一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，其结构包括调节竖杆、旋转器、光刻探头、置物座、底座、支撑杆，固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽，两者相互配合用于固定稳定光聚装置，同时使定位块压紧材料板和套板，并固定翘板与压块契合稳定，防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位，进而减小套刻误差，扣环共有四个，且相互配合围绕光刻探头扣紧，同时形变板之间相互贴合，配合支撑板形成一个小空间，使光刻探头在雕刻时，防止光源涣散，提高效率。

An Insert Measuring Device Based on Deformation Prevention and Dispersion Fitting with Four-sided Clamp

The invention discloses a set-engraving measuring device based on deformation prevention and photoastigmatism matching four-sided clamp block. Its structure includes adjusting vertical bar, rotator, photolithography probe, mounting base, support rod, fixed screw rod and screw base with thread groove. The two cooperate with each other to fix and stabilize the light-gathering device, at the same time, make the positioning block press the material plate and the sleeve plate, and fix the warping plate and the pressing block to fit. Stable, prevent the press material board and cover board from dislocation due to vibration during photolithography, and then reduce the set error. There are four fastening rings, and they cooperate with each other to fasten around the photolithography probe. At the same time, the deformable plates are joined with each other to form a small space with the support plate, so that the photolithography probe can prevent the light source from scattering and improve efficiency in the process of lithography.

【技术实现步骤摘要】
一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置
本专利技术是一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，属于光刻套刻装置领域。
技术介绍
雕刻技术分为多种，其中光刻套刻使利用激光及套板对材料进行雕刻，但是在装载材料与套板时，容易出现偏差，且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动，进而使材料与套板出现轻微错位，再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射，影响效率。但现有套刻测量装置存在以下弊端：在装载材料与套板时，由于没有可以依据参考的实物件，故容易出现偏差，且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动，进而使材料与套板出现轻微错位，引起套刻误差，再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射，影响效率。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，以解决在装载材料与套板时，由于没有可以依据参考的实物件，故容易出现偏差，且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动，进而使材料与套板出现轻微错位，引起套刻误差，再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射，影响效率的问题。为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，其结构包括调节竖杆、旋转器、光刻探头、置物座、底座、支撑杆，所述调节竖杆底部与底座后端固定连接，所述调节竖杆与底座顶部相互垂直，所述置物座底部与底座顶部固定连接，所述底座底部与支撑杆顶部为螺纹连接，所述支撑杆顶部与底座底部为垂直连接，所述旋转器右端与光刻探头左端为一体化结构，所述旋转器左端与调节竖杆上端为活动连接，旋转器为可旋转且可升降结构，便于调节光刻探头；所述置物座由主框架、固定旋杆、螺纹座、稳定光聚装置、滑轨组成，所述主框架外壁与螺纹座外壁相焊接，所述稳定光聚装置底部与滑轨内部为活动连接，所述固定旋杆右端与稳定光聚装置底部相贴合，所述固定旋杆中端与螺纹座内壁为螺纹连接，所述稳定光聚装置顶部与主框架上端相贯通，固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽，两者相互配合用于固定稳定光聚装置。显著的，所述稳定光聚装置由聚光扣、定位夹、支撑板、滑块组成，所述聚光扣底部与支撑板顶部固定连接，所述支撑板中端与定位夹外壁为机械连接，所述支撑板底部与滑块顶部相焊接，所述支撑板与滑块顶部相互垂直，聚光扣底部与支撑板通过螺丝连接，以此为基点，在形变后，便于恢复原样。显著的，所述稳定光聚装置底部与滑轨内部相连接，所述稳定光聚装置设有滑块，所述滑块底部与滑轨内部相贴合。显著的，所述聚光扣由扣环、固定块、形变板组成，所述扣环外壁与固定块内壁为一体化结构，所述固定块外壁与形变板上端固定链接，所述形变板底部与支撑板顶部通过螺丝固定连接，扣环共有四个，且相互配合围绕光刻探头扣紧。显著的，所述定位夹由固定翘板、压块、通孔、弹簧、定位块组成，所述固定翘板顶部与压块底部相贴合，所述压块右端与定位块左端相连接，所述定位块中端与弹簧做单为嵌入式连接，所述通孔外壁与支撑板上端相贯通，所述通孔外壁与支撑板内壁为卡槽连接，通孔上设有过滤网层，防止在雕刻时外部杂物通过通孔进入。有益效果在进行使用时，将套刻板放置在置物座顶部，通过移动滑轨上的支撑板，紧贴套刻板，同时旋转固定旋杆，固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽，两者相互配合用于固定稳定光聚装置，固定旋杆旋转紧贴滑块，用于滑块与滑轨之间的侧向固定，再将材料板放置进去，同时往上拨动固定翘板，并压紧压块，使定位块克服弹簧往右划出，压紧材料板和套板，此时松开固定翘板，使其与压块契合稳定，防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位，旋转器为可旋转且可升降结构，便于调节光刻探头，光刻探头为激光探头，转动旋转器使光刻探头垂直朝下，同时扣环共有四个，且相互配合围绕光刻探头扣紧，同时形变板之间相互贴合，配合支撑板形成一个小空间，使光刻探头在雕刻时，防止光源涣散，提高效率。相较于现有技术，本专利技术存在以下优点：1、固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽，两者相互配合用于固定稳定光聚装置，同时使定位块压紧材料板和套板，并固定翘板与压块契合稳定，防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位，进而减小套刻误差。2、扣环共有四个，且相互配合围绕光刻探头扣紧，同时形变板之间相互贴合，配合支撑板形成一个小空间，使光刻探头在雕刻时，防止光源涣散，提高效率。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置的结构示意图；图2为本专利技术置物座的正视剖面图；图3为本专利技术置物座的俯视剖面图；图4为本专利技术稳定光聚装置的正视剖面图；图5为本专利技术图4中聚光扣的放大图；图6为本专利技术聚光扣的动作图；图7为本专利技术图4中定位夹的放大图。图中：调节竖杆-1、旋转器-2、光刻探头-3、置物座-4、底座-5、支撑杆-6、主框架-41、固定旋杆-42、螺纹座-43、稳定光聚装置-44、滑轨-45、聚光扣-441、定位夹-442、支撑板-443、滑块-444、扣环-4411、固定块-4412、形变板-4413、固定翘板-4421、压块-4422、通孔-4423、弹簧-4424、定位块-4425。具体实施方式为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。请参阅图1，本专利技术提供一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置技术方案：其结构包括调节竖杆1、旋转器2、光刻探头3、置物座4、底座5、支撑杆6，所述调节竖杆1底部与底座5后端固定连接，所述调节竖杆1与底座5顶部相互垂直，所述置物座4底部与底座5顶部固定连接，所述底座5底部与支撑杆6顶部为螺纹连接，所述支撑杆6顶部与底座5底部为垂直连接，所述旋转器2右端与光刻探头3左端为一体化结构，所述旋转器2左端与调节竖杆1上端为活动连接，旋转器2为可旋转且可升降结构，便于调节光刻探头3，光刻探头3为激光探头，故此为激光套刻；请参阅图2-图3，所述置物座4由主框架41、固定旋杆42、螺纹座43、稳定光聚装置44、滑轨45组成，所述主框架41外壁与螺纹座43外壁相焊接，所述稳定光聚装置44底部与滑轨45内部为活动连接，所述固定旋杆42右端与稳定光聚装置44底部相贴合，所述固定旋杆42中端与螺纹座43内壁为螺纹连接，所述稳定光聚装置44顶部与主框架41上端相贯通，固定旋杆42与螺纹座43带有螺纹槽，两者相互配合用于固定稳定光聚装置44，固定旋杆42旋转紧贴滑块444，用于滑块444与滑轨45之间的侧向固定。请参阅图4，所述稳定光聚装置44由聚光扣441、定位夹442、支撑板443、滑块444组成，所述聚光扣441底部与支撑板443顶部固定连接，所述支撑板443中端与定位夹442外壁为机械连接，所述支撑板443底部与滑块444顶部相焊接，所述支撑板443与滑块444顶部相互垂直，聚光扣441底部与支撑板443通过螺丝连接，以此为基点，在形变后，便于恢复原样。所述稳定光聚装置44底部与滑轨45内部相连接，所述稳定光聚装置44设有滑块444，所述滑块444底部与滑轨45内部相贴合。请参阅图5-图6，所述聚光扣441由扣环4411、固定块4412、形变板4413组成，所述扣环4411外壁与固定块441本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，其结构包括调节竖杆(1)、旋转器(2)、光刻探头(3)、置物座(4)、底座(5)、支撑杆(6)，其特征在于：所述调节竖杆(1)底部与底座(5)后端固定连接，所述调节竖杆(1)与底座(5)顶部相互垂直，所述置物座(4)底部与底座(5)顶部固定连接，所述底座(5)底部与支撑杆(6)顶部为螺纹连接，所述支撑杆(6)顶部与底座(5)底部为垂直连接，所述旋转器(2)右端与光刻探头(3)左端为一体化结构，所述旋转器(2)左端与调节竖杆(1)上端为活动连接；所述置物座(4)由主框架(41)、固定旋杆(42)、螺纹座(43)、稳定光聚装置(44)、滑轨(45)组成，所述主框架(41)外壁与螺纹座(43)外壁相焊接，所述稳定光聚装置(44)底部与滑轨(45)内部为活动连接，所述固定旋杆(42)右端与稳定光聚装置(44)底部相贴合，所述固定旋杆(42)中端与螺纹座(43)内壁为螺纹连接，所述稳定光聚装置(44)顶部与主框架(41)上端相贯通。

