扫描型探针显微镜用数据处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术为一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其对通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的、表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，其具备：特征量算出部(41)，其根据各测定点上的两轴数据来求1种至多种特征量；特征量选择部(42)，其让使用者选择特征量中的1种；二维映射图像显示部(43)，其根据使用者对特征量的选择而画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及两轴数据显示部(44)，当二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的两轴数据进行画面显示。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】扫描型探针显微镜用数据处理装置
本专利技术涉及一种用于对在扫描型探针显微镜中利用探针扫描试样表面获取到的、该试样表面的多个测定点上的探针与试样表面之间发生的相互作用的数据进行解析的扫描型探针显微镜用数据处理装置，尤其涉及一种对力曲线等表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行解析的装置。
技术介绍
在扫描型探针显微镜(SPM：ScanningProbeMicroscope)中，使微小的探针(Probe)的顶端靠近试样表面，利用该探针扫描试样表面来获取该探针与试样之间的力学相互作用、电磁相互作用等相关的数据。获取到的数据被导入至扫描型探针显微镜用的数据处理装置而供试样表面的形状、电特性的分布等的解析。由扫描型探针显微镜获得的数据之一有称为力曲线的数据(图1)。力曲线是在试样表面的多个测定点中的各方获取的数据，由使探针靠近试样表面来获取数据的靠近线和使探针远离试样表面来获取数据的释放线构成。下面，对靠近线及释放线进行说明。在获取靠近线的数据时，从使安装在作为弹性支承体的悬臂的顶端侧的探针位于试样表面的测定点的铅垂上方的状态起，使悬臂的基部朝试样表面不断靠近。此时，可使悬臂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其特征在于，所述扫描型探针显微镜用数据处理装置对表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，该两轴数据是通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的，所述扫描型探针显微镜用数据处理装置具备：a)特征量算出部，其根据所述多个测定点中的各方的所述两轴数据来求出1种至多种特征量；b)特征量选择部，其让使用者选择所述1种至多种特征量中的1种；c)二维映射图像显示部，其根据所述使用者对所述特征量的选择，将所述多个测定点中的各方的特征量画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及d)两轴数据显示部，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其特征在于，所述扫描型探针显微镜用数据处理装置对表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，该两轴数据是通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的，所述扫描型探针显微镜用数据处理装置具备：a)特征量算出部，其根据所述多个测定点中的各方的所述两轴数据来求出1种至多种特征量；b)特征量选择部，其让使用者选择所述1种至多种特征量中的1种；c)二维映射图像显示部，其根据所述使用者对所述特征量的选择，将所述多个测定点中的各方的特征量画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及d)两轴数据显示部，当所述二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎贤治，小暮亮雅，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP