一种镀镍液的配制装置制造方法及图纸

一种镀镍液的配制装置，包括配液罐、储液罐、配液循环泵、传液泵、储液循环泵、输送管路，溶剂进料口、镍液进料口、折流板、电机、旋转轴、旋轴底座、上、下、中搅拌叶，所述电机位于配液罐体上部，所述旋转轴上端与电机连接，下端与旋轴底座旋转连接；所述旋转轴从上到下依次穿过上搅拌叶、中间搅拌叶、下搅拌叶中心孔；所述折流板位于配液罐上端面内侧，并分别位于溶剂进料口和镍液进料口下端面。通过增加中心搅拌装置，使得镍液与溶剂之间的互溶更加充分，搅拌更加均匀，混合更加快速，循环泵的使用使得配液罐内上部和底层液体之间的形成一个循环流，使得整个罐体内液体混合充分、均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种镀镍液的配制装置
本技术涉及镀镍生产装置，具体地说是一种镀镍液的配制装置。
技术介绍
半导体晶片在化学镀镍前需对镀镍液进行合理配制，镍液与溶剂的混合需要搅拌，起初时是人工在搅拌，但是人工搅拌不均匀对混合液有影响，后来去掉人工加入了循环泵对混合液进行来回循环来进行混合和搅拌，但是这种循环混合和搅拌速度慢，而且由于镍在溶剂中的溶解较慢，所以这种循环泵式的搅拌速度慢效率低，而且镍的溶解并不充分，在生产量较大时这种搅拌速度就受到一定的限制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种镀镍液的配制装置，增加了搅拌装置后，加强了镀镍液配制过程中的搅拌混合效率和质量，满足了镀镍生产线上对镀镍液量和质的需求。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是：一种镀镍液的配制装置，包括配液罐、储液罐、配液循环管路、配液循环泵、传液管路、传液泵、储液管路、储液循环泵、输送管路，其特征在于：还包括溶剂进料口、镍液进料口、折流板、电机、旋转轴、旋轴底座、上搅拌叶、中间搅拌叶、下搅拌叶，所述电机位于配液罐体上部，所述旋转轴上端与电机连接，下端与旋轴底座旋转连接；所述溶剂进料口位于配液罐上端面，所述镍液进料口位于配液罐上端面；所述折流板位于配液罐上端面内侧，并分别位于溶剂进料口和镍液进料口下端面；所述旋转轴从上到下依次穿过上搅拌叶、中间搅拌叶、下搅拌叶中心孔。作为优化，所述电机位于配液罐中心位置，所述溶剂进料口和镍液进料口对称分布于电机两侧。作为优化，所述折流板为上口大、下口小的锥形筒体，所述旋转轴穿过折流板中心。作为优化，所述的中间搅拌叶包括桨叶板一和轴套，所述轴套内孔与旋转轴固定连接；所述桨叶板一固定于轴套外圆上，所述桨叶板分为四叶沿轴套圆周对称分布；所述桨叶板一为矩形片式结构。作为优化，所述的上搅拌叶包括桨叶板二和轴套，所述轴套内孔与旋转轴固定连接；所述桨叶板二固定于轴套外圆上，所述桨叶板二分为四叶沿轴套圆周对称分布；所述桨叶板二为矩形片式结构上端向下弯曲而成的弧形结构。作为优化，所述的下搅拌叶包括桨叶板二和轴套，所述轴套内孔与旋转轴固定连接；所述桨叶板二固定于轴套外圆上，所述桨叶板二分为四叶沿轴套圆周对称分布；所述桨叶板二为矩形片式结构下端向上弯曲而成的弧形结构。作为优化，所述的上搅拌叶和下搅拌叶弯曲的弧形方向相向。作为优化，所述的旋轴底座固定于罐体底部中心位置，并与旋转轴旋转配合。本技术的有益效果是：与现有技术相比，本技术的一种镀镍液的配制装置，通过增加中心搅拌装置，使得镍液与溶剂之间的互溶更加充分，搅拌更加均匀，混合更加快速，循环泵的使用使得配液罐内上部和底层液体之间的形成一个循环流，使得整个罐体内液体混合充分、均匀。附图说明图1为本技术总体结构图；图2为本技术中间搅拌叶放大图；图3为本技术A向局部放大图；图4为本技术折流板放大图；其中，1配液罐，2储液罐、3配液循环管路、4配液循环泵、5镍液进料口，6溶剂进料口，7电机，8折流板,9上搅拌叶，10中间搅拌叶，11下搅拌叶,12旋转轴，13旋轴底座，14传液泵，15传液管路，16储液循环泵，17储液管路，18输送管路，101桨叶板一，102轴套，110桨叶板二。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。如图1-4所示，一种镀镍液的配制装置，包括配液罐1、储液罐2、配液循环管路3、4配液循环泵、15传液管路、14传液泵、17储液管路、16储液循环泵、18输送管路，6溶剂进料口、5镍液进料口、8折流板、7电机、12旋转轴、13旋轴底座、9上搅拌叶、10中间搅拌叶、11下搅拌叶，所述电机7位于配液罐体1上部，所述旋转轴12上端与电机7连接，下端与旋轴底座13旋转连接；所述溶剂进料口6位于配液罐上端面，所述镍液进料口5位于配液罐1上端面；所述折流板8位于配液罐1上端面内侧，并分别位于6溶剂进料口和5镍液进料口下端面；所述旋转轴12从上到下依次穿过上搅拌叶9、中间搅拌叶10、下搅拌叶11中心孔。