微球表面缺陷检测翻转辅助装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，包括测试吸嘴、第一精密位移台、x方向位移台、y方向位移台、第二精密旋转台、第一连接板、辅助吸嘴和翻转辅助机构，所述翻转辅助机构包括三个位移台，其中两个位移台组合放置在底部位置，控制辅助吸嘴水平方向二维移动，平移台上部垂直放置一个位移台，用于控制辅助吸嘴纵向移动，所述辅助吸嘴固定在翻转辅助机构上方，可吸附微球进行移动，测试吸嘴在微球右侧，用来吸附微球进行测量。本发明专利技术可实现微球表面缺陷检测时对微球进行翻转。

Surface Defect Detection and Reversal Assistant Device for Microspheres

The invention discloses a microsphere surface defect detection overturning auxiliary device, which comprises a test suction nozzle, a first precision displacement table, an X-direction displacement table, a Y-direction displacement table, a second precision rotary table, a first connecting plate, an auxiliary suction nozzle and an overturning auxiliary mechanism. The overturning auxiliary mechanism comprises three displacement tables, in which two displacement tables are combined at the bottom to control the auxiliary suction nozzle. A displacement table is placed vertically on the upper part of the translation table to control the longitudinal movement of the auxiliary suction nozzle. The auxiliary suction nozzle is fixed on the top of the overturning auxiliary mechanism and can move the adsorbable microspheres. The test suction nozzle is located on the right side of the microspheres and is used to measure the adsorbable microspheres. The invention can realize the reversal of the microsphere when the surface defect of the microsphere is detected.

【技术实现步骤摘要】
微球表面缺陷检测翻转辅助装置
本专利技术属于表面缺陷检测领域，具体涉及一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置。
技术介绍
作为最常用的元器件形态之一的微小球面，在众多重要领域有着诸多应用，这些应用都对微小球面的表面面形质量有着较高的要求，因而对于微小球面的表面缺陷的检测就显得尤为重要。无论是美国的劳伦斯利弗莫尔国家实验室的PSDI技术，还是中国专利ZL201410663749.4，都无法完成整个微球表面的测量，因此微球的测试翻转机构就显得尤为重要。二者方案中的测试机械翻转机构都带有一定的不可避免的机械误差，从而使检测结果不理想。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，解决现有微小球面表面缺陷检测微球控制系统的机械误差使得测量精度降低的问题。实现本专利技术目的的技术解决方案为：一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，包括底座、控制电机、第一精密旋转台、第一连接板、翻转辅助机构、辅助吸嘴、y方向位移台、x方向位移台、第二连接板、第二精密旋转台和测试吸嘴；控制电机固定在底座上，第一精密旋转台固定在控制电机上，并与控制电机的输出轴固连，翻转辅助机构固定在第一精密旋转台顶面，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，其特征在于：包括底座（1）、控制电机（2）、第一精密旋转台（3）、第一连接板（4）、翻转辅助机构（5）、辅助吸嘴（6）、y方向位移台（7）、x方向位移台 （10）、第二连接板（11）、第二精密旋转台（12）和测试吸嘴（13）；控制电机（2）固定在底座（1）上，第一精密旋转台（3）固定在控制电机（2）上，并与控制电机（2）的输出轴固连，翻转辅助机构（5）固定在第一精密旋转台（3）顶面，第一连接板（4）一端设有圆孔，所述圆孔穿过翻转辅助机构（5）并与第一精密旋转台（3）固连，辅助吸嘴（6）固定在翻转辅助机构（5）上，y方向位移台（7）固定在第一连接板（4）的另...

【技术特征摘要】
1.一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，其特征在于：包括底座（1）、控制电机（2）、第一精密旋转台（3）、第一连接板（4）、翻转辅助机构（5）、辅助吸嘴（6）、y方向位移台（7）、x方向位移台（10）、第二连接板（11）、第二精密旋转台（12）和测试吸嘴（13）；控制电机（2）固定在底座（1）上，第一精密旋转台（3）固定在控制电机（2）上，并与控制电机（2）的输出轴固连，翻转辅助机构（5）固定在第一精密旋转台（3）顶面，第一连接板（4）一端设有圆孔，所述圆孔穿过翻转辅助机构（5）并与第一精密旋转台（3）固连，辅助吸嘴（6）固定在翻转辅助机构（5）上，y方向位移台（7）固定在第一连接板（4）的另一端顶面，x方向位移台（10）固定在y方向位移台（7）上，第二连接板（11）为L形，第二连接板（11）的水平面固定在x方向位移台（10）上，竖直面内壁固定有第二精密旋转台（12），测试吸嘴（13）固定在第二精密旋转台（12）上，待...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建欣，宗毅，段明亮，柏财勋，王宗伟，高党忠，孟婕，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32