一种柔性显示装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种柔性显示装置，包括柔性衬底，柔性衬底上依次层叠设置有有源层、栅极绝缘层、栅极金属层、层间绝缘层、第二金属层、平坦层以及发光层和封装层；其中，栅极绝缘层覆盖有源层，层间绝缘层覆盖栅极金属层，平坦层覆盖层间绝缘层以及所述第二金属层；其中，层间绝缘层上开设有多条沟道，沟道两端向层间绝缘层边缘延伸以贯穿层间绝缘层。在保证层间绝缘层良好的绝缘特性和氢化功能的前提下，使沟道成为显示装置弯曲时形变发生的主要区域，而由于沟道底部的无机膜层厚度较小，因此可承受更大的弯曲应力，提高了显示装置在弯曲应力下的可靠性，同时防止层间绝缘层在弯曲应力下产生裂纹及裂纹扩展导致薄膜晶体管器件的失效。

A flexible display device and its preparation method

The invention provides a flexible display device, which comprises a flexible substrate, on which an active layer, a gate insulating layer, a gate metal layer, an interlayer insulating layer, a second metal layer, a flat layer, a light emitting layer and a packaging layer are arranged in turn; in which the gate insulating layer covers an active layer, an interlayer insulating layer covers a gate metal layer, an interlayer insulating layer covers an interlayer insulating layer, and the said said layer. The interlayer insulating layer has a plurality of channels, and the ends of the channels extend to the edge of the interlayer insulating layer to penetrate the interlayer insulating layer. On the premise of guaranteeing good insulating property and hydrogenation function of the interlayer insulation layer, the channel becomes the main area where deformation occurs when the display device bends. Because the inorganic film layer at the bottom of the channel is smaller, it can bear larger bending stress, improve the reliability of the display device under bending stress, and prevent cracks and cracks in the interlayer insulation layer under bending stress. Stripe expansion leads to the failure of thin film transistor devices.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性显示装置及其制备方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性显示装置及其制备方法。
技术介绍
柔性显示装置是一种基于柔性基底材料形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此，在便携产品、多数显示应用领域，柔性显示装置具有广阔的应用前景以及良好的市场潜力。柔性显示技术的出现对柔性背板提出了挑战。柔性显示背板要求所有的功能膜层具有较高的柔性和可靠性。目前，由于材料和工艺的限制，柔性显示器件的柔性背板仍然采用金属和无机的功能膜层来制备。而在传统的柔性背板结构中，存在较厚的层间绝缘层，起到如下作用：一、屏蔽金属走线间的信号干扰；二、高温氢化工艺中，提供氢原子修补主动层的缺陷。为了保证良好的绝缘特性和补氢效果，一般要求层间绝缘层具有一定的厚度，而显示装置产生弯曲时，较厚的层间绝缘层在弯曲应力下易产生裂纹及裂纹扩展，从而导致薄膜晶体管器件的失效。
技术实现思路
本专利技术提供一种柔性显示装置，以解决现有的柔性显示装置中，显示装置产生弯曲时，较厚的层间绝缘层在弯曲应力下易产生裂纹及裂纹扩展，从而导致薄膜晶体管器件失效的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种柔性显示装置，包括：柔性衬底；设置于所述柔性衬底表面的有源层；设置于所述柔性衬底上且覆盖所述有源层的栅极绝缘层；设置于所述栅极绝缘层上的栅极金属层；设置于所述栅极绝缘层上且覆盖所述栅极金属层的层间绝缘层；设置于所述层间绝缘层上的第二金属层；设置于所述栅极绝缘层且覆盖所述层间绝缘层和所述第二金属层的平坦层；设置于所述平坦层上的发光层和封装层；其中，所述层间绝缘层上开设有多条沟道，所述沟道两端向所述层间绝缘层边缘延伸以贯穿层间绝缘层，位于所述第二金属层下方的层间绝缘层在竖向上的投影包纳所述第二金属层在竖向上的投影。优选的，所述沟道深度不小于所述层间绝缘层厚度。优选的，所述沟道将层间绝缘层分割为多条绝缘隔道，所述绝缘隔道的纵截面呈正梯形。优选的，所述第二金属层包括多条源漏金属走线，所述绝缘隔道与所述源漏金属走线一一对应。优选的，所述柔性衬底包括第一柔性基板，以及依次层叠设置在第一柔性基板上的第一阻隔层、第二柔性基板和第二阻隔层。本专利技术还提供一种柔性显示装置的制备方法，包括：S10、在承载基板上形成柔性衬底；S20、在所述柔性衬底上形成图形化的有源层；S20、在所述柔性衬底上形成覆盖所述有源层的栅极绝缘层；S40、在所述栅极绝缘层上形成栅极金属层；S50、在所述栅极绝缘层上形成覆盖所述栅极金属层的层间绝缘层；S60、在所述层间绝缘层上形成图案化的第二金属层；S70、通过蚀刻工艺在所述层间绝缘层上形成沟道；S80、在第二金属层上形成覆盖第二金属层和层间绝缘层的平坦层；S90、在所述平坦层上形成发光层和封装层。优选的，在步骤S50中，形成层间绝缘层时，并形成金属电极过孔。优选的，所述S60包括：S61、在所述层间绝缘层上形成第二金属层；S62、在所述第二金属层上涂布光刻胶层，对光刻胶层进行曝光、显影，以形成图案化的光刻胶层；S63、对第二金属层进行蚀刻，形成图案化的第二金属层。优选的，在步骤S70中，通过蚀刻层间绝缘层形成沟道时，利用源漏金属走线作为第一层掩膜板。优选的，在步骤S63中，第二金属层蚀刻完成后，保留位于源漏金属走线上的光刻胶，利用光刻胶作为蚀刻层间绝缘层的第二层掩膜板。本专利技术的有益效果为：采用图形化的层间绝缘层取代现有的整面性的膜层结构，使沟道成为面板弯曲时形变发生的主要区域，提高显示装置在弯曲应力下的可靠性，同时防止层间绝缘层在弯曲应力下产生裂纹及裂纹扩展导致薄膜晶体管器件的失效。同时利用源漏金属走线作为层间绝缘层和光刻胶的蚀刻掩膜板，无需增加光罩即可得到与源漏金属走线一一对应的绝缘隔道，使沟道可以更好的形成弯曲应力集中区的同时，降低生产成本。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术具体实施方式中柔性显示装置的结构示意图；图2为本专利技术具体实施方式中柔性显示装置的制备流程示意图；图3为本专利技术具体实施方式中柔性衬底的形成示意图；图4为本专利技术具体实施方式中图形化的有源层的形成示意图；图5为本专利技术具体实施方式中栅极绝缘层觉栅极金属层的形成示意图；图6为本专利技术具体实施方式中层间绝缘层的形成示意图；图7为本专利技术具体实施方式中图案化的第二金属层的形成示意图；图8为本专利技术具体实施方式中沟道的形成示意图；图9为本专利技术具体实施方式中柔性显示装置的形成示意图。附图标记：10、承载基板；20、柔性衬底；21、第一柔性基板；22、第一阻隔层；23、第二柔性基板；24、第二阻隔层；30、有源层；40、栅极绝缘层；50、栅极金属层；60、层间绝缘层；61、沟道；62、绝缘隔道；63、金属电极过孔；70、源漏金属走线；80、平坦层；90、发光层；101、主动层；102、光刻胶。