流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置
本专利技术涉及流体设备集成化了的流体控制装置、使用于该流体控制装置的接头块体、流体设备、以及利用该流体控制装置进行的半导体装置等的制造方法。
技术介绍
例如，作为为了向半导体制造装置等的腔室供给各种工艺气体而使用的流体控制装置，公知有在下述引用文献1、2等中公开的装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-206700号公报专利文献2：日本特开2015-175502号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在上述那样的流体控制装置的领域中，工艺气体的供给控制要求较高的响应性，因此，需要使流体控制装置尽可能小型化、集成化，并设置在距流体的供给目标即腔室更近的位置。此外，半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化有所发展，与此相应地，也需要增加从流体控制装置向腔室内供给的流体的供给流量。若仅使流体控制装置小型化，则流体流路的截面积也变小，供给流量也会减少。并且，若使流体控制装置小型化、集成化，则组装变得困难，组装工时增多。此外，装置的维护性也下降。本专利技术的一个目的在于提供在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化的流体控制装置。本专利技术的另一目的在于提供能够大幅度削减组装工时、还能够改善维护性能的流体控制装置。用于解决问题的方案本专利技术的流体控制装置具有：接头块体，其划定有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并且划定出流体流路，该接头块体在所述底面侧具有卡合部；支承构件，其具有沿长度方向以直线状延伸的引导部，所述接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及流体设备，其借助所述接头块体支承于所述支承构件，该流体控制装置的特征在于，所述接头块体的流体流路包括：第1流路，其从所述上表面向底面侧延伸，并且具有在所述上表面开口的流路口；以及第2流路，其在所述接头块体的内部沿长度方向以直线状延伸，并与所述第1流路相连接，所述引导部容许所述接头块体沿长度方向移动，并且将该接头块体约束在所述支承构件上，所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面侧开口的至少两个流路口，所述接头块体具有在所述上表面开口并向所述底面侧延伸的螺纹孔，贯穿所述主体的紧固螺栓螺纹结合于该螺纹孔，在互相对接的所述接头块体的流路口与所述主体的一个流路口的周围配置的密封构件在所述紧固螺栓的紧固力的作用下，在所述主体与所述接头块体之间被施压，所述螺纹孔的顶端部在所述第2流路的上方封闭，并且在俯视时所述螺纹孔的至少一部分与所述第2流路重合。本专利技术的接头块体划定有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并且划定出流体流路，该接头块体的特征在于，所述接头块体的流体流路包括：两条第1流路，它们在长度方向上间隔开的位置从所述上表面向底面侧延伸，并且具有在所述上表面开口的流路口；以及第2流路，其在所述接头块体的内部沿长度方向以直线状延伸，并与所述两条第1流路相连接，该接头块体在所述底面侧具有能够与其他构件卡合的卡合部，能够分别与其他构件相连结的两个螺纹孔从所述上表面朝向底面侧地形成，该两个螺纹孔在长度方向上配置在两个所述流路口之间，所述两个螺纹孔的顶端部在所述第2流路的上方封闭，并且在俯视时所述两个螺纹孔的至少一部分与所述第2流路重合。本专利技术的流体设备包括开闭阀、调节器、压力计以及质量流量控制器中的至少任一者，该流体设备的特征在于，该流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有至少两个在其底面侧开口的流路口，该流体设备还具有接头块体，该接头块体划定有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并且划定出流体流路，所述接头块体的流体流路包括：第1流路，其在长度方向上间隔开的位置从所述上表面向底面侧延伸，并且具有在所述上表面开口的流路口；以及第2流路，其在所述接头块体的内部沿长度方向以直线状延伸并与所述垂直流路相连接，所述接头块体在所述底面侧具有能够与其他构件卡合的卡合部，所述接头块体具有在所述上表面侧开口并向所述底面侧延伸的螺纹孔，贯穿所述主体的紧固螺栓螺纹结合于该螺纹孔，在互相对接的所述接头块体的流路口与所述主体的一个流路口的周围配置的密封构件在所述紧固螺栓的紧固力的作用下，在所述主体与所述接头块体之间被压缩，所述螺纹孔的顶端部在所述第2流路的上方封闭，并且在俯视时所述螺纹孔的至少一部分与所述第2流路重合。