作为实施例的进一步优化，所述电机7位于配液罐1中心位置，所述溶剂进料口6和镍液进料口5对称分布于电机两侧，两组进料口呈对称流流向下部的折流板8；所述折流板8为上口大、下口小的锥形筒体，两组进料口进的料液喷射在折流板锥形筒体内，事先混合导流。作为实施例的进一步优化，所述的搅拌叶分为上、下、中三组搅拌叶，都包括桨叶板和轴套，所述轴套内孔与旋转轴固定连接，所述桨叶板固定于轴套外圆上，所述桨叶板分为四叶沿轴套圆周对称分布；所述中间搅拌叶的桨叶板一为矩形片式结构，所述的上搅拌叶的桨叶板二是在桨叶板一矩形片式结构基础上，将矩形片上端面向下弯曲折叠形成的面口朝下弧形结构，而下搅拌叶的桨叶板二是将弯曲行成的弧形面口朝上的结构，上搅拌叶和下搅拌叶的桨叶板弯曲面相向而对；上搅拌叶向下的弯曲使得对液体的搅拌向下和中心搅拌，而下搅拌叶向上的弯曲使得对罐体底部的液体进行向上和中心的搅拌，使得底部液体不至沉积于底部；而中间搅拌叶对罐体中间的液体进行充分的混合和搅拌。本实施例采用的搅拌叶形式和数量可根据实际生产需要进行调整，电机的搅拌速度也根据需要设定，设置的搅拌叶的形式：上搅拌叶弯曲向下，通过搅拌使得上部下来的液体朝下与液体混合，而下部搅拌叶朝上的方式是为低端的液体朝上与液体混合，三组搅拌叶使得液体在罐体中各个方向形成搅拌流并充分混合，由于镍的溶解速度较慢，在管内即需充分混合还是要充分溶解，所以搅拌混合需一定的时间，由于镍的沉淀使得罐体内上下镍的混合浓度有可能不一样，所以循环泵的循环使得罐体内上部和下部的镍液不但混合均匀，浓度也一致，这样的混合和溶解充分的镍液才可以通过传液泵传送到储液罐内。在本实施例中，配液罐内搅拌叶为三组，而在储液罐内为两组，因为在镀镍液已经在配液罐内混合充分了，在储液罐内的搅拌只是为防止混合后的液体自发分解和过早老化，防止局部过热，保持恒温和前期的充分混合即可，所以不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀镍液的配制装置，包括配液罐（1），储液罐（2）、配液循环管路(3)、配液循环泵(4)、传液管路(15),传液泵(14)、储液管路(17)、储液循环泵(16)、输送管路(18)，其特征在于：还包括溶剂进料口(6)、镍液进料口(5)、折流板(8)、电机（7）、旋转轴（12）、旋轴底座（13）、上搅拌叶（9）、中间搅拌叶（10）、下搅拌叶（11），所述电机（7）位于配液罐（1）体上部，所述旋转轴（12）上端与电机（7）连接，下端与旋轴底座（13）旋转连接；所述溶剂进料口（6）位于配液罐上端面，所述镍液进料口（5）位于配液罐上端面；所述折流板（8）位于配液罐（1）上端面内侧，并分别位于溶剂进料口（6）和镍液进料口（5）下端面；所述旋转轴（12）从上到下依次穿过上搅拌叶（9）、中间搅拌叶（10）、下搅拌叶（11）中心孔。

【技术特征摘要】
1.一种镀镍液的配制装置，包括配液罐（1），储液罐（2）、配液循环管路(3)、配液循环泵(4)、传液管路(15),传液泵(14)、储液管路(17)、储液循环泵(16)、输送管路(18)，其特征在于：还包括溶剂进料口(6)、镍液进料口(5)、折流板(8)、电机（7）、旋转轴（12）、旋轴底座（13）、上搅拌叶（9）、中间搅拌叶（10）、下搅拌叶（11），所述电机（7）位于配液罐（1）体上部，所述旋转轴（12）上端与电机（7）连接，下端与旋轴底座（13）旋转连接；所述溶剂进料口（6）位于配液罐上端面，所述镍液进料口（5）位于配液罐上端面；所述折流板（8）位于配液罐（1）上端面内侧，并分别位于溶剂进料口（6）和镍液进料口（5）下端面；所述旋转轴（12）从上到下依次穿过上搅拌叶（9）、中间搅拌叶（10）、下搅拌叶（11）中心孔。2.根据权利要求1所述的镀镍液的配制装置，其特征在于：所述电机（7）位于配液罐（1）中心位置，所述溶剂进料口（6）和镍液进料口（5）对称分布于电机（7）两侧。3.根据权利要求1所述的镀镍液的配制装置，其特征在于：所述折流板（8）为上口大、下口小的锥形筒体，所述旋转轴（12）穿过折流板（8）中心。4.根据权利要求1所述的镀镍液的配制装置，其特征在于：所述的中间搅拌叶（10）包括桨叶板一（101）...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭城，吕明，王永超，郭英云，
申请(专利权)人：山东科芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37