一种集成过滤结构的微型热导检测器制造技术

本发明专利技术公开了一种集成过滤结构的微型热导检测器，其结构包括箱体、支撑垫、箱盖、操作阀、运行指示灯、通气孔、进气口、温度传感器、集成过滤层、池体、放气口、气路接口、热敏元件、加热体、密封螺塞、信号引线，所述箱体为长方体结构，所述热敏元件上方设有信号引线。所述集成过滤层由保护层、豆砾混凝土层、塑料卡钉、地热管、绝热保温层、过滤结构层组成，本发明专利技术的有益效果为设有集成过滤层，采用弯形气流沟道，绝热保温层是为了防止工作运行出现热敏电阻热损耗大的问题，提高了热敏电阻的热响应热性，过滤结构层解决在制作过程中受污染问题。

【技术实现步骤摘要】
一种集成过滤结构的微型热导检测器
本专利技术是一种集成过滤结构的微型热导检测器，属于检测器设备

技术介绍
热导池检测器具有结构简单,性能稳定,灵敏度适宜等特点,对各种能作色谱分析的物质都有响应,最适合作常量分析.应用范围广泛。现有技术公开了申请号为：CN201510114082.7公开了一种微型热导检测器及制备方法，在结构上集成微型过滤结构、采用弯形气流沟道、热敏电阻悬空设计、并且基底采用空腔结构，以解决热敏电阻热损耗大、在制作过程中受污染问题，提高了热敏电阻的热响应热性；同时在基底上制备能够与玻璃直接键合的介质膜，解决了热敏电阻封装困难的问题。在制备方法上，在硅片上制备一层介质膜，依次光刻得到热敏电阻、电极、两个气流沟道及其内部的支撑梁和微型过滤结构，并将热敏电阻悬空在气流沟道中，之后在惰性气体下老化热敏电阻，最后在玻璃表面刻蚀得到与硅片表面位置和形状一样的气流沟道外形并与硅片对准键合密封，切割得到微型热导检测器。但是其不足之处在于热敏电阻热损耗大、气源所含杂质多导致载气不干净,气路被污染。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种集成过滤结构的微型热导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成过滤结构的微型热导检测器，其特征在于：其结构包括箱体(1)、支撑垫(2)、箱盖(3)、操作阀(4)、运行指示灯(5)、通气孔(6)、进气口(7)、温度传感器(8)、集成过滤层(9)、池体(10)、放气口(11)、气路接口(12)、热敏元件(13)、加热体(14)、密封螺塞(15)、信号引线(16)，所述箱体(1)为长方体结构，所述箱体(1)与支撑垫(2)采用过盈配合方式活动连接，所述支撑垫(2)为圆柱体结构，均匀分布在同一水平线上，所述支撑垫(2)与箱盖(3)采用间隙配合方式活动连接，所述操作阀(4)设在箱体(1)上，所述运行指示灯(5)为小型长方体结构，所述运行指示灯(5)设在箱...

【技术特征摘要】
1.一种集成过滤结构的微型热导检测器，其特征在于：其结构包括箱体(1)、支撑垫(2)、箱盖(3)、操作阀(4)、运行指示灯(5)、通气孔(6)、进气口(7)、温度传感器(8)、集成过滤层(9)、池体(10)、放气口(11)、气路接口(12)、热敏元件(13)、加热体(14)、密封螺塞(15)、信号引线(16)，所述箱体(1)为长方体结构，所述箱体(1)与支撑垫(2)采用过盈配合方式活动连接，所述支撑垫(2)为圆柱体结构，均匀分布在同一水平线上，所述支撑垫(2)与箱盖(3)采用间隙配合方式活动连接，所述操作阀(4)设在箱体(1)上，所述运行指示灯(5)为小型长方体结构，所述运行指示灯(5)设在箱体(1)上，所述通气孔(6)呈等列状均匀排列在箱体(1)右侧，所述进气口(7)通过管道活动连接放气口(11)，所述进气口(7)下方设有温度传感器(8)，所述温度传感器(8)下方设有集成过滤层(9)，所述集成过滤层(9)与池体(10)采用过盈配合方式活动连接，所述池体(10)与气路接口(12)采用过盈配合方式活动连接，所述热敏元件(13)设在池体(10)内，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵铁英，
申请(专利权)人：天津市先权工贸发展有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12