The utility model provides a cleaning device for a wire-cutting machine, which is characterized by: a nozzle is arranged in the cutting chamber of the wire-cutting machine, and a number of cutting chamber nozzles and a number of single crystal rod nozzles are arranged on the nozzle; the beneficial effect of the utility model is to save the time of manual washing; the labor intensity of the operator is greatly reduced, the washing time is shortened, and the production efficiency is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种线切机清洗装置
本技术属于硅片切割加工领域，尤其是涉及一种安装在线切机内部的线切机清洗装置。
技术介绍
在现有的技术中，线切机设备内没有清洗装置，在单晶棒料切割完以后，单晶棒料及切割室粘有大量硅泥，需要人工手持水枪进行冲洗，辅助时间长，冲洗过程中有大量水溅出，污染设备周围环境。专利号201721065639.3的中国专利提供了一种线切割装置，包括：滚轮组、底座以及清洗装置；所述清洗装置包括清洗液供应装置、盛水容器，所述清洗液供应装置设置于所述滚轮组上方设置为提供清洗液至所述滚轮组，所述盛水容器可拆卸地设置于所述底座上且位于所述滚轮组与所述切割液收集室之间。本技术一种线切割装置可以实时对滚轮内的碎屑以及杂质进行清洗，且防止碎屑、杂质或者清洗液流入切割液收集室，避免了对切割液收集室内的切割液造成污染，延迟切割液的使用时间，降低了使用者的生产成本。但该线切机的清洗装置是设计时与机身一体设计，而目前现行使用的进口的原装线切机设备内则没有清洗装置，仅为了优化清洗方案就进行线切机设备的更换则成本太高，因此产生了能安装在线切机内部的线切机清洗装置的需求。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种线切机清洗装置，尤其适合在硅片切割机切割单晶体硅棒后，能够对棒料和切割室进行清洗。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种线切机清洗装置，包括设置在线切机切割室内部的喷管，所述喷管上设置有若干切割室喷嘴和若干单晶棒料喷嘴。切割室喷嘴用于切割室的清洗，单晶棒料喷嘴用于单晶棒料的清洗。所述喷管安装在设置于切割室内部的不锈钢支架上。不锈钢支架在切割室内的安装位置通过计算确定，...
【技术保护点】
1.一种线切机清洗装置，其特征在于：包括设置在线切机切割室内部的喷管，所述喷管上设置有若干切割室喷嘴和若干单晶棒料喷嘴。
【技术特征摘要】
1.一种线切机清洗装置，其特征在于：包括设置在线切机切割室内部的喷管，所述喷管上设置有若干切割室喷嘴和若干单晶棒料喷嘴。2.根据权利要求1所述的线切机清洗装置，其特征在于：所述喷管安装在设置于切割室内部的支架上。3.根据权利要求1所述的线切机清洗装置，其特征在于：多组所述喷管之间通过弯头和软管连接，所述软管通过软管接头与线切机的纯水管连接，还包括电气控制装置，所述电气控制装置被设置在所述软管与所述纯水管之间，所述电气控制装置被设置用于控制清洗装置的喷淋时间及内部压力。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的线切机...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚长娟，靳立辉，刘旭光，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：天津,12
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