The utility model discloses a semiconductor transportation system, which carries the parts to be transported (bottom plate) through the transport mechanism and moves back and forth along the guide rail mechanism. When the transport mechanism moves along the guide rail mechanism to the designated position, the parts to be transported on the transport mechanism are lifted by the lifting mechanism, thereby realizing the transportation of the transported parts, facilitating the installation, maintenance and replacement of the parts to be transported, etc. Follow-up operation is convenient and fast to use; moreover, through the unified control of the controller, automatic positioning, movement and improvement can be achieved, greatly improving production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体运输系统
本技术涉及半导体领域,尤其涉及一种半导体运输系统。
技术介绍
目前半导体行业在中国正处在高速发展阶段,而半导体相关的制造设备至关重要。金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方面相关设备相对复杂,且零部件的体积和重量都相对较大,从目前来看,市场上缺乏一种针对下底板的运输系统,从而无法满足市场需求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种半导体运输系统,以解决现有技术中的问题,实现对下底板的运输。本技术提供一种半导体运输系统,所述半导体运输系统包括:导轨机构;设置在所述导轨机构上的运输机构,用于放置待运输件,且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动;抬升机构,当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时,所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。可选择的,所述导轨机构包括平行设置的平面导轨和V型导轨。可选择的,所述导轨机构还包括轨道平台构架,所述平面导轨和V型导轨均嵌装在所述轨道平台构架中。可选择的,所述运输机构包括:支撑框架;设置在支撑框架上的多个立柱,所述立柱顶部用于支撑待运输件;设置在支撑框架底部的平面导轮和V型导轮,分别用于与平面导轨、V型导轨配合。可选择的,所述运输机构还包括用于驱动运输机构运动的驱动机构。可选择的,所述驱动机构包括:设置在轨道平台构架上的伺服电机;与伺服电机依次连接的减速器、联轴器、丝杠;设置在联轴器与丝杠之间的支撑座,所述支撑座固定在轨道平台构架上,所述联轴器穿过所述支撑座与丝杠连接;导向螺母,设置在支撑框架上,所述丝杠穿设在所述导向螺母内,用于与导向螺母螺纹配合。可选择的,所述抬升机构包括:可上下运动的抬升支架, ...
【技术保护点】
1.一种半导体运输系统,其特征在于,所述半导体运输系统包括:导轨机构;设置在所述导轨机构上的运输机构,用于放置待运输件,且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动;抬升机构,当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时,所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。
【技术特征摘要】
1.一种半导体运输系统,其特征在于,所述半导体运输系统包括:导轨机构;设置在所述导轨机构上的运输机构,用于放置待运输件,且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动;抬升机构,当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时,所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。2.根据权利要求1所述的半导体运输系统,其特征在于,所述导轨机构包括平行设置的平面导轨和V型导轨。3.根据权利要求2所述的半导体运输系统,其特征在于,所述导轨机构还包括轨道平台构架,所述平面导轨和V型导轨均嵌装在所述轨道平台构架中。4.根据权利要求3所述的半导体运输系统,其特征在于,所述运输机构包括:支撑框架;设置在支撑框架上的多个立柱,所述立柱顶部用于支撑待运输件;设置在支撑框架底部的平面导轮和V型导轮,分别用于与平面导轨、V型导轨配合。5.根据权利要求4所述的半导体运输系统,其特征在于,所述运输机构还包括用于驱动运输机构运动的驱动机构。6.根据权利要求5所述的半导体运输系统,其特征在于,所述驱动机构包括:设置在轨道平台构架上的伺服电机;与伺服电机依...
【专利技术属性】
技术研发人员:姜鹏,
申请(专利权)人:东泰高科装备科技北京有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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