The invention discloses a low-temperature preparation method of thin film filter using vacuum coating machine. A pair of electrodes are arranged between the evaporation source of thin film material and the filter workpiece rack, and close to the filter workpiece rack. When evaporating thin film material in vacuum, high AC voltage is applied to the electrodes: the frequency is 50 Hz, and the voltage is 3.2-3.6 KV. The thin film material is composed of zinc sulfide with high refractive index and cryolite with low refractive index. It is evaporated by electron beam evaporation source and resistance heating evaporation source respectively. The electrodes consist of two semi-circular pure aluminum rings, which are respectively arranged under the workpiece rack to form an approximate insulating ring. The size of the ring varies according to the size of the filter workpiece rack. This method is suitable for preparing thin film filters such as antireflective film, high reflective film, beam splitting film, polarization film, depolarization film, cut-off filter and band-pass filter on various substrates which are sensitive to high temperature and must be deposited at low temperature.
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜滤光片的低温制备方法
本专利技术涉及光电仪器和激光仪器
,具体涉及一种采用真空镀膜机的薄膜滤光片的低温制备方法。
技术介绍
薄膜滤光片广泛应用于各种光电仪器和激光仪器。为了获得优良光学、机械、化学性能的滤光片,现有技术常在100~350℃温度的基底上釆用电子束蒸发高温氧化物硬膜材料来制备薄膜滤光片;更先进的制备技术则是在薄膜蒸发淀积过程中釆用高能离子轰击蒸发分子或原子,把高能离子携带的能量通过动量传递输送给蒸发分子或原子,使淀积分子或原子获得额外动能后大大增加其迁移率,从而既提高薄膜的聚集密度,又改善薄膜应力、增加薄膜的附着性能和硬膜等,这就是现在广泛使用的离子束辅助淀积技术,它为制备高光学稳定性和高牢固耐久性薄膜提供了极佳的条件。不幸的是,有少数薄膜滤光片制备时其基底是不能加温的,如有些光学塑料基底的温度不能大于70℃,更有甚者,有些高精度光学零件和光电器件镀膜时的温度必须小于50℃,在这些情况下,即使镀膜基底不加温,由于高温材料蒸发时电子束蒸发源会产生大量的热量辐射,同样,高能离子源也会产生大量的热量辐射,致使基底温度超过70℃,特别是当滤光片的层数较多、膜厚较大时,温度甚至可上升至100℃左右,造成基底损伤。另一方面,即使薄膜工程师设法能把基底温度控制到50℃以下,但是这时获得的薄膜滤光片性能是很差的,主要表现在:一、膜层聚集密度很低。由于膜层疏松,内部有大量空气隙,所以膜层特性会随空气中的相对湿度而变化。当相对湿度较高时,空气中的大量水气渗透到膜层中,由于水的折射率1.33高于空气折射率1.0,使膜层平均折射率升高,反之,使膜层平均折 ...
【技术保护点】
1.一种薄膜滤光片的低温制备方法,其特征在于,采用真空镀膜机,包括:真空室、设置在所述真空室内的滤光片工件架以及设置在所述真空室内的薄膜材料蒸发源;其特征在于,所述的薄膜材料蒸发源和滤光片工件架之间并紧靠所述滤光片工件架处设置有一对电极,所述的一对电极与设置在所述真空室外的交流高电压源电连接;该方法包括以下步骤:1)当镀膜基底为对高温敏感而必须采用低温制备的材料,高温为100~350℃,低温为30℃~70℃,将镀膜基底安装在滤光片工件架上,选用冰晶石Na3AlF6作为低折射率材料,选用硫化锌ZnS作为高折射率材料;2)通过电阻加热蒸发源和电子束蒸发源蒸发在镀膜基底上制备低折射率膜层和高折射率膜层,在制备过程中,交流高电压源为一对电极提供交流高电压,所述的交流高电压的频率为40Hz~60Hz、电压为3.2~3.6KV,完成薄膜滤光片的制备。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜滤光片的低温制备方法,其特征在于,采用真空镀膜机,包括:真空室、设置在所述真空室内的滤光片工件架以及设置在所述真空室内的薄膜材料蒸发源;其特征在于,所述的薄膜材料蒸发源和滤光片工件架之间并紧靠所述滤光片工件架处设置有一对电极,所述的一对电极与设置在所述真空室外的交流高电压源电连接;该方法包括以下步骤:1)当镀膜基底为对高温敏感而必须采用低温制备的材料,高温为100~350℃,低温为30℃~70℃,将镀膜基底安装在滤光片工件架上,选用冰晶石Na3AlF6作为低折射率材料,选用硫化锌ZnS作为高折射率材料;2)通过电阻加热蒸发源和电子束蒸发源蒸发在镀膜基底上制备低折射率膜层和高折射率膜层,在制备过程中,交流高电压源为一对电极提供交流高电压,所述的交流高电压的频率为40Hz~60Hz、电压为3.2~3.6KV,完成薄膜滤光片的制备。2.根据权利要求1所述的薄膜滤光片的低温制备方法,其特征在于,所述的薄膜材料蒸发源包括电阻加热蒸发源和电子束蒸发源。3.根据权利要求1所述的薄膜滤光片的低温制备方法,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴江波,李冰霞,艾曼灵,金波,顾培夫,
申请(专利权)人:杭州科汀光学技术有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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