【技术特征摘要】
1.一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，其结构包括调节竖杆(1)、旋转器(2)、光刻探头(3)、置物座(4)、底座(5)、支撑杆(6)，其特征在于：所述调节竖杆(1)底部与底座(5)后端固定连接，所述调节竖杆(1)与底座(5)顶部相互垂直，所述置物座(4)底部与底座(5)顶部固定连接，所述底座(5)底部与支撑杆(6)顶部为螺纹连接，所述支撑杆(6)顶部与底座(5)底部为垂直连接，所述旋转器(2)右端与光刻探头(3)左端为一体化结构，所述旋转器(2)左端与调节竖杆(1)上端为活动连接；所述置物座(4)由主框架(41)、固定旋杆(42)、螺纹座(43)、稳定光聚装置(44)、滑轨(45)组成，所述主框架(41)外壁与螺纹座(43)外壁相焊接，所述稳定光聚装置(44)底部与滑轨(45)内部为活动连接，所述固定旋杆(42)右端与稳定光聚装置(44)底部相贴合，所述固定旋杆(42)中端与螺纹座(43)内壁为螺纹连接，所述稳定光聚装置(44)顶部与主框架(41)上端相贯通。2.根据权利要求1所述的一种基于形变防止光散配合四面夹块的套刻测量装置，其特征在于：所述稳定光聚装置(44)由聚光扣(441)、定位夹(442)、支撑板(443)、滑块(444)组成，所述聚光扣(441)底部与支撑板(443)顶部固定连接，所述支撑板(443)中端与定位夹(442)外壁为机械连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志护，
申请(专利权)人：李志护，
类型：发明
国别省市：福建,35