一种用于控制器的保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于控制器的保护装置，涉及控制器保护技术领域。本发明专利技术包括控制器本体、气体传输管和壳体，壳体内壁依次固定有保温层和反射层，外壳内壁固定有贯穿保温层和反射层的温度传感器，外壳内部固定有与外壳内部控制器本体相配合的加热机构，外壳一表面固定有处理器，气体传输管上设置有流量计。本发明专利技术通过加热机构对气体控制器本体中的控制器进行加热，可以防止控制体的温度下降，有效避免了液化气体经过气体控制器时易出现的气体冷凝的现象，保证了气体控制器的使用精度和寿命，减少了因控制器出现问题造成的经济损失。

A Protective Device for Controller

The invention discloses a protective device for a controller, which relates to the technical field of controller protection. The invention comprises a controller body, a gas transmission tube and a shell. The inner wall of the shell is successively fixed with an insulating layer and a reflecting layer, a temperature sensor penetrating the insulating layer and a reflecting layer is fixed on the inner wall of the shell, a heating mechanism matching the inner controller body of the shell, a processor is fixed on the surface of the shell, and a flowmeter is arranged on the gas transmission tube. By heating the controller in the gas controller body by the heating mechanism, the temperature of the control body can be prevented from dropping, the phenomenon of gas condensation easily occurring when liquefied gas passes through the gas controller can be effectively avoided, the use accuracy and life of the gas controller can be guaranteed, and the economic losses caused by the problems of the controller can be reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种用于控制器的保护装置
本专利技术属于控制器保护
，特别是涉及一种用于控制器的保护装置。
技术介绍
半导体制造过程中，需要将各种高纯度气体，如氮气、氢化物气体、卤化物气体等，提供给完成各种半导体工艺的加工设备，如沉积设备、刻蚀设备、离子注入设备、扩散设备等。这些高纯度气体存储在气罐中，出于毒性和安全方面的考虑，需要对其进行很谨慎的保存和处理，为此，通常会在工艺间外设置专门的气柜，利用专门的气体传输系统对各种高纯度气体进行集中控制和配送。现有的气体传输系统中，每一种气体均存储于一个气罐中，该气罐内存储的气体通过一气体传输管路到达气体控制器(通常为气体压力调节器或气体开关阀)，通过对该气体控制器的控制实现对气体流量大小或导通/截止状态的控制。然后，再通过另一气体传输管路将气体传送至需要使用该气体的加工设备处。其中，气罐、气体传输管路和气体控制器通常均位于气柜中，通过另一气体传输管路与加工设备相连。在半导体制造过程中用到的各种高纯度气体中，有多种是以液化状态存储于气罐中，如氨气、氯气等。这些液化状态下存储的气体在使用时，会由于焦耳-汤普森效应而发生冷凝，出现一些冷凝的液体。而气体一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于控制器的保护装置，包括控制器本体(1)、气体传输管(2)和壳体(3)，其特征在于：所述控制器本体(1)贯穿至壳体(3)内部且与壳体(3)固定连接，所述气体传输管(2)贯穿壳体(3)且与壳体(3)内部的控制器本体(1)连通；其中，所述壳体(3)内壁依次固定有保温层(4)和反射层(5)，所述外壳(3)内壁固定有贯穿保温层(4)和反射层(5)的温度传感器(6)，所述外壳(3)内部固定有与外壳(3)内部所述控制器本体(1)相配合的加热机构(7)，所述外壳(3)一表面固定有处理器(8)，所述气体传输管(2)上设置有流量计(9)；所述加热机构(7)包括加热筒(701)，所述加热筒(701)与壳...

【技术特征摘要】
1.一种用于控制器的保护装置，包括控制器本体(1)、气体传输管(2)和壳体(3)，其特征在于：所述控制器本体(1)贯穿至壳体(3)内部且与壳体(3)固定连接，所述气体传输管(2)贯穿壳体(3)且与壳体(3)内部的控制器本体(1)连通；其中，所述壳体(3)内壁依次固定有保温层(4)和反射层(5)，所述外壳(3)内壁固定有贯穿保温层(4)和反射层(5)的温度传感器(6)，所述外壳(3)内部固定有与外壳(3)内部所述控制器本体(1)相配合的加热机构(7)，所述外壳(3)一表面固定有处理器(8)，所述气体传输管(2)上设置有流量计(9)；所述加热机构(7)包括加热筒(701)，所述加热筒(701)与壳体(3)内壁固定连接，所述加热筒(701)筒壁内部设置有电热丝(702)，所述加热筒(701)表面设置有散热翅片(703)。2.根据权利要求1所述的一种用于控制器的保护装置，其特征在于，所述控制器本体(1)包括控制头(101)、控制杆(102)、控制体(103)，以及位于所述控制体(103)内部的气路(104)，所述控...

【专利技术属性】
技术研发人员：李福艳，
申请(专利权)人：徐州华创电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32