基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统和方法技术方案

本发明专利技术适用于激光加工制造领域，提供了一种基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统和方法。该系统包括：加工激光模块、校正激光模块、合束镜、分光棱镜、测量光模块、参考光模块、分析处理模块。本发明专利技术提供的振镜校正加工系统是基于迈克尔逊干涉光路系统改进设计的振镜加工光路系统，通过获取工作面反射的测量光与参考光干涉信号，然后通过分析处理模块生成误差补偿文件对振镜进行校正。这种方法不仅能够提高定位精度的校正精度，还可以简化操作流程。

【技术实现步骤摘要】
基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统和方法
本专利技术涉及激光加工制造领域，提供了一种基于迈克尔逊干涉在线智能振镜定位精度校正的激光加工系统。
技术介绍
在激光加工制造中，通常采用振镜控制光路激光来加工各种复杂的图形和零件；由于光路系统中振镜在初始安装时存在畸变现象、系统安装误差，振镜在使用一定时间后由于电机丢步等原因会产生误差，从而导致加工过程中振镜在扫描区域内的定位偏差大，精度降低。此时要对振镜进行误差补偿以减小这种偏差，提高定位精度。目前定位精度的校正采用方法有两种，其一是在校正板上打矩阵标靶后，再结合辅助测量设备(如二次元等)进行测量，获取偏差值后生成振镜补偿文件进行校正；其二是采用CCD图像采集装置对振镜校正板上的矩阵标靶进行图像采集，并通过图像处理模块对采集的矩阵标靶进行图像采集处理后输出振镜补偿文件对振镜进行校正。第一种方法由人工计算出理论与实际的偏差，再通过补偿计算软件生成校正文件，这样不但费时，还需要专门的测量人员仪器购买昂贵的辅助测量设备，且校正系统复杂，不能随时对振镜进行校正；第二种方法需要对矩阵标靶的点进行刻线等，操作流程不便捷，且精度与点的数量相关。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统，其特征在于，包括：加工激光模块，包括不同类型的激光器和与之相适应的扩束镜；校正激光模块，包含校正所用的激光光源、与之相适应的扩束镜和起偏器；校正激光模块中起偏器用于将校正激光光束变成线偏振光；合束镜用于将所述加工激光模块中激光器发射的激光光束与校正激光光束合并成同同轴光束进行传输；分光棱镜用于将校正激光束分成等振幅正交的两束偏振光，透射/反射光设置为参考光，反射/透射光设置为测量光；测量光模块由聚焦镜、振镜、偏振控制器、移相器、反射镜组成；所述聚焦镜和振镜主要用于加工激光光束的聚焦和偏转，同时也用于反射和聚焦从测量反射镜反射回来的测量光束；...

【技术特征摘要】
1.一种基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统，其特征在于，包括：加工激光模块，包括不同类型的激光器和与之相适应的扩束镜；校正激光模块，包含校正所用的激光光源、与之相适应的扩束镜和起偏器；校正激光模块中起偏器用于将校正激光光束变成线偏振光；合束镜用于将所述加工激光模块中激光器发射的激光光束与校正激光光束合并成同同轴光束进行传输；分光棱镜用于将校正激光束分成等振幅正交的两束偏振光，透射/反射光设置为参考光，反射/透射光设置为测量光；测量光模块由聚焦镜、振镜、偏振控制器、移相器、反射镜组成；所述聚焦镜和振镜主要用于加工激光光束的聚焦和偏转，同时也用于反射和聚焦从测量反射镜反射回来的测量光束；移相器主要用于改变测量光束的位相，从而使参考光和测量光满足干涉条件；参考光模块由偏振控制器、反射镜组成；所述测量光模块和参考光模块中的偏振控制器用于改变激光光束的偏振态，使得反射到分光棱镜的两光束正交；分析处理模块用于处理参考光和测量光，并分析两束光发生干涉后产生的条纹。2.如权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统，其特征在于，所述激光器采用连续激光器或脉冲激光器。3.如权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭琴，李鹏，丘廉芳，孙靖，杨洋，赵维刚，郭立杰，
申请(专利权)人：上海航天设备制造总厂有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31