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术针对现有的柔性显示装置，为了保证良好的绝缘特性和补氢效果，一般要求层间绝缘层具有一定的厚度，而较厚的层间绝缘层在弯曲应力下易产生裂纹及裂纹扩展，从而导致薄膜晶体管器件失效的技术问题，本实施例能够解决该缺陷。一种柔性显示装置，如图1所示，所述柔性显示装置包括柔性衬底20，所述柔性衬底20上依次层叠设置有有源层30、栅极绝缘层40、栅极金属层50、层间绝缘层60、第二金属层、平坦层80以及发光层90和封装层，其中，所述第二金属层至少用作源漏极讯号走线；其中，所述栅极绝缘层40覆盖所述有源层30，所述层间绝缘层60覆盖所述栅极金属层50，所述平坦层80覆盖所述层间绝缘层60以及所述第二金属层。其中，所述层间绝缘层60上开设有多条沟道61，所述沟道61两端向所述层间绝缘层60边缘延伸以贯穿层间绝缘层60，位于所述第二金属层下方的层间绝缘层60在竖向上的投影包纳所述第二金属层在竖向上的投影。通过层间绝缘层60覆盖栅极金属层50，从而隔绝栅极金属走线与源漏金属走线70，起到绝缘作用，避免金属走线间的信号干扰，同时在高温氢化工艺中，通过层间绝缘层60提供氢原子修补主动层101的缺陷；在保证层间绝缘层60良好的绝缘特性和氢化功能的前提下，采用图形化的层间绝缘层60取代现有的整面性的膜层结构，使沟道61成为显示装置弯曲时形变发生的主要区域，而由于沟道61底部的无机膜层厚度较小，因此可承受更大的弯曲应力，提高了显示装置在弯曲应力下的可靠性，同时防止层间绝缘层60在弯曲应力下产生裂纹及裂纹扩展导致薄膜晶体管器件的失效。需要说明的是，层间绝缘层60可以为单层结构，也可以为多层叠层结构，由SiOx、SiNx、Al2O3等无机材料制成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置包括：柔性衬底；设置于所述柔性衬底表面的有源层；设置于所述柔性衬底上且覆盖所述有源层的栅极绝缘层；设置于所述栅极绝缘层上的栅极金属层；设置于所述栅极绝缘层上且覆盖所述栅极金属层的层间绝缘层；设置于所述层间绝缘层上的第二金属层；设置于所述栅极绝缘层且覆盖所述层间绝缘层和所述第二金属层的平坦层；设置于所述平坦层上的发光层和封装层；其中，所述层间绝缘层上开设有多条沟道，所述沟道两端向所述层间绝缘层边缘延伸以贯穿所述层间绝缘层；位于所述第二金属层下方的层间绝缘层在竖向上的投影包纳所述第二金属层在竖向上的投影。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置包括：柔性衬底；设置于所述柔性衬底表面的有源层；设置于所述柔性衬底上且覆盖所述有源层的栅极绝缘层；设置于所述栅极绝缘层上的栅极金属层；设置于所述栅极绝缘层上且覆盖所述栅极金属层的层间绝缘层；设置于所述层间绝缘层上的第二金属层；设置于所述栅极绝缘层且覆盖所述层间绝缘层和所述第二金属层的平坦层；设置于所述平坦层上的发光层和封装层；其中，所述层间绝缘层上开设有多条沟道，所述沟道两端向所述层间绝缘层边缘延伸以贯穿所述层间绝缘层；位于所述第二金属层下方的层间绝缘层在竖向上的投影包纳所述第二金属层在竖向上的投影。2.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其特征在于，所述沟道深度不小于所述层间绝缘层厚度。3.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其特征在于，所述沟道将层间绝缘层分割为多条绝缘隔道，所述绝缘隔道的纵截面呈正梯形。4.根据权利要求3所述的柔性显示装置，其特征在于，所述第二金属层包括多条源漏金属走线，所述绝缘隔道与所述源漏金属走线一一对应。5.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其特征在于，所述柔性衬底包括第一柔性基板，以及依次层叠设置在第一柔性基板上的第一阻隔层、第二柔性基板和第二阻隔层。6.一种柔性显示装置的制备方法，其特征在于，所述方法包括：S10、在承载基...

【专利技术属性】
技术研发人员：王威，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42