【技术实现步骤摘要】
一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体
本技术涉及一种烧结炉发热体,特别涉及一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体。
技术介绍
目前,烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备,烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结,烧结炉的工作离不开发热体的工作,而目前的发热体在进行工作时绝缘性较差,从而易造成短路等危险,不仅可能对装置造成损坏,还可能对工作人员造成不必要的伤害。因此,我们提出一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体,包括石墨上载盘、石墨下载盘和高温结构陶瓷管,所述上载盘底端四角安装有石墨架,所述石墨架底端安装有石墨下载盘,所述石墨架内侧安装有硅碳棒夹具,所述硅碳棒夹具内夹持有高温结构陶瓷管,所述高温结构陶瓷管内安装有硅碳棒,所述硅碳棒与高温结构陶瓷管之间填充有氧化镁粉。进一步的,所述硅碳棒夹具内侧安装 ...
【技术保护点】
1.一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体,包括石墨上载盘(1)、石墨下载盘(2)和高温结构陶瓷管(9),其特征在于:所述上载盘(1)底端四角安装有石墨架(3),所述石墨架(3)底端安装有石墨下载盘(2),所述石墨架(3)内侧安装有硅碳棒夹具(4),所述硅碳棒夹具(4)内夹持有高温结构陶瓷管(9),所述高温结构陶瓷管(9)内安装有硅碳棒(5),所述硅碳棒(5)与高温结构陶瓷管(9)之间填充有氧化镁粉(8)。
【技术特征摘要】
1.一种具有较好绝缘性的钟罩式加压烧结炉发热体,包括石墨上载盘(1)、石墨下载盘(2)和高温结构陶瓷管(9),其特征在于:所述上载盘(1)底端四角安装有石墨架(3),所述石墨架(3)底端安装有石墨下载盘(2),所述石墨架(3)内侧安装有硅碳棒夹具(4),所述硅碳棒夹具(4)内夹持有高温结构陶瓷管(9),所述高温结构陶瓷管(9)内安装有硅碳棒(5),所述硅碳棒(5)与高温结构陶瓷管(9)之间填充有氧化镁粉(8)。...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵锡铃,
申请(专利权)人:长沙市德米勒精密机械制造有限责任公司,
类型:新型
国别省市:湖南,43
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