【技术实现步骤摘要】
使用粒子显微镜记录图像的方法以及粒子显微镜
本专利技术涉及使用粒子显微镜记录图像的方法并且涉及粒子显微镜。
技术介绍
粒子显微镜通常包括：载物台，用于安装有待成像的对象；以及粒子束柱，所述粒子束柱相对于载物台而被安装。所述粒子束柱生成被引导至对象上的一个或多个带电粒子束。检测由入射在对象上的粒子所生成的信号，使得所检测信号可以与所述对象上的在其处生成信号的位置相关联。与对象上的众多位置相关联的所检测信号强度的值的集合形成对象的图像，可以将所述图像显示在屏幕上，对所述图像进行分析或存储以用于其他目的。由于所检测信号受到噪声影响，所以有必要从对象的成像区域中收集足够量的信号以便获得具有期望分辨率和质量的图像。因此，收集这些信号花费相当长的时间。在实践中可能发生的是，承载对象的载物台相对于束柱移动，同时一个图像的信号被记录。这种移动可能是由于机械不稳定性以及热漂移或其他原因，并且导致所检测信号与对象上的位置的关联未得到良好定义并且所得图像变得模糊。此外，入射在对象上的带电粒子以及由入射粒子生成并离开对象并可能形成所检测信号的带电粒子可能在对象上生成表面电荷。所生成的表面...
【技术保护点】
1.一种使用粒子显微镜记录图像的方法，所述方法包括：使用所述粒子显微镜记录对象的多个图像，其中，这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联，其中，所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的多个强度值，其中，所述位置位于在所述所记录图像的边界框内；通过使所述这些所记录图像的所述图像数据相关来确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移；基于所确定位移来确定所得图像的位移后边界框，其中，所述位移后边界框的尺寸大于基于所述所确定位移而确定的所有所述这些所记录图像的边界框的交集；以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来...
【技术特征摘要】
2017.07.17 DE 102017212214.51.一种使用粒子显微镜记录图像的方法，所述方法包括：使用所述粒子显微镜记录对象的多个图像，其中，这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联，其中，所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的多个强度值，其中，所述位置位于在所述所记录图像的边界框内；通过使所述这些所记录图像的所述图像数据相关来确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移；基于所确定位移来确定所得图像的位移后边界框，其中，所述位移后边界框的尺寸大于基于所述所确定位移而确定的所有所述这些所记录图像的边界框的交集；以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来计算所述所得图像的图像数据，这些位置位于与所述所得图像相关联的、基于所述这些所记录图像的所述所确定位移的所述所确定位移后边界框内。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述所得图像的所述图像数据的计算包括从所述这些所记录图像中的每一个所记录图像的所述图像数据中选择强度值，其中，所选强度值与在所述所记录图像中的一些位置相关联，在应用从所述所记录图像的所述坐标系到所述所得图像的所述坐标系的坐标变换之后，这些位置位于所述所得图像的所述位移后边界框内。3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述所记录图像的尚未被选择的强度值对所述所得图像的所述图像数据的计算没有贡献。4.根据权利要求2或3所述的方法，进一步包括：选择位于所述所得图像的所述位移后边界框内的所述所记录图像的所有图像数据。5.根据权利要求1至4之一所述的方法，进一步包括：确定所述这些所记录图像中的每一个所记录图像的所述图像数据的坐标系相对于所述所得图像的所述图像数据的所述坐标系的位移。6.根据权利要求5所述的方法，其中，确定所述所得图像的所述位移后边界框，使得所述这些所记录图像的所述图像数据的所述坐标系相对于所述所得图像的所述图像数据的所述坐标系的所确定位移的加权和小于或等于预定量。7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述所确定位移的所述加权和中的所有权重是相等的。8.根据权利要求6所述的方法，其中，所述所确定位移的所述加权和中的第一组所述所确定位移的权重中的每...
【专利技术属性】
技术研发人员：L韩，A施蒙兹，M埃德尔曼，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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