The utility model discloses a water vapor capture device, which comprises a condensation chamber for capturing water vapor; the shell of the condensation chamber is provided with a gas inlet for inputting the gas to be treated and a gas outlet for outputting the treated gas; the inner part of the condensation chamber is provided with a columnar condensation rod and a plurality of water vapor capture plates; the water vapor capture sheet is installed on the columnar condensation rod, and the Each layer of water vapor capture film has clearance. Compared with the existing molecular sieve device, the condensation capture structure of the utility model provides more water vapor contact area, and does not need to spend a lot of cost to build a large volume molecular sieve device; moreover, the utility model uses the condensation principle to capture water vapor, so that the captured water vapor can be transformed into solid substances (such as ice crystals) by condensation, so the regeneration process can be realized only by heating operation. At present, the melting of condensate does not need to consume electronic gas, nor does it introduce or produce toxic by-products.
【技术实现步骤摘要】
水汽捕捉装置
本技术涉及工业气体处理工艺,尤其涉及一种水汽捕捉装置。
技术介绍
在半导体行业、太阳能行业、LED行业、平板显示行业和光纤行业快速发展的今天,砷烷等电子气体的使用范围越来越广泛,在工艺流程中,对于电子气体的提纯工艺要求较高,不仅要求快速、高效地去除杂质,而且不能引入新的杂质,并且所产生的污染物要少,提纯设备还要求能在线再生等。目前对于砷烷等电子气体中水汽的去除一般使用分子筛装置,但是分子筛的微孔内表面积吸附完毕水汽后即失去吸附作用,单位体积分子筛吸附水汽的能力有限,需要建造大容积的分子筛才能满足连续生产的需要;而且分子筛的再生需要大量的干氮气进行再生置换水汽,并且再生过程会产生较多含毒尾气,因而还需要单独配置尾气处理设备;另外,再生完毕后需要用砷烷等电子气体再次对分子筛内的氮气进行置换,而置换过程又会产生大量的有毒尾气,并且还会浪费部分电子气体。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种便于再生的水汽捕捉装置,用以替换现有的分子筛提纯方案,从而解决分子筛提纯过程中的诸多弊端。本技术采用的技术方案如下:一种水汽捕捉装置,包括:用于捕捉水汽的冷凝腔;所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口;所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片;所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上,且分多层交错设置,且每层水汽捕捉片具有间隙。可选地,不同组的所述水汽捕捉片在所述柱状冷凝棒上具有不同的安装位置;和/或不同组的所述水汽捕捉片的外周长不同。可选地,所述柱状冷凝棒包括至少一个设置在靠近所述冷凝腔的中心位置的第一冷凝棒、多个设置在靠近 ...
【技术保护点】
1.一种水汽捕捉装置,其特征在于,包括:用于捕捉水汽的冷凝腔;所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口;所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片;所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上,且分多层交错设置,且每层水汽捕捉片具有间隙。
【技术特征摘要】
1.一种水汽捕捉装置,其特征在于,包括:用于捕捉水汽的冷凝腔;所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口;所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片;所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上,且分多层交错设置,且每层水汽捕捉片具有间隙。2.根据权利要求1所述的水汽捕捉装置,其特征在于,不同组的所述水汽捕捉片在所述柱状冷凝棒上具有不同的安装位置;和/或不同组的所述水汽捕捉片的外周长不同。3.根据权利要求2所述的水汽捕捉装置,其特征在于,所述柱状冷凝棒包括至少一个设置在靠近所述冷凝腔的中心位置的第一冷凝棒、多个设置在靠近所述冷凝腔的内壁的第二冷凝棒以及多个设置在所述第一冷凝棒和所述第二冷凝棒之间的第三冷凝棒;所述第二冷凝棒和所述第三冷凝棒分别以所述第一冷凝棒为中心呈环状分布。4.根据权利要求3所述的水汽捕捉装置,其特征在于,所述水汽捕捉片包括多个连接在所述第一冷凝棒上的第一捕捉片、多个连接在所述第二冷凝棒的第二捕捉片以及多个连接在所述第三冷凝棒的第三捕捉片。5.根据权利要求4所述的水汽捕捉装置,其特征在于,所述第一捕捉片设有用于与所述第一冷凝棒配合的第一过孔;所述第二捕捉片设有用于与所述第二冷凝棒配合的第二过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒和所述第三冷凝棒的第一通孔;所述第三捕捉片设有用于与所述第三冷凝棒配合的第三过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒的第二通孔。6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵青松,宁红锋,
申请(专利权)人:东泰高科装备科技北京有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。