The invention discloses a method for recovering waste liquid from sapphire substrate polishing process, which refers to copper polishing process on sapphire substrate. In this implementation, a method for recovering the waste liquor from sapphire substrate polishing process is provided, which includes a first-level natural precipitation unit for preliminary precipitation of large diamonds, copper disc metal chips and sapphire processing chips in the waste liquor, a second-level filter unit for filtering the residual processing waste liquor particles by means of filtration, and a third-level metal ion adsorption unit for absorption and final dissolution in the waste liquor. Or copper atoms and ions suspended in waste liquor; first, the final discharge Department ensures that the copper metal discharge from waste liquor meets the recycling method of environmental protection regulations and standards. This recycling method of polishing waste liquor meets the emission standards of environmental protection regulations with the lowest cost and the highest efficiency. At the same time, it also reduces the treatment cost of processing waste liquor and greatly saves the manufacturing cost of sapphire substrates.
【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法
本专利技术属于蓝宝石衬底片加工
,尤其是涉及一种蓝宝石衬底片加工废液之回收方法
技术介绍
随着第三代半导体材料氮化镓物的突破,LED照明产业凭借其在节能降耗领域的性能优势,迎来黄金发展期,市场规模正在急剧扩大。随着技术的进步,从2015年开始,国内外市场主流制作高亮蓝光LED的衬底均选用4英寸蓝宝石平片或图形化蓝宝石衬底(PSS)。为了提高图形化产品一致性和整体合格率,目前正向较大尺寸的4英寸蓝宝石衬底片方向发展,衬底片加工是LED全产业链中一个非常重要的环节,也是外延客户的重要原材料,占外延成本达30%以上,然而,蓝宝石衬底的加工过程中,会产生许多研磨与抛光加工废材与废液,必须进行回收处理,但直接回收成本较高,而且若直接排放又对影响环境很大;因此,如何针对加工废材与废液进行回收,是各厂家节省成本与绿色环保议题的重要研究项目。传统的蓝宝石衬底铜抛抛光制程主要以钻石抛光液与铜盘面进行抛光加工,产生的废液都以直接收集方式收集废液后,交由专门的回收厂家进行回收处理,由于没有经过任何处理,导致废液体积量大且内含多种成份,回收处理困难,成本也较高。因此,本专利提出一种蓝宝抛光加工废液之回收方法,可将废液中的钻石颗粒,铜盘金属屑,蓝宝石加工屑等固体分离,并且也将废液中内含的金属铜离子成份吸附,达成可以直接排放废液的回收方法;此方法可将废液中的固体与液体成份分离,除了将回收废液体积大大的降低,减少回收处理的成本外,也可将处理后的废液直接排放,符合绿色产业与环保的重要课题。
技术实现思路
针对现有的蓝宝石抛光加工废液回收的问题,本 ...
【技术保护点】
1.一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法:包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑;一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒;一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中之铜金属原子与离子;一最终排放部。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法:包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑;一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒;一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中之铜金属原子与离子;一最终排放部。2.根据权利要求1所述的第一级自然沉淀部,其特征在于:铜抛加工废液直接排入后,加工废液中的大颗粒钻石颗粒,铜盘金属屑,蓝宝石加工屑经由重力自然沉淀,沉淀后...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐良,阳明益,占俊杰,蓝文安,刘建哲,余雅俊,
申请(专利权)人:浙江博蓝特半导体科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。