一种亚纳秒绿光激光器制造技术

技术编号:20277713 阅读:60 留言:0更新日期:2019-02-02 05:36
本实用新型专利技术提供的一种亚纳秒绿光激光器,包括泵浦源、聚焦耦合系统、激光谐振腔、倍频晶体;所述聚焦耦合系统包括依次连接的泵浦准直透镜、泵浦聚焦透镜和泵浦回光保护镜;所述激光谐振腔内依次设有端泵后腔镜、激光晶体、偏振片、λ/波片、电光调Q开关、谐振腔输出镜;所述泵浦源、泵浦准直透镜、泵浦聚焦透镜和泵浦回光保护镜、端泵后腔镜、激光晶体、偏振片、λ/波片、电光调Q开关、谐振腔输出镜、倍频晶体依次设置于激光器的光轴上。该绿光激光器实现了亚纳秒级的短冲宽绿光激光输出,其脉冲宽度为0.ns,且重复频率在kHz以上,输出激光稳定,光束质量好;该激光器结构设计简单紧凑,系统体积小,成本低,利于模块化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种亚纳秒绿光激光器
本技术涉及固体激光
,特别涉及一种亚纳秒绿光激光器。
技术介绍
近年来,固体激光器得到迅速的发展,绿光激光器越来越受到人们的重视。绿光激光器输出波长短、加工精度高,因此在陶瓷片、玻璃、PCB板、太阳能电池片等材料的切割、钻孔等方面有非常广泛的应用,特别是亚纳秒的绿光激光器在激光微加工、激光探测和显示灯方面有着显著的应用价值。由于端面泵浦技术的发展,我们可以获得高稳定性、高光束质量的1064nm基频光输,然后利用KTP、LBO、BBO等倍频晶体二倍频得到532nm绿激光。普通的绿光激光器输出激光的脉冲宽度基本为十几甚至几十个纳秒,且能量较低,无法实现更短脉冲、更大能量的绿光激光输出,不能满足激光加工的需要,因此如何实现更短的绿光激光输出脉宽成为急需解决的问题。
技术实现思路
技术问题:为了解决现有技术的缺陷,本技术提供了一种亚纳秒绿光激光器。技术方案:本技术提供的一种亚纳秒绿光激光器,包括泵浦源、聚焦耦合系统、激光谐振腔、倍频晶体;所述聚焦耦合系统包括依次连接的泵浦准直透镜、泵浦聚焦透镜和泵浦回光保护镜;所述激光谐振腔内依次设有端泵后腔镜、激光晶体、偏振片、λ/波片、电光调Q开关、谐振腔输出镜;所述泵浦源、泵浦准直透镜、泵浦聚焦透镜和泵浦回光保护镜、端泵后腔镜、激光晶体、偏振片、λ/波片、电光调Q开关、谐振腔输出镜、倍频晶体依次设置于激光器的光轴上。作为改进,所述泵浦源为发光二极管。作为另一种改进,所述激光晶体为掺钕的钒酸钇晶体。作为另一种改进,所述端泵后腔镜一面镀有808nmAR膜,另一面镀有1064nmHR膜和808nmHT膜。作为另一种改进,所述谐振腔输出镜在1064nm的透过率为T=60%。作为另一种改进,所述偏振片与激光器的光轴成布儒斯特角。作为另一种改进,所述电光调Q开关为RTP、BBO、LN或DKDP。作为另一种改进,所述倍频晶体为LBO。有益效果:本技术提供的绿光激光器实现了亚纳秒级的短冲宽绿光激光输出,其脉冲宽度为0.5ns,且重复频率在1kHz以上,输出激光稳定,光束质量好;该激光器结构设计简单紧凑,系统体积小,成本低,利于模块化生产,可为激光探测、激光显示、激光微加工、生物化学、污染监测等行业应用提供了解决方案。附图说明图1为本技术亚纳秒绿光激光器的结构示意图。具体实施方式下面对本技术亚纳秒绿光激光器作出进一步说明。