【技术实现步骤摘要】
一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法
本专利技术涉及一种常规多晶硅制备太阳能电池片的方法。
技术介绍
太阳能电池，也称光伏电池，是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品，不会引起环境污染，而且是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源。现有的晶体硅太阳能电池片的制备工艺得到电池片性能较低。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，采用新的扩散工艺，无网结二次印刷工艺、无氧退火工艺、降光衰工艺，大大提高了太阳能电池片的性能。为解决以上技术问题，本专利技术的技术方案为：一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，包括以下步骤：A.制绒；B.扩散；太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过...
【技术保护点】
1.一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，其特征在于包括以下步骤：A.制绒；B.扩散；C.刻蚀；D.退火；E.镀减反射膜；F.印刷；G.降低光衰所述步骤D中退火采用无氧退火；所述步骤F中印刷采用无网结二次印刷。
【技术特征摘要】
1.一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，其特征在于包括以下步骤：A.制绒；B.扩散；C.刻蚀；D.退火；E.镀减反射膜；F.印刷；G.降低光衰所述步骤D中退火采用无氧退火；所述步骤F中印刷采用无网结二次印刷。2.根据权利要求1所述的一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，其特征在于步骤B又包含以下步骤：(1)将电池片放入扩散炉，并往扩散炉中通入大氮；(2)将扩散炉炉腔升温至第一温度，并持续通入大氮；(3)将炉腔维持在第一温度，并向炉腔内通入大氮和氧气对电池片进行氧化；(4)在第一温度下进行低温扩散，此过程中持续向炉腔内通入大氮、小氮、氧气；(5)将扩散炉炉腔升温至第二温度同时推进磷原子，继续通入大氮；(6)将炉腔维持在第二温度并进行高温扩散，此过程中持续向炉腔内通入大氮、小氮、氧气；(7)将扩散炉炉腔升温至第三温度同时推进磷原子，继续通入大氮；(8)在第三温度下持续推进磷原子，此过程中持续向炉腔内通入大氮、氧气；(9)降温并进行氧化同时推进磷原子，此过程中持续向炉腔内通入大氮、氧气；(10)出炉；其中，第一温度<第二温度<第三温度。3.根据权利要求2所述的一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，其特征在于：所述的第一温度为770-790℃，所述第二温度为807-827℃，所述第三温度为840-860℃。；步骤(1)中将扩散炉初始温度设置在590-610℃。4.根据权利要求2所述的一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，其特征在于：步骤(2)中，以0.18-0.22℃/s的速度将炉腔温度升至第一温度；步骤(5)中，以0.18-0.22℃/s的速度将炉腔温度升至第二温度；步骤(7)中，以0.18-0.22℃/s的速度将炉腔温度升至第三温度；步骤(9)中以0.18-0.22℃/s的速度降温。5.根据权利要求2所述的一种常规多晶二次印刷太阳能电池片的制备方法，其特征在于：步骤(3)中氧气通入的流量为80-120ml/min；步骤(4)中氧气通入的流量为180-220ml/min；步骤(6)中氧气通入的流量为180-220ml/min；步骤(8)中氧气通入的流量为180-220ml/min；步骤(9)中氧气通入的流量为180-220ml/min；步骤(4)中小氮通入的流量为180-220ml/min；步骤(6)中小氮通入的流量为80-120ml/min；步骤(1)至步骤(10)中大氮通入的流量均为1800-2200ml/min；步骤(3)中通入氧气进行氧化的时间为180-220s；步骤(4)中低温扩散的时间为480-520s；步骤(6)中高温扩散的时间为280-320s；步骤(8)中磷原子推进的时间为180-220s。6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：常青，扈静，闫涛，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51
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