能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，包括显微载物台、透射投影载物台、反射投影载物台；显微载物台正上方从下至上依次设有显微放大镜、第一半透半反分光镜、成像透镜和CMOS相机；透射投影载物台位于显微载物台正下方，透射投影载物台正下方设有第二半透半反分光镜；第一半透半反分光镜两侧分别设有反射投影载物台和第一反射镜，第二半透半反分光镜两侧分别设有光源和第二反射镜；还包括显微透射光阑、第一反射投影光阑和第二反射投影光阑。通过选择不同光阑的开与关，在一台装置内实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量，降低企业仪器购置成本，提高测量效率。

【技术实现步骤摘要】
能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置
本技术涉及光学测量装置
，尤其涉及一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置。
技术介绍
显微镜、影像测量仪等光学测量仪器是光学、机械、电子、计算机等领域相关技术交叉融合的产物，广泛的应用于机械零件、微电子器件、光学元件、电子印刷制品等工业/消费品的检测当中。传统的测量投影量的方法是采用一个投影装置，然后用人眼或CCD相机采集的投影图案。该方法较常见和容易实现，但需要通过人眼来判断，并且就算是采用CCD相机来采集，也并不能实现测量分析。而对于显微的测量，传统使用金相显微镜或者影像测量仪来实现。但金相显微镜只能测量视场内的尺寸，其运动平台不具有测量功能，因此对于较大尺寸的显微，难以实现。而影像测量仪，其放大倍率较小，大倍率的只有250倍左右，不适用于尺寸较小的被测物。并且，现在暂时没有能同时实现显微测量和投影量测量的装置。
技术实现思路
本技术针对上述问题，提供一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置。本技术的目的可以通过下述技术方案来实现：一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，包括显微载物台、透射投影载物台、反射投影载物台；所述显微载物台水平设置，显微载物台的正上方从下至上依次设有显微放大镜、第一半透半反分光镜、成像透镜和CMOS相机；所述透射投影载物台水平设置且布置于显微载物台的正下方，透射投影载物台和显微载物台之间设有第一透镜组件，透射投影载物台的正下方设有第二半透半反分光镜；所述第一半透半反分光镜的两侧分别设有所述反射投影载物台和第一反射镜，所述反射投影载物台和第一反射镜与第一半透半反分光镜位于同一水平位置，所述第二半透半反分光镜的两侧分别设有光源和第二反射镜，所述反射投影载物台竖直设置且与光源位于同侧，所述第一反射镜位于第二反射镜的正上方且第一反射镜和第二反射镜之间设有第二透镜组件；其中，所述透射投影载物台和第二半透半反分光镜之间设有显微透射光阑，所述第二透镜组件和第二反射镜之间设有第一反射投影光阑，所述第一半透半反分光镜和反射投影载物台之间设有第二反射投影光阑。进一步地，所述显微载物台上设有投影屏。进一步地，所述第一半透半反分光镜的设置角度与第二半透半反分光镜的设置角度为沿水平线对称设置。更进一步地，所述第二半透半反分光镜与光源的光路方向的夹角为45°。进一步地，所述第一透镜组件包括第一放大透镜和第一凸透镜，所述第一放大透镜和第一凸透镜为从下至上地依次布置于透射投影载物台和显微载物台之间。进一步地，所述第二透镜组件包括第二放大透镜和第二凸透镜，所述第二放大透镜和第二凸透镜为从下至上地依次布置于第一反射镜和第二反射镜之间。进一步地，所述第一反射镜的设置角度与第二反射镜的设置角度为沿水平线对称设置。更进一步地，所述第一反射镜和第二反射镜均为45°反射镜。进一步地，还包括计算机，所述计算机与CMOS相机连接。与现有技术相比，本技术的有益效果：将被测物放置在对应的载物台上，通过选择不同光阑的开与关，在一台装置内实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量，降低了企业仪器购置成本，提高了测量效率。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中部件标注如下：1显微载物台2透射投影载物台3反射投影载物台4投影屏5显微放大镜6第一半透半反分光镜7成像透镜8CMOS相机9第一放大透镜10第一凸透镜11第二半透半反分光镜12第一反射镜13光源14第二反射镜15第二放大透镜16第二凸透镜17显微透射光阑18第一反射投影光阑19第二反射投影光阑20计算机21显微被测物22透射投影被测物23反射投影被测物。具体实施方式以下结合附图详细说明本技术的具体实施方式，使本领域的技术人员更清楚地理解如何实践本技术。尽管结合其优选的具体实施方案描述了本技术，但这些实施方案只是阐述，而不是限制本技术的范围。