一种软膜载盘搬运机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种软膜载盘搬运机构，包括真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；软膜载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。真空吸笔竖向布置，真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，微调机构为具备螺纹的旋钮。吸笔固定盘上具备指向载盘的吹拂孔。采用此实用新型专利技术实现空载盘装软膜的批量作业，将栽盘竖向堆叠存放，占地面积小，效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种软膜载盘搬运机构
本技术涉及搬运设备，具体涉及一种软膜载盘搬运机构。
技术介绍
纳米压印领域会大量应用到软膜以及与软膜搭配使用的载盘，一个载盘承托一个软膜，需要彼此分离的软膜、载盘相互配合在一起。同时，为了节省空间，软膜、载盘也不能平铺，需要竖向堆叠起来。如果用人工来完成这项任务，则费时费力。
技术实现思路
本技术要解决的问题在于提供一种软膜载盘搬运机构，实现空载盘装软膜的批量作业，将栽盘竖向堆叠存放，占地面积小，效率高。为解决上述问题，本技术提供一种软膜载盘搬运机构，为达到上述目的，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种软膜载盘搬运机构，包括：真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。采用上述技术方案的有益效果是：一边是竖向堆叠的空载盘，一边是上下堆叠的均已装有软膜的载盘，实现空载盘装软膜的批量作业，无论是空载盘还是已装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种软膜载盘搬运机构，其特征在于，包括：真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，所述真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，所述空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；所述机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。

【技术特征摘要】
1.一种软膜载盘搬运机构，其特征在于，包括：真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，所述真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，所述空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；所述机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。2.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述真空吸笔竖向布置，所述真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，所述真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，所述微调机构为具备螺纹的旋钮。3.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述真空吸笔的自身轴线均与同一水平面上的圆相交，相邻真空吸笔与圆的圆心连线夹角相等。4.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述空载盘存放区与软膜载盘存放区设在同一水平高度，所述空载盘存放区连接有一条水平传送带，所述空载盘存...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓成，史晓华，
申请(专利权)人：苏州光舵微纳科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32