The application discloses a cleaning bracket and a cleaning device for bonded weld head, in which the cleaning bracket comprises a frame body, a welding head holding cylinder vertically arranged on the frame body, the upper part of the welding head holding cylinder is an insertion port for bonded weld head insertion, and the lower part of the welding head holding cylinder is a limit extension outlet for the head extending of the bonded weld head. The bonding head is placed in the cleaning container with cleaning fluid through the head of the cleaning bracket. The required cleaning fluid does not need to pass through the whole bonding head, but only the head of the bonding head, that is, the bonding part. Therefore, the cost is saved and the head of the bonding head is positioned downward. Therefore, the head of the bonding head is closer to the ultrasonic source, and the ultrasonic wave is used. The energy loss is less in the process of conduction. It does not need to prolong the cleaning time or increase the ultrasonic power. It will not cause the loss of efficiency, and can also achieve better cleaning effect.
【技术实现步骤摘要】
一种键合焊头的清洗支架及清洗装置
本技术涉及半导体键合工具
,特别涉及一种键合焊头的清洗支架。本技术还涉及一种包含该清洗支架的清洗装置。
技术介绍
半导体键合工艺(将铝线焊接在芯片上)采用的键合工具俗称焊枪,焊枪具有键合焊头,利用钨钢材质的键合焊头进行超声波传导熔化铝线,随着键合次数的增加,键合焊头的键合部位极易出现铝屑堆积,影响键合点外观一致性,严重影响键合质量,键合焊头是否定进行定期清洁,清洁是否有效,就显得尤为重要了。因此,需要对键合焊头进行定期清洁,以保证其键合效果,防止出现键合缺陷,影响键合点可靠性。目前,现有的键合焊头的清洗方式,是通过清洗治具将键合焊头的头部朝上垂直置放于材质为聚乙烯的烧杯中,并在烧杯中注入清洗液,在一定的超声波震动作用下进行清洗,如图1所示,这种方式存在的问题是:为保证键合焊头的键合部位完全浸入清洗溶液中,需注入大量清洗液,以没过键合焊头的头部,成本浪费严重。此外,超声波发震源都位于烧杯的底部,键合焊头向上置放于烧杯中,距离超声波发震源较远,超声波能量在传导过程中损失严重。超声波能量的损失会影响键合焊头的清洁效果,为达到同样的清洗效果,必须延长清洗时间或者加大超声波功率,造成效率损失。且向上置放清洗后,键合部位易造成水渍及异物堆积,严重时影响铝线键合点质量,存在较大质量风险。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的目的在于提供一种键合焊头的清洗支架,以减少功率损失,节省成本。本技术的另一个目的在于提供一种包含该清洗支架的清洗装置,以减少功率损失,节省成本。为达到上述目的,本技术提供以下技术方案:一种键合焊头的清洗支架,包括:架体;垂 ...
【技术保护点】
1.一种键合焊头的清洗支架,其特征在于,包括:架体(12);垂直布置于所述架体(12)上的焊头容置筒(13),所述焊头容置筒(13)的上端为用于键合焊头(4)插入的插入口(131),所述焊头容置筒(13)的下端为用于所述键合焊头(4)的头部伸出的限位伸出口(132)。
【技术特征摘要】
1.一种键合焊头的清洗支架,其特征在于,包括:架体(12);垂直布置于所述架体(12)上的焊头容置筒(13),所述焊头容置筒(13)的上端为用于键合焊头(4)插入的插入口(131),所述焊头容置筒(13)的下端为用于所述键合焊头(4)的头部伸出的限位伸出口(132)。2.根据权利要求1所述的键合焊头的清洗支架,其特征在于,所述限位伸出口(132)为上宽下窄的锥形口。3.根据权利要求1所述的键合焊头的清洗支架,其特征在于,所述限位伸出口(132)用于伸出所述键合焊头(4)的头部的长度至少为10mm。4.根据权利要求1所述的键合焊头的清洗支架,其特征在于,还包括设置于所述架体(12)上的拉篮(11)。5.根据权利要求1所述的键合焊头的清洗支架,其特征在于,所述架体(12)包括顶板(121)、侧板(122)和固定板(123),所述顶板(121)固定于所述侧板(122)的顶部,所述固定板(123)固定于所述侧板(122)的中部,所述焊头容置筒(13)的上端固定于所述顶板(121)上,所述焊头容置筒(13)的下部筒壁固定于所述固定板(123)上。6.根据权利要求1所述的键合焊头的清洗支架,其特征在于,所述焊头容置筒(13)的数量为多个,且呈矩阵布置于所述架体(...
【专利技术属性】
技术研发人员:盛余珲,范庆庆,徐世明,杨虎刚,
申请(专利权)人:珠海格力新元电子有限公司,珠海格力电器股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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