一种大能量266nm紫外激光器制造技术

一种大能量266nm紫外激光器，其特征是包括泵浦源(1)、光学耦合系统(2)、端泵后腔镜(3)、第一激光增益介质(4)、第二激光增益介质(5)、12.5

【技术实现步骤摘要】
266nm的增透膜；所述266nm分光镜14镀有532nm增透膜和266nm高反膜。
[0014]本技术的有益效果如下：
[0015]本技术提出了一种大能量266nm紫外激光器，采用大能量光纤耦合半导体激光器单端泵浦，双激光增益介质吸收，Z字激光谐振腔，提高了激光器的稳定性，最后实现毫焦级别的266nm紫外激光输出。
附图说明
[0016]图1为本技术一种大能量266nm紫外激光器结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术专利做进一步详细说明。
[0018]如图1所示的一种高重频多波长输出的激光器，
[0019]一种大能量266nm紫外激光器，包括泵浦源1、光学耦合系统2、端泵后腔镜3、第一激光增益介质4、第二激光增益介质5、12.5
°
反射镜6、45
°
反射镜7、声光调Q开关8、 532nm分光镜9、LBO倍频晶体10、全反镜11、聚焦透镜12、BBO倍频晶体13和266nm分光镜14；所述的泵浦源1发出的激光通过光学耦合系统2进入第一激光增益介质4内部；所述第二激光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大能量266nm紫外激光器，其特征是包括泵浦源(1)、光学耦合系统(2)、端泵后腔镜(3)、第一激光增益介质(4)、第二激光增益介质(5)、12.5
°
反射镜(6)、45
°
反射镜(7)、声光调Q开关(8)、532nm分光镜(9)、LBO倍频晶体(10)、全反镜(11)、聚焦透镜(12)、BBO倍频晶体(13)和266nm分光镜(14)；所述的泵浦源(1)发出的激光通过光学耦合系统(2)进入第一激光增益介质(4)内部；所述第二激光增益介质(5)对泵浦光进行二次吸收；所述端泵后腔镜(3)、12.5
°
反射镜(6)、45
°
反射镜(7)和全反镜(11)构成激光谐振腔；所述声光调Q开关(8)和LBO倍频晶体(10)在激光谐振腔内；所述532nm分光镜(9)将谐振腔产生的532nm绿光反出；所述聚焦透镜(12)将532nm绿光聚焦进BBO倍频晶体(13)产生266nm紫外激光；所述266nm分光镜(14)将266nm激光反出。2.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述泵浦源(1)为中心波长878.6nm的光纤耦合半导体激光器，光纤芯径200um,数值孔径NA＝0.22。3.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述光学耦合系统(2)采用聚焦透镜组；所述端泵后腔镜(3)镀有880nm增透膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王延成，吴佳滨，周军，任树青，
申请(专利权)人：南京罗默激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：