参见图1，一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，包括显微载物台1、透射投影载物台2、反射投影载物台3；所述显微载物台1水平设置，显微载物台1上设有投影屏4，显微载物台1的正上方从下至上依次设有显微放大镜5、第一半透半反分光镜6、成像透镜7和CMOS相机8；所述透射投影载物台2水平设置且布置于显微载物台1的正下方，透射投影载物台2和显微载物台1之间设有第一透镜组件，透射投影载物台2的正下方设有第二半透半反分光镜11；所述第一半透半反分光镜6的两侧分别设有所述反射投影载物台3和第一反射镜12，所述反射投影载物台3和第一反射镜12与第一半透半反分光镜6位于同一水平位置，所述第二半透半反分光镜11的两侧分别设有光源13和第二反射镜14，所述反射投影载物台3竖直设置且与光源13位于同侧，所述第一反射镜12位于第二反射镜14的正上方且第一反射镜12和第二反射镜14之间设有第二透镜组件；其中，所述透射投影载物台2和第二半透半反分光镜11之间设有显微透射光阑17，所述第二透镜组件和第二反射镜14之间设有第一反射投影光阑18，所述第一半透半反分光镜6和反射投影载物台3之间设有第二反射投影光阑19。其中，所述第一半透半反分光镜6的设置角度与第二半透半反分光镜11的设置角度为沿水平线对称设置，所述第二半透半反分光镜11与光源13的光路方向的夹角为45°。图中所示，第一半透半反分光镜6沿45°设置，第二半透半反分光镜11沿-45°设置。同样地，所述第一反射镜12的设置角度与第二反射镜14的设置角度为沿水平线对称设置。所述第一反射镜12和第二反射镜14均为45°反射镜。图中所示，第一反射镜12沿45°设置，第二反射镜14沿-45°设置。所述第一透镜组件包括第一放大透镜9和第一凸透镜10，所述第一放大透镜9和第一凸透镜10为从下至上地依次布置于透射投影载物台2和显微载物台1之间。所述第二透镜组件包括第二放大透镜15和第二凸透镜16，所述第二放大透镜15和第二凸透镜16为从下至上地依次布置于第一反射镜12和第二反射镜14之间。放大透镜和凸透镜的组合起到将分光镜的两路光线放大的作用，进而放大被测物成像。还包括计算机20，所述计算机20与CMOS相机8连接，计算机20用于分析CMOS相机8采集的图像，并获得测量值。工作原理及测量过程如下：装置进行显微测量时，将显微被测物21放置在显微载物台1上，显微透射光阑17处于打开状态，第一反射投影光阑18和第二反射投影光阑19均处于关闭状态，撤掉显微载物台1上的投影屏4，并且透射载物台和反射载物台清空，这样光源13的光经过第二半透半反分光镜11，然后通过第一放大透镜9和第二凸透镜16后照射在显微被测物21上，接着经过显微放大镜5和成像透镜7成像于CMOS相机8上并被采集，然后通过计算机20进行分析获得测量值。装置进行透射投影测量时，将透射投影被测物22放置在透射载物台上，显微透射光阑17处于打开状态，第一反射投影光阑18和第二反射投影光阑19均处于关闭状态，显微载物台1上安装投影屏4，显微载物台1和反射载物台均清空，这样光源13的光经过第二半透半反分光镜11后，通过显微透射光阑17照射在透射投影被测物22上，经过达第一放大透镜9和第一凸透镜10成像于投影屏4上，像经过显微放大镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，其特征在于，包括显微载物台、透射投影载物台、反射投影载物台；所述显微载物台水平设置，显微载物台的正上方从下至上依次设有显微放大镜、第一半透半反分光镜、成像透镜和CMOS相机；所述透射投影载物台水平设置且布置于显微载物台的正下方，透射投影载物台和显微载物台之间设有第一透镜组件，透射投影载物台的正下方设有第二半透半反分光镜；所述第一半透半反分光镜的两侧分别设有所述反射投影载物台和第一反射镜，所述反射投影载物台和第一反射镜与第一半透半反分光镜位于同一水平位置，所述第二半透半反分光镜的两侧分别设有光源和第二反射镜，所述反射投影载物台竖直设置且与光源位于同侧，所述第一反射镜位于第二反射镜的正上方且第一反射镜和第二反射镜之间设有第二透镜组件；其中，所述透射投影载物台和第二半透半反分光镜之间设有显微透射光阑，所述第二透镜组件和第二反射镜之间设有第一反射投影光阑，所述第一半透半反分光镜和反射投影载物台之间设有第二反射投影光阑。

【技术特征摘要】
1.一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，其特征在于，包括显微载物台、透射投影载物台、反射投影载物台；所述显微载物台水平设置，显微载物台的正上方从下至上依次设有显微放大镜、第一半透半反分光镜、成像透镜和CMOS相机；所述透射投影载物台水平设置且布置于显微载物台的正下方，透射投影载物台和显微载物台之间设有第一透镜组件，透射投影载物台的正下方设有第二半透半反分光镜；所述第一半透半反分光镜的两侧分别设有所述反射投影载物台和第一反射镜，所述反射投影载物台和第一反射镜与第一半透半反分光镜位于同一水平位置，所述第二半透半反分光镜的两侧分别设有光源和第二反射镜，所述反射投影载物台竖直设置且与光源位于同侧，所述第一反射镜位于第二反射镜的正上方且第一反射镜和第二反射镜之间设有第二透镜组件；其中，所述透射投影载物台和第二半透半反分光镜之间设有显微透射光阑，所述第二透镜组件和第二反射镜之间设有第一反射投影光阑，所述第一半透半反分光镜和反射投影载物台之间设有第二反射投影光阑。2.根据权利要求1所述的能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，其特征在于，所述显微载物台上设有投影屏。3.根据权利要求1所述的能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐强胜，胡祯，徐腾寅，高瑞翔，房鹤飞，
申请(专利权)人：上海市质量监督检验技术研究院，
类型：新型
国别省市：上海,31