A side polishing device for GaSb single wafer with adjustable cutting quantity includes a base, a cabinet body is arranged at the upper left end, a first linear guide rail is arranged at the upper end of the cabinet body, a slide block is installed on the first linear guide rail, and a side polishing mechanism is installed at the upper end of the slide block; a support seat is arranged at the upper right end of the base, and a second linear guide rail is arranged on the support seat. A lifting seat is installed on the second linear guide rail, and the lifting seat is connected with the lifting mechanism to achieve up and down lifting. A second motor is installed on the lifting seat, the output shaft of the second motor is connected with a vacuum sucker, and the GaSb single chip is installed on the vacuum sucker. It also includes a vacuum suction device. The invention has simple structure and high automation, can quickly clamp and grind the side of GaSb single wafer with thickness of 2 5mm, and can quickly adjust the cutting amount of the side of GaSb single wafer, improve the grinding efficiency and grinding effect, and solve the problems of uneven and low efficiency of traditional manual grinding.
【技术实现步骤摘要】
一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备
本专利技术涉及一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备。
技术介绍
锑化镓是一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,对它的研究远不如其他半导体材料(如GaAs,InP等)那样深入。但近些年来这种材料越来越引起人们兴趣,这主要是光纤通信技术的发展,对新器件的潜在需求而引起的。在光通信中为了减少传输中的损耗,总是尽可能采用较长波长的光,最早使用0.8μm波长的光,现在使用1.55μm波长的光。据估计下一代光纤通信将采用更长波长的光。研究表明某些非硅材料光纤在波长为(2~4)μm的范围时传输损耗更小。在所有Ⅲ-Ⅴ族材料中,锑化镓作为衬底材料引起了更多的注意,因为它可以与各种Ⅲ-Ⅴ族材料的三元、四元固熔体合金的晶格常数相匹配,这些材料光谱的范围在(0.8~4.0)μm之间,正好符合要求。另外,利用锑化镓基材料超晶格的带间吸收也可以制造更长波长(8~14)μm范围的探测器。现有仪器中对锑化镓单晶片表面光滑度越来越讲究,而对锑化镓单晶片表面的打磨大多采用手工打磨,手工打磨存在打磨不均匀,打磨效率低等缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对以上问题,提供一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,结构简单,自动化程度高,能够对2-5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨,且对于锑化镓单晶片侧面打磨的切削量可以进行快速调节,提高打磨效率和打磨效果,解决了传统手工打磨不均及效率低等问题。为实现以上目的,本专利技术采用的技术方案是:它包括底座,其左上端设置有柜体,柜体的上端设置有第一直线导轨,第一直线导轨上安装有滑块,滑 ...
【技术保护点】
1.一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(7),其左上端设置有柜体(6),柜体(6)的上端设置有第一直线导轨(8),第一直线导轨(8)上安装有滑块(9),滑块(9)与推进机构连接实现左右移动,滑块(9)的上端设置有支撑架(13),支撑架(13)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(16)、与第一电机(16)输出轴相连的转轴(15)、设置在转轴(15)末端的打磨盘(14);底座(7)的右上端设置有支撑座(27),支撑座(27)上设置有第二直线导轨(24),第二直线导轨(24)上安装有升降座(26),升降座(26)与升降机构连接实现上下升降,升降座(26)上设置有第二电机(3),第二电机(3)的输出轴连接真空吸盘(4),锑化镓单晶片(5)安装在真空吸盘(4)上。
【技术特征摘要】
1.一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(7),其左上端设置有柜体(6),柜体(6)的上端设置有第一直线导轨(8),第一直线导轨(8)上安装有滑块(9),滑块(9)与推进机构连接实现左右移动,滑块(9)的上端设置有支撑架(13),支撑架(13)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(16)、与第一电机(16)输出轴相连的转轴(15)、设置在转轴(15)末端的打磨盘(14);底座(7)的右上端设置有支撑座(27),支撑座(27)上设置有第二直线导轨(24),第二直线导轨(24)上安装有升降座(26),升降座(26)与升降机构连接实现上下升降,升降座(26)上设置有第二电机(3),第二电机(3)的输出轴连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:王歆,吴秀丽,陈琳,
申请(专利权)人:湖南大合新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。