确定腐蚀试片所接触的气流是否含有腐蚀性气体，如含有腐蚀性气体，可提醒留意或加强监测化学过滤器所对应FFU及其下方的机台的环境状态，防止更大量的腐蚀性气体进入洁净空间中及位于被污染FFU下方机台上产品被污染，一方面，由于每个FFU所对应检测单元能对该FFU所对应的洁净空间的一个区域进行监测，通过区域化监测以实现检测的全面性，另一方面，不同腐蚀试片接触不同通道结构的气流，气流不会交叉，因此，能够实现检测的准确性，另外，由于采用电路和单片机进行检查，不需要昂贵的分析设备，大大降低了监测成本；（2）本技术公开的能检测腐蚀性气体的化学过滤器，腐蚀试片设于过滤单元的气流输入侧，可使腐蚀性气体尽可能多、并及时附着于腐蚀试片上，提高检测效率；（3）本技术公开的能检测腐蚀性气体的化学过滤器，化学过滤器模块化设置，即过滤器本体、腐蚀试片以及检测单元组成一个整体，方便安装，且易于推广应用。附图说明图1是本技术公开的化学过滤器的结构示意图；图2是本技术公开的惠斯通电桥测电阻电路的原理图；图3是本技术公开的伏安法测电阻电路的原理图。其中：10、框架；11、通道结构；20、过滤单元；30、腐蚀试片。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例一参见图1，如其中的图例所示，一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体包括设有通道结构11的框架10和对流经通道结构11的气流进行过滤的过滤单元20，其中，化学过滤器还包括与流经通道结构11的腐蚀性气体接触的腐蚀试片30和检测腐蚀试片30电性能参数的检测单元。上文中，腐蚀试片30为待测电阻，检测单元为测电阻电路，腐蚀试片30和检测单元组成惠斯通电桥测电阻电路，腐蚀试片作为惠斯通电桥测电阻电路的待测电阻。以惠斯通平衡电桥为例，原理如图2所示，标准电阻R0、R1、R2及待测电阻RX连成四边形，每一条边称为吊桥的一个臂，在对角A和C之间接电源E，在对角B和D之间接检流计。因此电桥由4条臂、电源和检流计三部分组成，当开关KE和KG接通后，各条支路中均有电流通过，检流计支路起了沟通ABC和ADC两条支路的作用。好像一座桥一样，故称为“电桥”。适当调节R0、R1和R2的大小，可以使桥上没有电流通过，即通过检流计的电流IG=0，这时，B，D两点的电势相等。电桥的这种状态称为平衡状态。这时A，B之间的电势差等于A，D之间的电势差，B，C之间的电势差等于D，C之间的电势差，设ABC支路中的电流分别为I1和I2，由欧姆定律得I1RX=I2R1；I1R0=I2R2；两式相除，得RX/R0=R1/R2（1）（1）公式称为电桥的平衡条件，由（1）公式得RX=（R1/R2）R0（2）根据公式（2）即可求得待测电阻的阻值大小。上文中，化学过滤器为密褶式活性炭空气过滤器。优选的，腐蚀试片30设于过滤器本体的气流输入侧，化学过滤器模块化设置。腐蚀试片30为铁片、铜片、银片或半导体。在实际使用时，通过单片机控制检测单元的调节及待测电阻阻值的计算，FFU密布于洁净室的天花板上，上述能检测腐蚀性气体的化学过滤器安装于FFU的气流输出侧，实时监测每个腐蚀试片的电性能参数，如某个腐蚀试片的电性能参数按照一个趋势持续发生变化，则判断该腐蚀试片所对应的通道结构中流经的气体中含有腐蚀性气体，及时关闭腐蚀性气体所流经通道结构所在的化学过滤器所对应的FFU并停止该FFU下方机台的工作。例如，当腐蚀试片的实时阻值相对于初始阻值呈正向变化时（即实时阻值不断上升），则判断待测电阻所接触气流含有腐蚀性气体。由于腐蚀试片具有较长的寿命，可以使用比较长的时间，因此，在每次进行监测时，都需要和试片开始测试时的实时阻值进行比较。实施例二其余与实施例一相同，不同之处在于，腐蚀试片和检测单元组成伏安法测电阻电路，腐蚀试片作为伏安法测电阻电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，包括过滤器本体，所述过滤器本体包括设有通道结构（11）的框架（10）和对流经所述通道结构（11）的气流进行过滤的过滤单元（20），其特征在于，所述化学过滤器还包括与流经所述通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片（30）和检测所述腐蚀试片（30）电性能参数的检测单元。

【技术特征摘要】
1.一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，包括过滤器本体，所述过滤器本体包括设有通道结构（11）的框架（10）和对流经所述通道结构（11）的气流进行过滤的过滤单元（20），其特征在于，所述化学过滤器还包括与流经所述通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片（30）和检测所述腐蚀试片（30）电性能参数的检测单元。2.根据权利要求1所述的化学过滤器，其特征在于，所述腐蚀试片（30）为待测电阻，所述检测单元为测电阻电路。3.根据权利要求2所述的化学过滤器，其特征在于，所述腐蚀试片（30）和所述检测单元组成惠斯通电桥测电阻电路，所述腐蚀试片（30）作为所述惠斯通电桥测电阻电路的待测电阻。4.根据权利要求2所述的化学过滤器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨政谕，
申请(专利权)人：亚翔系统集成科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32