The purpose is to provide optical scanning equipment, optical receiving equipment and optical detection system. The optical scanning device of the first embodiment includes: the first mirror; the second mirror, opposite to the first mirror; two non-waveguide regions, between the first and second mirrors; the optical waveguide region, between the first and second mirrors and between the two non-waveguide regions; and the first adjusting element; the optical waveguide region and the two non-waveguide regions respectively comprise a common material structure. The optical waveguide region or the two non-waveguide regions respectively contain at least one component having refractive index different from the common material mentioned above; the first mirror will emit part of the above-mentioned light propagating in the optical waveguide region to the outside; the first adjusting element can make the refractive index and thickness of the above-mentioned optical waveguide region change at least one side. The direction of the light emitted varies.
【技术实现步骤摘要】
光扫描设备、光接收设备及光检测系统
本专利技术涉及光扫描设备、光接收设备及光检测系统。
技术介绍
以往，提出了能够用光将空间进行扫描(scan)的各种各样的设备。专利文献1公开了一种能够使用使镜旋转的驱动装置进行光的扫描的结构。专利文献2公开了一种具有二维地排列的多个纳米光学天线元件的光相控阵列。公开了以下技术：各个天线元件与可变光延迟线(即移相器)光学地耦合。在该光相控阵列中，相干光束被波导向各个天线元件引导，由移相器使光束相移。由此，能够使远场辐射图(farfieldradiationpattern)的振幅分布变化。专利文献3公开了一种光偏转元件，具备：波导，具有光在内部进行导波的光波导层和形成在光波导层的上表面及下表面的第1分布布拉格镜；光入射口，使光向波导内入射；以及光射出口，为了使从光入射口入射并在波导内进行导波的光射出而形成在波导的表面。专利文献1：国际公开第2013/168266号专利文献2：日本特表2016－508235号公报专利文献3：日本特开2013－16591号公报
技术实现思路
本专利技术提供一种能够以比较简单的结构实现光的扫描的新的光扫描设备...
【技术保护点】
1.一种光扫描设备，其特征在于，具备：第1镜，具有光透射性；第2镜，与上述第1镜对置；两个非波导区域，在上述第1镜及上述第2镜之间，在与上述第1镜及上述第2镜中的至少一方的反射面平行的第1方向上隔开间隙而排列；光波导区域，位于上述第1镜及上述第2镜之间且位于上述两个非波导区域之间，具有比上述非波导区域的平均折射率高的平均折射率，使光沿着与上述第1镜及上述第2镜中的上述至少一方的反射面平行且与上述第1方向垂直的第2方向传播；以及第1调整元件，使上述光波导区域的折射率及厚度中的至少一方变化；上述光波导区域及上述两个非波导区域各自包括由共同的材料构成的区域；上述光波导区域或上述两...
【技术特征摘要】
2017.07.28 JP 2017-146380;2018.03.28 JP 2018-062161.一种光扫描设备，其特征在于，具备：第1镜，具有光透射性；第2镜，与上述第1镜对置；两个非波导区域，在上述第1镜及上述第2镜之间，在与上述第1镜及上述第2镜中的至少一方的反射面平行的第1方向上隔开间隙而排列；光波导区域，位于上述第1镜及上述第2镜之间且位于上述两个非波导区域之间，具有比上述非波导区域的平均折射率高的平均折射率，使光沿着与上述第1镜及上述第2镜中的上述至少一方的反射面平行且与上述第1方向垂直的第2方向传播；以及第1调整元件，使上述光波导区域的折射率及厚度中的至少一方变化；上述光波导区域及上述两个非波导区域各自包括由共同的材料构成的区域；上述光波导区域或上述两个非波导区域各自还包括具有与上述共同的材料不同的折射率的至少一个部件；上述第1镜具有比上述第2镜高的光透射率，将在上述光波导区域内传播的上述光的一部分从上述光波导区域向第3方向射出，上述第3方向与平行于上述第1方向及上述第2方向的假想的平面交叉；上述第1调整元件通过使上述光波导区域的折射率及厚度中的至少一方变化，使从上述光波导区域射出的光的上述第3方向变化。2.如权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，上述两个非波导区域各自包含上述至少一个部件；上述至少一个部件的折射率比上述共同的材料的折射率低。3.如权利要求2所述的光扫描设备，其特征在于，上述光波导区域包含具有比上述共同的材料的折射率高的折射率的至少一个其他部件。4.如权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，上述光波导区域包含上述至少一个部件；上述至少一个部件的折射率比上述共同的材料的折射率高。5.如权利要求1～4中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，上述共同的材料是空气。6.如权利要求1～5中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，上述第1方向上的上述光波导区域的宽度是3μm以上。7.如权利要求1～6中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，与上述第1方向及上述第2方向垂直的方向上的上述至少一个部件的尺寸大于上述第1镜与上述第2镜之间的距离的0.1倍。8.如权利要求1～7中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，与上述第1方向及上述第2方向垂直的方向上的上述至少一个部件的尺寸大于上述第1镜与上述第2镜之间的距离的0.2倍。9.如权利要求1～8中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，各非波导区域的上述第1方向上的宽度大于上述光波导区域的上述第1方向上的宽度。10.如权利要求1～7中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，与上述第1方向及上述第2方向垂直的方向上的上述至少一个部件的尺寸是上述第1镜与上述第2镜之间的距离的0.2倍以下；各非波导区域的上述第1方向上的宽度大于上述光波导区域的上述第1方向上的宽度。11.如权利要求1～10中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，上述至少一个部件与上述第1镜及上述第2镜中的至少一方相接。12.如权利要求1～11中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，上述光扫描设备还具备两个支承部件，该两个支承部件位于上述第1镜与上述第2镜之间且位于上述两个非波导区域的外侧，将上述第1镜与上述第2镜之间的距离固定。13.如权利要求1～11中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，上述第1调整元件具备与上述第1镜及上述第2镜中的至少一方连接的致动器；上述致动器通过使上述第1镜与上述第2镜之间的距离变化，使上述光波导区域的厚度变化。14.如权利要求13所述的光扫描设备，其特征在于，上述致动器包含压电部件，通过使上述压电部件变形，使上述第1镜与上述第2镜之间的距离变化。15.如权利要求1～12中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，上述共同的材料是液晶；上述第1调整元件具备一对电极，在该一对电极之间夹着上述光波导区域，上述第一调整元件通过向上述一对电极施加电压，使上述光波导区域的折射率变化。16.如权利要求15所述的光扫描设备，其特征在于，在上述第2镜与上述液晶之间、以及上述至少一个部件与上述液晶之间配置有取向膜。17.如权利要求16所述的光扫描设备，其特征在于，在上述光波导区域及上述两个非波导区域各自中，与上述第1方向及上述第2方向垂直的方向上的上述共同的材料存在的区域的厚度是100nm以上。18.如权利要求16或17所述的光扫描设备，其特征在于，上述第1方向上的上述光波导区域的宽度大于与上述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：稻田安寿，桥谷享，平泽拓，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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