【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片生产,尤其是涉及一种片篮提升装置。
技术介绍
1、在硅片的制造过程中,需要将盛放有硅片的片篮放置于清洗水槽内进行清洗,清洗完毕后再将盛放有硅片的片篮拿出,需要根据片篮内硅片的型号,调节片篮与清洗水槽内水面的夹角,进而提高清洗效率,现有的片篮提升装置为两侧气缸或单侧悬臂驱动升降板带动片篮上升,两侧气缸动作不同步或悬臂变形,升降架升降的过程中出现晃动,导致硅片受损,且升降架为固定设置,不能调节片篮与清洗水槽内水面的夹角,导致装置的适用范围受到了限制。
技术实现思路
1、有鉴于此,本技术旨在提出一种片篮提升装置,以期解决上述部分技术问题中的至少之一。
2、为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:
3、一种片篮提升装置,包括设备支架、升降架、两个丝杠,所述升降架两端固设有与丝杠相匹配的螺母,两个所述丝杠分别与两个螺母配合安装;
4、其中一个丝杠对应设有转动组件,所述转动组件的壳体与设备支架固定连接,所述转动组件的输出轴通过同步皮带与其中一个丝
...【技术保护点】
1.一种片篮提升装置,其特征在于:包括设备支架(1)、升降架、两个丝杠(10),所述升降架两端固设有与丝杠(10)相匹配的螺母(11),两个所述丝杠(10)分别与两个螺母(11)配合安装;
2.根据权利要求1所述的一种片篮提升装置,其特征在于:所述转动组件为电机(2),所述电机(2)的壳体与设备支架(1)固定连接,所述电机(2)的输出轴固设有同步带轮一,其中一个丝杠(10)上固设有同步带轮二、同步带轮三,另外一个丝杠(10)上固设有同步带轮四,所述同步带轮一与同步带轮二均与同步皮带一配合安装并实现同步转动,所述同步带轮三与同步带轮四均与同步皮带二(5)配合
...【技术特征摘要】
1.一种片篮提升装置,其特征在于:包括设备支架(1)、升降架、两个丝杠(10),所述升降架两端固设有与丝杠(10)相匹配的螺母(11),两个所述丝杠(10)分别与两个螺母(11)配合安装;
2.根据权利要求1所述的一种片篮提升装置,其特征在于:所述转动组件为电机(2),所述电机(2)的壳体与设备支架(1)固定连接,所述电机(2)的输出轴固设有同步带轮一,其中一个丝杠(10)上固设有同步带轮二、同步带轮三,另外一个丝杠(10)上固设有同步带轮四,所述同步带轮一与同步带轮二均与同步皮带一配合安装并实现同步转动,所述同步带轮三与同步带轮四均与同步皮带二(5)配合安装并实现同步转动。
3.根据权利要求1所述的一种片篮提升装置,其特征在于:每个丝杠(10)均对应设有两个导向柱(7),两个所述导向柱(7)安装于丝杠(10)的两侧,所述导向柱(7)与设备支架(1)固定连接,所述升降架固设有与导向柱(7)相对应的直线轴承(6),所述导向柱(7)与直线轴承(6)配合安装。
4.根据权利要求3所述的一种片篮提升装置,其特征在于:两个所述导向柱(7)一端与设备支架(1)固定连接,另一端通过连接板(9)固定连接,所述丝杠(10)与连接板(9)转动连接。
5.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:靳立辉,杨骅,任志高,王欢,姚长娟,赵晓光,
申请(专利权)人:天津环博科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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