专利技术的效果根据本专利技术，通过使接头块体的卡合部卡合于支承构件的引导部而约束在支承构件上，从而不需要接头块体与支承构件之间的使用螺栓进行的连结作业，能够大幅度削减组装工时。此外，利用彼此独立的接头块体将多个流体设备之间连结起来，接头块体的底面侧不固定于支承构件，因此，流体流路的变更变得容易，维护性也进一步提高。根据本专利技术，没有将应该形成于接头块体的供紧固螺栓拧入的螺纹孔配置在密封构件的四周侧或两侧，而是相对于密封构件仅设于一侧，从而能够大幅度削减紧固螺栓的数量和占有面积。根据本专利技术，将应该形成于接头块体的螺纹孔配置于在俯视时与水平流路重合的位置，因此，能够进一步缩小紧固螺栓的占有面积，尤其是能够大幅度地缩窄接头块体的宽度。根据本专利技术，通过使接头块体的水平流路的配置位置偏靠于底面侧，能够确保流路截面积，因此，不减少流体的供给流量就可以实现本专利技术。根据本专利技术，在流体设备、接头块体发生了故障的情况下，仅更换发生了故障的流体设备、接头块体即可，因此维护性得到大幅度改善。根据本专利技术，能够整体上使流体控制装置大幅度地小型化、集成化，因此，能够使流体控制装置尽可能地靠近处理腔室的附近，其结果是，能够提高流体控制的响应性。附图说明图1A是本专利技术的一实施方式的流体控制装置的外观立体图。图1B是图1A的流体控制装置的俯视图。图1C是图1A的流体控制装置的后视图。图2A是提取出图1A的流体控制装置的一部分所得到的组装体的外观立体图。图2B是图2A的组装体的侧视图。图2C是沿图2B的IIC-IIC线剖切得到的局部剖视图。图3A是导轨构件的外观立体图。图3B是图3A的导轨构件的俯视图。图3C是图3A的导轨构件的主视图。图3D是图3A的导轨构件的侧视图。图4A是接头块体的外观立体图。图4B是图4A的接头块体的俯视图。图4C是沿图4B的虚拟中央平面CP2剖切得到的剖视图。图4D是图4B的接头块体的左视图。图4E是图4B的接头块体的右视图。图5A是开闭阀的立体图。图5B是图5A的开闭阀的主体的仰视图。图5C是图5A的开闭阀的主体的局部剖视图。图6A是垫片的外观立体图。图6B是垫片的俯视图。图6C是垫片的剖视图。图7A是紧固螺栓的立体图。图7B是表示紧固螺栓的头部的俯视图。图8A是不使用导轨构件地配置在基准面上的紧固前的状态的组装体的示意图。图8B是表示利用紧固螺栓将图8A的组装体紧固了的状态的示意图。图8C是表示使用导轨构件并利用紧固螺栓将组装体紧固了的状态的示意图。图9A是表示在紧固螺栓的紧固之前会发生的接头块体的错位的一例的示意图。图9B是表示在紧固螺栓的紧固之前会发生的接头块体的错位的另一例子的示意图。图10是用于说明由紧固螺栓的紧固引起的排列机构的动作的示意图。图11A是表示卡合部和引导部的变形的一例的示意图。图11B是表示卡合部和引导部的变形的另一例子的示意图。图11C是表示卡本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其具有：接头块体，其划定有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并且划定出流体流路，该接头块体在所述底面侧具有卡合部；支承构件，其具有沿长度方向以直线状延伸的引导部，所述接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及流体设备，其借助所述接头块体支承于所述支承构件，该流体控制装置的特征在于，所述接头块体的流体流路包括：第1流路，其从所述上表面向底面侧延伸，并且具有在所述上表面开口的流路口；以及第2流路，其在所述接头块体的内部沿长度方向延伸，并与所述第1流路相连接，所述引导部容许所述接头块体沿长度方向移动，并且将该接头块体约束在所述支承构件上，所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面侧开口的至少两个流路口，所述接头块体具有在所述上表面开口并向所述底面侧延伸的螺纹孔，贯穿所述主体的紧固螺栓螺纹结合于该螺纹孔，在互相对接的所述接头块体的流路口与所述主体的一个流路口的周围配置的密封构件在所述紧固螺栓的紧固力的作用下，在所述主体与所述接头块体之间被施压，所述螺纹孔的顶端部在所述第2流路的上方封闭，并且在俯视时所述螺纹孔的至少一部分与所述第2流路重合。