用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物制造技术

用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量10‑15％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量4％～8％的氢氟酸(以HF计)，重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～4％的平平加O‑20，质量百分比含量1～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。

Composition for surface thinning of TFT glass substrates

Compositions for surface thinning of TFT glass substrates are characterized by the following components: hydrochloric acid with a weight percentage of 10 15% (in HCl), hydrofluoric acid with a weight percentage of 4% - 8% (in HF), potassium chloride with a weight percentage of 0.3 - 0.5%, an average addition of O 20 with a weight percentage of 2 - 4%, and polyethylene with a mass percentage of 1 - 2%. Diol 200 monolaurate and residual water.

【技术实现步骤摘要】
用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物
本专利技术涉及用于TFT玻璃基板蚀刻组合物。
技术介绍
为满足制作超薄TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)显示屏的要求，需要对现有规格玻璃基板进行薄化处理。当前普遍采用的氢氟酸对TFT玻璃基板进行蚀刻薄化，但一方面会产生局部缺陷，需要进行长时间的抛光处理，另一方面抛光的玻璃基板表面容易产生眩光。现有技术采用公开了一种薄化预处理剂，用于在薄化前对玻璃基板进行预处理以降低薄化后的表面缺陷，如中国专利2016112686783公开了用于液晶显示屏玻璃基板表面处理的组合物，其配方为以质量百分比含量8～12％的盐酸(HCl)，质量百分比含量3-5％的硝酸，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分含量0.1～0.2％的氯化钙，质量百分比含量1～2％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)，质量百分比含量0.5～1％的结冷胶，及余量的水。中国专利文献CN2011102930815公开了一种防眩玻璃的蚀刻液，但在研究中发现，采用这种方式制得的防眩玻璃在仅能用于对TFT基板进行表面进行处理，无法直接用于薄化，尤其无法实现在薄化的同时即提高薄化后基板的表面质量，又能使玻璃基板表面产生适当的雾度从而产生防眩效果。因此提供一种用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，能够在玻璃基板进行薄化的同时，使表面产生合适的雾度从而实现防眩效果，成为现有技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决前述技术问题，本专利技术提供了用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，通过优选组合物的处方，并采用适当的薄化处理工艺，可以在对TFT玻璃基板的进行薄化的同时，实现对基板表面进行防眩减反射处理的效果。为解决前述技术问题本专利技术采用的技术方案为：提供了用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量10-15％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量4％～8％的氢氟酸(以HF计)，、重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～4％的平平加O-20，质量百分比含量1～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。所述的用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量10-15％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量6％～7％的氢氟酸(以HF计)，、重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～3％的平平加O-20，质量百分比含量1.5～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。所述用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于以如下方法配制，1)将处方量盐酸与氢氟酸混合，并加入适量水稀释后，加入处方量的氯化钾溶解，2)将处方量的平平加O-20和聚乙二醇200单月桂酸酯混合后加热至45～50℃；3)将步骤1)得到的混合液加热至40～45℃后，在搅拌条件下将步骤2)的混合液缓缓加入步骤1)的混合液中。现有技术中聚乙二醇200单月桂酸酯作为一种表面活性剂多用于水性涂料中的消泡剂，以及作为金属加工润滑剂等，平平加O-20作为一种脂肪醇聚氧乙烯醚是一种非离子表面活性剂，在研究中我们发现将聚乙二醇200单月桂酸酯(PEG200ML)和平平加O-20联合使用并将其与适量盐酸、氢氟酸及氯化钾混合后得到的用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物在对TFT玻璃基板进行薄化处理后，可以提高薄化处理的质量，可以蚀刻时在玻璃基板表表面生产合适的雾度，从而实现防眩效果。在处方筛选时我们发现，只有选用的优选的组分并在适合的蚀刻温度下，与对TFT玻璃进行薄化处理才能产生较好的效果，改变蚀刻液处方或蚀刻温度均会对蚀刻质量产生不良影响。具体实施方式本专利技术提供的TFT玻璃基板薄化用蚀刻液，以如下方法配制，1)将处方量盐酸与氢氟酸混合，并加入适量水稀释后，加入处方量的氯化钾溶解，2)将处方量的平平加O-20和聚乙二醇200单月桂酸酯(PEG200ML)混合后加热至45～50℃；3)将步骤1)得到的混合液加热至40～45℃后，在搅拌条件下将步骤2)的混合液缓缓加入步骤1)的混合液中。实施例及对比例1～8的配方见下表(质量百分比wt％)对实施例及对比例得到的蚀刻液剂进行薄处理化的方法如下取用原材料为板硝子NA35相同厂家同批次的玻璃基板，其厚度为1.000mm，尺寸为100mm×100mm。蚀刻处理工艺为1)配制TFT玻璃基板薄化用蚀刻液10L(以下简称蚀刻液)2)将蚀刻液打入蚀刻机酸槽并将预处理剂温度控制在40℃±2℃，把作为实验组样品的玻璃基板浸泡在蚀刻液中，去除玻璃表面薄化至0.5mm；3)用清水洗净玻璃表面。检测实施例对经过薄化处理的TFT玻璃基板样品的光泽度、雾度和透过率进行检测，其中雾度采用WGW光电雾度仪，透过率采用BTR-1型可见光透/反射率测试仪，光泽度检测采用光泽度仪，与60°条件下测试检测方法应符合GBT_36260_2018电子显示用防眩减反射玻璃的规定检验结果如下根据GBT_36260_2018规定电子显示用防眩减反射玻璃的光泽度应小于70，雾度应小于4％，可见光透射比(相当于光泽度)应为约98％，实验结果表明，仅当采用本专利技术提供的蚀刻液对玻璃基板进行薄化处理时的玻璃基板，在薄化处理完成后，能够基本符合GBT_36260_2018的规定。在保持高透过性能的同时，在玻璃表面实现较为理想的防眩效果。且实施例2/3/6/7得到的样品，则在实现防眩的同时表现出了更好的透光度。而对比例得到的玻璃则不能满足上述标准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量11‑13％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量4％～8％的氢氟酸(以HF计)，、重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～4％的平平加O‑20，质量百分比含量1～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。

【技术特征摘要】
1.用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量11-13％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量4％～8％的氢氟酸(以HF计)，、重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～4％的平平加O-20，质量百分比含量1～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。2.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志刚，赵艳，常洁，裴华艳，胡艳艳，
申请(专利权)人：邓惠玉，李志刚，赵艳，常洁，裴华艳，胡艳艳，
类型：发明
国别省市：广东,44