用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置制造方法及图纸

本发明专利技术属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆的技术领域，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。本发明专利技术加工效率高，加工质量理想，可满足微水束与激光束耦合加工工艺需求，有效提升晶圆加工工艺水平。

A Jet Device for High Pressure Micro-Beam Coupling with Laser

The invention belongs to the technical field of wafer fabrication by coupling micro-jet water beam with high-energy laser beam, in particular to a jet device for high-pressure micro-water beam coupling with laser beam, including a mounting bracket (1), a two-dimensional fine-tuning platform (2) and a jet cavity (3); the two-dimensional fine-tuning platform (2) is fixedly connected with the mounting bracket (1); and the jet cavity (3) is fixed. In the middle of the two-dimensional fine-tuning platform (2), a central through hole (22) is arranged in the center of the two-dimensional fine-tuning platform (2). The invention has high processing efficiency and ideal processing quality, can meet the requirements of micro-water beam and laser beam coupling processing technology, and effectively improve the level of wafer processing technology.

【技术实现步骤摘要】
用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置
本专利技术属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆（材料）的
，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置。
技术介绍
激光加工晶圆（材料）技术是一种高效、无损的加工技术，利用微细射流水束与高能激光束进行耦合后对晶圆（材料）加工可有效减少材料的热损伤，同时具有切口质量高，无熔渣残留，加工位置不受焦点位置限制，在复杂曲面及多层结构材料加工上具有独特的优势。高压微水束射流的生成和激光耦合技术是关键技术，高压微水束射流的作用是引导高能激光直达材料表面进行加工，所以水射流的质量至关重要。常用的微水束射流直径为30～500μm，工作距离约10～100mm，射流压力一般为0～100MPa，这些参数对水束光纤发生装置的设计和制造增加了许多难度。合格的水束光纤需满足如下条件：水射流表面要平滑光洁，确保水束内的光线在水束与空气界面发生全反射，并保证高的全反射效率；水质要求纯度高、杂质少，有利于水束光纤的稳定和减小激光与水的相互作用；水束截面圆整，保证射流稳定性。在现有技术中，由于常规加工工艺和微水束发生装置结构设计的限制，微水束截面直径很难小本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。

【技术特征摘要】
1.一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。2.根据权利要求1所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：所述二维微调平台（2）包括固定外壳（6）、Y向位移平台（4）、X向位移平台（5）、Y向调节机构（7）及X向调节机构（8）；所述固定外壳（6）与安装支架（1）固定相接；所述Y向位移平台（4）与X向位移平台（5）经XY双向导轨（9）滑动相接；所述Y向调节机构（7）及X向调节机构（8）依次分别调节Y向位移平台（4）及X向位移平台（5）的水平位移。3.根据权利要求2所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：所述射流腔体（3）包括外壳（13）、底座（14）、喷嘴体（15）及玻璃窗口安装结构（16）；所述玻璃窗口安装结构（16）套装于底座（14）中心位置；所述喷嘴体（15）固定设于底座（14）下部；所述外壳（13）固定置于底座（14）上部；在所述外壳（13）侧向开有进水孔（23）；在所述外壳（13）内部设有环形水槽；所述进水孔（23）与环形水槽相通；在所述底座（14）上均布设有数个通孔（24）；所述通孔（24）与所述环形水槽相通；所述玻璃窗口安装结构（16）包括中空水腔结构（17）...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋兴桥，马岩，荣宇，李东旭，陈立新，
申请(专利权)人：沈阳仪表科学研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21