本技术中:RTP表示:磷酸钛氧铷晶体;BBO表示:偏硼酸钡晶体;LN表示:铌酸锂晶体;DKDP表示:氛化磷酸二氢钾晶体;LBO表示:三硼酸锂晶体;掺钕的钒酸钇晶体购自:福建福晶科技股份有限公司。亚纳秒绿光激光器,包括泵浦源1、聚焦耦合系统2、激光谐振腔3、倍频晶体4;所述聚焦耦合系统2包括依次连接的泵浦准直透镜21、泵浦聚焦透镜22和泵浦回光保护镜23;所述激光谐振腔3内依次设有端泵后腔镜31、激光晶体32、偏振片33、λ/4波片34、电光调Q开关35、谐振腔输出镜36;所述泵浦源1、泵浦准直透镜21、泵浦聚焦透镜22和泵浦回光保护镜23、端泵后腔镜31、激光晶体32、偏振片33、λ/4波片34、电光调Q开关35、谐振腔输出镜36、倍频晶体4依次设置于激光器的光轴上。所述泵浦源1为发光二极管。所述端泵后腔镜31一面镀有808nmAR膜,另一面镀有1064nmHR膜和808nmHT膜。所述激光晶体32为掺钕的钒酸钇晶体。所述偏振片33与激光器的光轴成布儒斯特角。所述电光调Q开关35为RTP、BBO、LN或DKDP。所述谐振腔输出镜36在1064nm的透过率为T=60%。所述倍频晶体4为LBO。该装置的工作原理:泵浦源1发出的激光经过聚焦耦合系统2至激光晶体42,在激光谐振腔3内振荡形成激光,经过倍频晶体4形成亚纳秒绿光激光输出,脉冲宽度为0.5ns,且重复频率在1kHz以上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种亚纳秒绿光激光器,其特征在于:包括泵浦源(1)、聚焦耦合系统(2)、激光谐振腔(3)、倍频晶体(4);所述聚焦耦合系统(2)包括依次连接的泵浦准直透镜(21)、泵浦聚焦透镜(22)和泵浦回光保护镜(23);所述激光谐振腔(3)内依次设有端泵后腔镜(31)、激光晶体(32)、偏振片(33)、λ/4波片(34)、电光调Q开关(35)、谐振腔输出镜(36);所述泵浦源(1)、泵浦准直透镜(21)、泵浦聚焦透镜(22)和泵浦回光保护镜(23)、端泵后腔镜(31)、激光晶体(32)、偏振片(33)、λ/4波片(34)、电光调Q开关(35)、谐振腔输出镜(36)、倍频晶体(4)依次设置于激光器的光轴上。

【技术特征摘要】
1.一种亚纳秒绿光激光器,其特征在于:包括泵浦源(1)、聚焦耦合系统(2)、激光谐振腔(3)、倍频晶体(4);所述聚焦耦合系统(2)包括依次连接的泵浦准直透镜(21)、泵浦聚焦透镜(22)和泵浦回光保护镜(23);所述激光谐振腔(3)内依次设有端泵后腔镜(31)、激光晶体(32)、偏振片(33)、λ/4波片(34)、电光调Q开关(35)、谐振腔输出镜(36);所述泵浦源(1)、泵浦准直透镜(21)、泵浦聚焦透镜(22)和泵浦回光保护镜(23)、端泵后腔镜(31)、激光晶体(32)、偏振片(33)、λ/4波片(34)、电光调Q开关(35)、谐振腔输出镜(36)、倍频晶体(4)依次设置于激光器的光轴上。2.根据权利要求1所述的一种亚纳秒绿光激光器,其特征在于:所述泵浦源(1)为发光二极管。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:王延成吴佳宾李冬冬周军
申请(专利权)人:南京罗默激光科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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