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.21 JP 2016-1230071.一种流体控制装置，其具有：接头块体，其划定有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并且划定出流体流路，该接头块体在所述底面侧具有卡合部；支承构件，其具有沿长度方向以直线状延伸的引导部，所述接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及流体设备，其借助所述接头块体支承于所述支承构件，该流体控制装置的特征在于，所述接头块体的流体流路包括：第1流路，其从所述上表面向底面侧延伸，并且具有在所述上表面开口的流路口；以及第2流路，其在所述接头块体的内部沿长度方向延伸，并与所述第1流路相连接，所述引导部容许所述接头块体沿长度方向移动，并且将该接头块体约束在所述支承构件上，所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面侧开口的至少两个流路口，所述接头块体具有在所述上表面开口并向所述底面侧延伸的螺纹孔，贯穿所述主体的紧固螺栓螺纹结合于该螺纹孔，在互相对接的所述接头块体的流路口与所述主体的一个流路口的周围配置的密封构件在所述紧固螺栓的紧固力的作用下，在所述主体与所述接头块体之间被施压，所述螺纹孔的顶端部在所述第2流路的上方封闭，并且在俯视时所述螺纹孔的至少一部分与所述第2流路重合。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第2流路形成于在所述接头块体的上表面与底面之间偏靠于底面侧的位置。3.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第1流路相对于所述接头块体的上表面垂直地形成。4.根据权利要求1～3中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，所述接头块体具有相对于所述上表面正交的4个侧面，该4个侧面中的相邻的两个侧面互相正交，所述第2流路由与所述4个侧面中在长度方向上相对的两个侧面中的一个侧面垂直地形成的孔构成，该孔的开口被封闭构件密封。5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，所述支承构件具有一条所述引导部，所述支承构件的与长度方向正交的方向上的宽度尺寸同所述接头块体的与长度方向正交的方向上的宽度相匹配。6.根据权利要求1～5中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，所述接头块体利用单一的所述紧固螺栓连结于所述主体。7.根据权利要求1～6中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，所述第1流路具有分别与所述第2流路相连接并形成于在长度方向上彼此间隔开的位置的两条第1流路，所述螺纹孔在长度方向上位于两条第1流路的在所述上表面开口的两个流路口之间。8.根据权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，所述接头块体具有用于与其他流体设备的主体相连结的其他的螺纹孔，所述其他的螺纹孔位于两条第1流路的在所述上表面开口的两个流路口之间。9.一种接头块体，其划定有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并且划定出流体流路，该接头块体的特征在于，所述接头块体的流体流路包括：两条第1流路，它们在长度方向上间隔开的位置从所述上表面向底面侧延伸，并且具有在所述上表面开口的流路口；以及第2流路，其在所述接头块体的内部沿长度方向以直线状延伸，并与所述两条第1流路相连接，该接头块体在所述底面侧具有能够与其他构件卡合的卡合部，能够分别与其他构件相连结的两个螺纹孔从所述上表面朝向底面侧地形成，该两个螺纹孔在长度方向上配置在两个所述流路口之间，所述两个螺纹孔的顶端部在所述第2流路的上方封闭，并且在俯视时所述两个螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：相川献治，篠原努，中川一，松田隆博，原田章弘，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP